特開2018-49768プラズマ生成装置、および、高周波電源

発明の名称　プラズマ生成装置、および、高周波電源

出願人　株式会社ダイヘン　（識別番号 262）

　　　　特許公開件数ランキング 127 位（256件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 265 位（108件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2018-49768

公報発行日　2018年3月29

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2018-49768

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