特開2018-41964荷電粒子ビーム発生器の高電圧シールド及び冷却

発明の名称　荷電粒子ビーム発生器の高電圧シールド及び冷却

出願人　マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー．ブイ．　（識別番号 505152479）

　　　　特許公開件数ランキング 12122 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 10056 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2018-41964

公報発行日　2018年3月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2018-41964

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2018-41964「荷電粒子ビーム発生器の高電圧シールド及び冷却」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録