特開2018-24947真空蒸着装置

発明の名称　真空蒸着装置

出願人　有限会社ファームファクトリー　（識別番号 514181864）

　　　　特許公開件数ランキング 8324 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 6842 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2018-24947

公報発行日　2018年2月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2018-24947

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