公報発行日 2018年11月15
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【図1】本発明の第1半導体装置の基本的な構成を説明する斜視図である。
【図2】図1のII−II方向から見た断面図である。
【図3】第1実施形態の第1変形例に係る半導体装置の基本的な構成を説明する断面図である。
【図4】第1実施形態の第2変形例に係る半導体装置の基本的な構成を説明する断面図である。
【図5】窒化ケイ素及び銅の、樹脂に対するせん断強度を示す図である。
【図6】第1実施形態の第3変形例に係る半導体装置のバッファ膜を説明する斜視図である。
【図7】平坦な銅板及びスリットを有する銅板の、封止部材に対するせん断強度を示す図である。
【図8】第1実施形態の第3変形例に係る半導体装置のバッファ膜を説明する斜視図である。
【図9】第1実施形態の第4変形例に係る半導体装置の基本的な構成を説明する断面図である。
【図10】第1実施形態の第5変形例に係る半導体装置の基本的な構成を説明する断面図である。
【図11】本発明の第2半導体装置の基本的な構成を説明する断面図である。
【図12】第2実施形態の第1変形例に係る半導体装置の基本的な構成を説明する断面図である。
【図13】第2実施形態の第1変形例に係る半導体装置の製造工程を説明する斜視図である。
【図14】第2実施形態の第1変形例に係る半導体装置の製造工程を説明する斜視図である。
【図15】第2実施形態の第1変形例に係る半導体装置の製造工程を説明する斜視図である。
【図16】第2実施形態の第1変形例に係る半導体装置の製造工程を説明する斜視図である。
【図17】第2実施形態の第2変形例に係る半導体装置の基本的な構成を説明する断面図である。
【図18】第2実施形態の第3変形例に係る半導体装置の基本的な構成を説明する断面図である。
【図19】第2実施形態の第3変形例に係る半導体装置の基本的な構成を説明する断面図である。
【図20】第2実施形態の第4変形例に係る半導体装置の基本的な構成を説明する断面図である。
【図21】第2実施形態の第5変形例に係る半導体装置の基本的な構成を説明する断面図である。
【図22】本発明の他の半導体装置の基本的な構成を説明する上面図である。
【図23】図22のA−A方向から見た断面図である。
【図24】本発明の他の半導体装置の基本的な構成を説明する断面図である。
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