特開2018-189541IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

分光装置及び分光方法に関し、特に、マルチチャネルフーリエ変換分光

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】検出器の検出領域があまり広くなく、かつ検出器中のセンサのピッチがあまり狭くない場合であっても、高分解能かつ低ノイズのスペクトルを得る。
【解決手段】分光装置は、検出器８０、第１光学系８２及び第２光学系８４を備えている。検出器８０は、第１直線偏光と、第１直線偏光の振動方向と直交する振動方向を有する第２直線偏光とによって生成される干渉縞を検出する。検出器８０は、第１検出領域ＤＲ１、第２検出領域ＤＲ２及び第３検出領域ＤＲ３を有している。第１光学系８２は、領域ＲＧ１に向けて照射された光を第２検出領域ＤＲ２に向けて照射させる。第２光学系８４は、領域ＲＧ２に向けて照射された光を第３検出領域ＤＲ３に向けて照射させる。
【選択図】図２

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明者は、ＭＣＦＴ分光に用いられる検出器について検討し、具体的には、検出器の検出領域があまり広くなく、かつ検出器中のセンサのピッチがあまり狭くない場合であっても、高分解能かつ低ノイズのスペクトルを得る方法について検討した。一般に、ＭＣＦＴ分光においては、検出器の検出領域が広いと、干渉縞のより多くの成分の考慮が可能となり、スペクトルの分解能が向上する。一方、検出器中のセンサのピッチが狭いと、干渉縞の単位長さ当たりのセンサの数が多くなり、スペクトルのノイズが低下する。本発明者は、検出器中のセンサのピッチがあまり狭くない場合であっても、干渉縞を拡大させて、拡大された干渉縞を検出することにより、スペクトルのノイズを低くすることを想起した。しかしながら、この場合、検出器の検出領域があまり広くないと、拡大された干渉縞の一部が検出領域の外側に漏れ得ることを本発明者は見出した。 本発明は事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、検出器の検出領域があまり広くなく、かつ検出器中のセンサのピッチがあまり狭くない場合であっても、高分解能かつ低ノイズのスペクトルを得ることにある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明に係る分光装置は、検出器及び第１光学系を備えている。検出器は、第１直線偏光と、第１直線偏光の振動方向と直交する振動方向を有する第２直線偏光とによって生成される干渉縞を検出する。検出器は、第１検出領域及び第２検出領域を有しており、第２検出領域は、第１方向に沿って第１検出領域と並んでいる。第１光学系は、第１方向に直交する第２方向に沿って第１検出領域と並ぶ第１領域に向けて照射された光を第２検・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
本発明によれば、検出器の検出領域があまり広くなく、かつ検出器中のセンサのピッチがあまり狭くない場合であっても、高分解能かつ低ノイズのスペクトルを得ることができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】実施形態１に係る分光装置を示す図である。

【図2】（ａ）は、図１に示した検出器、第１光学系及び第２光学系をＺ方向から見た図であり、（ｂ）は、図１に示した検出器、第１光学系及び第２光学系をＸ方向から見た図であり、（ｃ）は、図１に示した検出器及び第１光学系をＹ方向から見た図である。

【図3】（ａ）は、検出器によって検出される干渉縞の一例を示す図であり、（ｂ）は、（ａ）の干渉縞を拡大した場合に検出器によって検出される干渉縞を示す図である。

【図4】（ａ）は、図１及び図２に示した第１光学系及び第２光学系が設けられていない場合において検出器によって検出される干渉縞の一例を示す図であり、（ｂ）は、図１及び図２に示した第１光学系及び第２光学系が設けられた場合において検出器によって検出される干渉縞の一例を示す図である。

【図5】図２の第１の変形例を示す図である。

【図6】（ａ）は、図５に示した第１光学系が設けられていない場合において検出器によって検出される干渉縞の一例を示す図であり、（ｂ）は、図５に示した第１光学系が設けられた場合において検出器によって検出される干渉縞の一例を示す図である。

【図7】図２の第２の変形例を示す図である。

【図8】（ａ）は、図７に示した第１光学系、第２光学系、第３光学系及び第４光学系が設けられていない場合において検出器によって検出される干渉縞の一例を示す図であり、（ｂ）は、図７に示した第１光学系、第２光学系、第３光学系及び第４光学系が設けられた場合において検出器によって検出される干渉縞の一例を示す図である。

【図9】実施形態２に係る分光装置を示す図である。

【図10】（ａ）は、図９に示した検出器、第１光学系及び第２光学系をＺ方向から見た図であり、（ｂ）は、図９に示した検出器、第１光学系及び第２光学系をＸ方向から見た図であり、（ｃ）は、図９に示した検出器及び第１光学系をＹ方向から見た図であり、（ｄ）は、図９に示した検出器及び第２光学系をＹ方向から見た図である。

【図11】図１０の第１の変形例を示す図である。

【図12】図１０の第２の変形例を示す図である。

選択図 図2出願人が指定した本件の代表的な図

１０ 光源　　 ２０ レンズ　　 ３０ 偏光子　　 ４０ 光学部材　　 ４２ 第１結晶板　　 ４４ 第２結晶板　　 ５０ 偏光子　　 ６０ レンズ　　 ７０ シリンドリカルレンズ　　 ８０ 検出器　　 ８２ 第１光学系　　 ８４ 第２光学系　　 ８６ 第３光学系　　 ８８ 第４光学系　　 ９０ 信号処理器　　 １１０ 第１ミラー　　 １２０ 第２ミラー　　 １３０ 第３ミラー　　 １４０ 第４ミラー　　 １５０ 第５ミラー　　 １６０ 第６ミラー　　 １７０ 第７ミラー　　 １８０ 第８ミラー　　 ２１０ 第１透光性部材　　 ２１２ 面　　 ２１４ 面　　 ２１６ 面　　 ２２０ 第２透光性部材　　 ２２２ 面　　 ２２４ 面　　 ２２６ 面　　 ２３０ 第３透光性部材　　 ２３２ 面　　 ２３４ 面　　 ２３６ 面　　 ２４０ 第４透光性部材　　 ２４２ 面　　 ２４４ 面　　 ２４６ 面　　 ２５０ 第５透光性部材　　 ２６０ 第６透光性部材　　 ２７０ 第７透光性部材　　 ２８０ 第８透光性部材　　 ＤＲ１ 第１検出領域　　 ＤＲ２ 第２検出領域　　 ＤＲ３ 第３検出領域　　 ＤＲ４ 第４検出領域　　 ＤＲ５ 第５検出領域　　 ＲＧ１ 領域　　 ＲＧ２ 領域　　 ＲＧ３ 領域　　 ＲＧ４ 領域

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