発明の名称 レジストに使用可能な化合物
出願人 JSR株式会社 (識別番号 4178)
特許公開件数ランキング 14468 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 12296 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2018-199650
公報発行日 2018年12月20
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2018-199650
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