特開2018-24598スルホニウム塩、光酸発生剤、それを含む組成物、及び、デバイスの製造方法

発明の名称　スルホニウム塩、光酸発生剤、それを含む組成物、及び、デバイスの製造方法

出願人　東洋合成工業株式会社　（識別番号 222691）

　　　　特許公開件数ランキング 14438 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12196 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2018-24598

公報発行日　2018年2月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2018-24598

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