技術分野
光干渉装置
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】従来よりも簡便な光路差の制御が可能な光干渉装置を提供する。 【解決手段】レーザ光源と、該レーザ光源から入射したレーザ光を検査光と参照光とに2分岐させる光分岐器と、参照光の光路長を調節する光路長調節器と、検査光が通過する検出用光ファイバと、光路長調節器から出力される参照光と検出用光ファイバから出力される検査光とを干渉させた干渉光を生成し、当該干渉光を3分岐させる光カプラと、該光カプラから出力される第2の干渉光を光電変換する第1の光検出器と、光カプラから出力される第3の干渉光を光電変換する第2の光検出器と、第1の光検出器の出力及び第2の光検出器の出力に基づいて検出用光ファイバに作用した外力を演算する演算装置とを備え、光路長調節器は、光路長が異なる複数の導光路を備え、当該導光路を選択することにより参照光の光路長を設定する。 【選択図】図1
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
ところで、弾性波検出装置は、被検査対象物を経由する光(検査光)と被検査対象物を経由しない光(参照光)とを光カプラを用いて干渉させることによって被検査対象物で発生する超音波(弾性波)を検出する光干渉装置の一応用例である。このような弾性波検出装置(光干渉装置)では、周知のように検査光と参照光とに関する偏波、位相差及び光路差を高精度に制御する必要があるが、このうち光路差の制御は、煩雑な光学調整が必要となる。したがって、より使い勝手の良い光干渉装置を実現するためには、簡便な光路差の制御技術を開発する必要がある。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、従来よりも簡便な光路差の制御が可能な光干渉装置を提供することを目的とするものである。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
目的を達成するために、本発明では、光干渉装置に係る第1の解決手段として、レーザ光源と、該レーザ光源から入射したレーザ光を検査光と参照光とに2分岐させる光分岐器と、前記参照光の光路長を調節する光路長調節器と、前記検査光が通過する検出用光ファイバと、前記光路長調節器から出力される前記参照光と前記検出用光ファイバから出力される前記検査光とを干渉させた干渉光を生成し、当該干渉光を3分岐させる光カ・・・ 続きを
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【発明の効果】
本発明によれば、従来よりも簡便な光路差の制御が可能な光干渉装置を提供することが可能である。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】 本発明の一光干渉装置の全体構成を示すブロック図である。
【図2】 本発明の一光干渉装置における光路長調節器の詳細構成を示す模式図である。
【図3】 本発明の一光干渉装置における位相制御処理を示すブロック図である。
1 レーザ発振器(レーザ光源)
2 光分岐器
3 検出用光ファイバ
4 光路長調節器
4a〜4j 導光路
4k 光スイッチ
5 3×3光カプラ
6 光検出器(第1の光検出器)
7 光検出器(第2の光検出器)
8 演算装置
9 制御器
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