特開2018-41950荷電粒子マルチビームレットリソグラフィーシステムを使用し、一意的チップを製作するための方法及びシステム

発明の名称　荷電粒子マルチビームレットリソグラフィーシステムを使用し、一意的チップを製作するための方法及びシステム

出願人　マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー．ブイ．　（識別番号 505152479）

　　　　特許公開件数ランキング 12122 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 10056 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2018-41950

公報発行日　2018年3月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2018-41950

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