化合物、当該化合物に由来する構造単位を有する樹脂、当該樹脂を含有する
レジスト組成物及び該レジスト組成物を用いるレジストパターンの製造方法等

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】フォーカスマージンが良好なレジスト組成物に含有される樹脂の構成単位のために好適な化合物を提供することを目的とする。
【解決手段】式（Ｉ）で表される化合物。

式（Ｉ）中、Ｒ¹は、ハロゲン原子を有してもよい炭素数１〜６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。Ａ¹は、単結合、炭素数１〜６のアルカンジイル基又は^＊−Ａ²−Ｘ¹−（Ａ³−Ｘ²）_a−（Ａ⁴）_b−を表す。＊は酸素原子との結合手を表す。Ａ²、Ａ³及びＡ⁴は、それぞれ独立に、炭素数１〜６のアルカンジイル基を表す。Ｘ¹及びＸ²は、それぞれ独立に、−Ｏ−、−ＣＯ−Ｏ−又は−Ｏ−ＣＯ−を表す。ａは、０又は１を表す。ｂは、０又は１を表す。Ｒ²は、炭素数５〜１２の脂環式炭化水素基を有する基（該脂環式炭化水素基は炭素数１〜１２のアルキル基を有する）を表す。
【選択図】なし

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