発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、上述した加工方法及び加工装置においては、研磨などの表面加工を自動化した場合であっても、表面加工を効率良く行うことは難しい。例えば、加工具を選定し、加工具の加工軌道を設定して、ロボットアームの制御により自動加工を行ったとしても、その加工後に加工状態を目視検査した結果、加工状態が不十分であれば追加で加工を行い、表面加工を繰り返さなければならない。つまり、研磨などの表面加工は、実際に加工してみないと、加工の仕上がり具合が想定しにくく、繰り返して加工を行うことが少なくない。この場合、研磨などの表面加工に多大な時間を要することとなる。 そこで、良好な加工精度で効率良く加工が行える加工方法及び加工装置の開発が望まれている。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、被加工物の表面加工が良好な加工精度で効率良く行える。