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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】特開2018-82141(P2018-82141A)
(43)【公開日】2018年5月24日
(54)【発明の名称】抵抗体を含む電子部品
(51)【国際特許分類】
   H01C 1/084 20060101AFI20180420BHJP
   H01C 7/00 20060101ALI20180420BHJP
【FI】
   H01C1/084
   H01C7/00 110
【審査請求】未請求
【請求項の数】11
【出願形態】OL
【全頁数】13
(21)【出願番号】特願2017-107087(P2017-107087)
(22)【出願日】2017年5月30日
(31)【優先権主張番号】10-2016-0151980
(32)【優先日】2016年11月15日
(33)【優先権主張国】KR
(71)【出願人】
【識別番号】594023722
【氏名又は名称】サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド.
(74)【代理人】
【識別番号】110000877
【氏名又は名称】龍華国際特許業務法人
(72)【発明者】
【氏名】ソン、スン ウ
(72)【発明者】
【氏名】パク、ジ ヒュン
(72)【発明者】
【氏名】リ、ジョン ピル
(72)【発明者】
【氏名】リム、ジョン、ボン
【テーマコード(参考)】
5E028
5E033
【Fターム(参考)】
5E028AA10
5E028BA03
5E028BB01
5E028CA02
5E028EA01
5E028EB04
5E028EB05
5E028GA02
5E033AA05
5E033BB02
5E033BC01
5E033BD02
5E033BE01
5E033BE06
5E033BH02
(57)【要約】
【課題】
放熱性能を改善させることができる電子部品を提供する。
【解決手段】
抵抗体を含む電子部品を提供する。上記電子部品は、互いに対向する第1面及び第2面を有する絶縁基板を含む。上記絶縁基板の上記第1面に突出部を限定する陥没領域を形成し、上記突出部上に抵抗体を配置する。上記抵抗体は上記突出部と自己整列される。上記抵抗体は、第1部分、第2部分、及び上記第1部分と上記第2部分との間の中間部分を含む。上記抵抗体の上記第1部分と電気的に接続された第1外部電極、及び上記抵抗体の上記第2部分と電気的に接続された第2外部電極を配置する。
【選択図】図1A
【特許請求の範囲】
【請求項1】
互いに対向する第1面及び第2面を有する絶縁基板と、
前記絶縁基板の前記第1面に形成され、突出部の外縁を画定する陥没領域と、
第1部分、第2部分、及び前記第1部分と前記第2部分との間の中間部分を含み、前記突出部上に配置され、前記突出部と自己整列される抵抗体と、
前記抵抗体の前記第1部分と電気的に接続された第1外部電極と、
前記抵抗体の前記第2部分と電気的に接続された第2外部電極と、を含む、電子部品。
【請求項2】
前記第1外部電極は、前記絶縁基板の前記第1面上に配置され、且つ前記抵抗体の前記第1部分と重なる部分から前記絶縁基板の側面を経て前記絶縁基板の前記第2面まで延長され、
前記第2外部電極は、前記絶縁基板の前記第1面上に配置され、且つ前記抵抗体の前記第2部分と重なる部分から前記絶縁基板の側面を経て前記絶縁基板の前記第2面まで延長される、請求項1に記載の電子部品。
【請求項3】
前記第1外部電極と前記抵抗体の前記第1部分との間に配置される第1内部電極と、
前記第2外部電極と前記抵抗体の前記第2部分との間に配置される第2内部電極と、をさらに含む、請求項1または請求項2に記載の電子部品。
【請求項4】
前記絶縁基板の前記第1面上に配置される保護絶縁層をさらに含み、
前記保護絶縁層は、前記第1外部電極及び前記第2外部電極の間に配置され、前記抵抗体の前記中間部分を覆う、請求項1から請求項3の何れか一項に記載の電子部品。
【請求項5】
前記陥没領域の深さは、前記絶縁基板の厚さの10%〜40%である、請求項1から請求項4の何れか一項に記載の電子部品。
【請求項6】
前記抵抗体の前記第1部分は、前記絶縁基板の第1面と垂直に整列された側面を有し、前記抵抗体の前記第2部分は、前記絶縁基板の第2側面と垂直に整列された側面を有し、前記絶縁基板の前記第1面及び前記第2側面は、互いに対向する、請求項1から請求項5の何れか一項に記載の電子部品。
【請求項7】
前記陥没領域によって外縁が画定されるダミー突出部と、
前記ダミー突出部上に配置され、前記ダミー突出部と自己整列されるダミー抵抗パターンと、をさらに含む、請求項1から請求項6の何れか一項に記載の電子部品。
【請求項8】
前記陥没領域は、第1陥没領域及び第2陥没領域を含み、
前記第2陥没領域は、前記第1陥没領域よりも前記絶縁基板の前記第1面から深く陥没される、請求項1から請求項7の何れか一項に記載の電子部品。
【請求項9】
パッドを含む回路基板をさらに含み、且つ前記第1外部電極及び前記第2外部電極は、前記回路基板の前記パッドと電気的に接続される、請求項1から請求項8の何れか一項に記載の電子部品。
【請求項10】
突出部を有する絶縁基板であって、前記突出部は陥没領域によって外縁が画定され、前記絶縁基板と一体的に(integrally)形成される、前記絶縁基板と、
連続的につながる第1部分、第2部分、及び前記第1部分と前記第2部分との間の中間部分を含み、前記突出部の側面と垂直に整列された側面を有する抵抗体と、
前記抵抗体の前記第1部分と重なる第1外部電極と、
前記抵抗体の前記第2部分と重なる第2外部電極と、
前記第1外部電極及び前記第2外部電極の間に配置され、前記抵抗体の前記中間部分及び前記陥没領域を覆う保護絶縁層と、を含む、電子部品。
【請求項11】
前記抵抗体の前記第1部分と前記第1外部電極との間に配置される第1内部電極と、
前記抵抗体の前記第2部分と前記第2外部電極との間に配置される第2内部電極と、をさらに含む、請求項10に記載の電子部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、抵抗体を含む電子部品に関するものである。
【背景技術】
【0002】
抵抗体(resistor)は、電子回路内で電流を調節し電圧を降下させる役割を果たす。最近、電子機器が次第に小型化及び精密化するにつれて、抵抗体を含む電子部品のサイズも小型化しつつある。電子機器の小型化及び高性能化に伴い、抵抗体に印加される電流量が増加し、抵抗体から発生する熱も増加している。このような抵抗体から発生する熱により抵抗体を含む小型化された電子部品の高電力化に限界が生じる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
本発明の技術的思想が解決しようとする課題は、放熱性能を改善させることができる電子部品を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0004】
本発明の一様態による電子部品を提供する。かかる電子部品は、互いに対向する第1面及び第2面を有する絶縁基板を含む。上記絶縁基板の上記第1面に突出部の外縁を画定する陥没領域を形成し、上記突出部上に抵抗体を配置する。上記抵抗体は上記突出部と自己整列される。上記抵抗体は、第1部分、第2部分、及び上記第1部分と上記第2部分との間の中間部分を含む。上記抵抗体の上記第1部分と電気的に接続された第1外部電極、及び上記抵抗体の上記第2部分と電気的に接続された第2外部電極を配置する。
【0005】
いくつかの実施例において、上記第1外部電極は、上記絶縁基板の上記第1面上に配置され、且つ上記抵抗体の上記第1部分と重なる部分から上記絶縁基板の側面を経て上記絶縁基板の上記第2面まで延長され、上記第2外部電極は、上記絶縁基板の上記第1面上に配置され、且つ上記抵抗体の上記第2部分と重なる部分から上記絶縁基板の側面を経て上記絶縁基板の上記第2面まで延長されることができる。
【0006】
他の実施例において、上記第1外部電極と上記抵抗体の上記第1部分との間に配置される第1内部電極と、上記第2外部電極と上記抵抗体の上記第2部分との間に配置される第2内部電極と、をさらに含むことができる。
【0007】
さらに他の実施例において、上記絶縁基板の上記第1面上に配置される保護絶縁層をさらに含む。また、上記保護絶縁層は、上記第1及び第2外部電極の間に配置され、上記抵抗体の上記中間部分を覆うことができる。
【0008】
さらに他の実施例において、上記陥没領域の深さは、上記絶縁基板の厚さの10%〜40%であることができる。
【0009】
さらに他の実施例において、上記抵抗体の上記第1部分は、上記絶縁基板の第1側面と垂直に整列された側面を有し、上記抵抗体の上記第2部分は、上記絶縁基板の第2側面と垂直に整列された側面を有する。また、上記絶縁基板の上記第1及び第2側面は互いに対向することができる。
【0010】
さらに他の実施例において、上記陥没領域によって外縁が画定されるダミー突出部と、上記ダミー突出部上に配置され、上記ダミー突出部と自己整列されるダミー抵抗パターンと、をさらに含むことができる。
【0011】
さらに他の実施例において、上記陥没領域は、第1陥没領域及び第2陥没領域を含む。また、上記第2陥没領域は、上記第1陥没領域よりも上記絶縁基板の上記第1面から深く陥没させることができる。
【0012】
さらに他の実施例において、パッドを含む回路基板をさらに含む。また、上記第1及び第2外部電極は、上記回路基板の上記パッドと電気的に接続されることができる。
【0013】
本発明の他の様態による電子部品を提供する。かかる電子部品は、陥没領域によって外縁が画定される突出部を有する絶縁基板を含む。上記突出部は、上記絶縁基板と一体に(integrally)形成される。上記突出部の側面と垂直に整列された側面を有する抵抗体を配置する。上記抵抗体は、連続的につながる第1部分、第2部分、及び上記第1部分と上記第2部分との間の中間部分を含む。上記抵抗体の上記第1部分と重なる第1外部電極、及び上記抵抗体の上記第2部分と重なる第2外部電極を配置する。上記第1及び第2外部電極の間に保護絶縁層を配置する。上記保護絶縁層は、上記抵抗体の上記中央部分及び上記陥没領域を覆う。
【0014】
いくつかの実施例において、上記抵抗体の上記第1部分と上記第1外部電極との間に配置される第1内部電極と、上記抵抗体の上記第2部分と上記第2外部電極との間に配置される第2内部電極と、をさらに含むことができる。
【発明の効果】
【0015】
本発明の実施例によると、抵抗体を含む電子部品の放熱特性を改善させることができる。これにより、抵抗体を含む電子部品、例えば、チップ抵抗器の放熱特性を改善させることができるため、抵抗体の許容電力を向上させることができる。その結果、高電力の電子部品、例えば、高電力のチップ抵抗器を提供することができる。
【0016】
本発明の多様かつ有益な長所及び効果は、上述の内容に限定されず、本発明の具体的な実施例を説明する過程においてより容易に理解することができる。
【図面の簡単な説明】
【0017】
図1A】本発明の一実施例による電子部品の一例を示した分解斜視図である。
図1B】本発明の一実施例による電子部品の一例を示す断面図である。
図2】本発明の一実施例による電子部品の変形例を示す断面図である。
図3A】本発明の一実施例による電子部品の他の変形例を示した分解斜視図である。
図3B】本発明の一実施例による電子部品の他の変形例を示した断面図である。
図4A】本発明の一実施例による電子部品の形成方法の一例を示す断面図である。
図4B】本発明の一実施例による電子部品の形成方法の一例を示す断面図である。
図4C】本発明の一実施例による電子部品の形成方法の一例を示す断面図である。
図4D】本発明の一実施例による電子部品の形成方法の一例を示す断面図である。
図5】本発明の一実施例による電子部品を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0018】
本発明の利点及び特徴、並びにこれらを達成するための方法は添付の図面とともに詳細に後述する実施例を参照すると明確になる。しかし、本発明は以下で開示される実施例に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態で実現されることができ、本実施例は本発明の開示を完全にし、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に対して発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであり、本発明は請求範囲の範疇によって定義されるだけである。
【0019】
本明細書で用いられる用語は、実施例を説明するためのもので、本発明を制限するためのものではない。本明細書において、単数形は文言で特に言及しない限り、複数形も含む。明細書で用いられる「含む(comprise)」及び/または「含んでいる(comprising)」は、記載された構成要素、段階、動作、及び/または素子が、一つ以上の他の構成要素、段階、動作、及び/または素子の存在または追加を排除しない。
【0020】
一つの素子(element)が他の素子と「接続される」とは、他の素子と直接に接続された場合、または中間に他の素子を介在する場合をすべて含む。一方、一つの素子が他の素子と「直接に接続される」とは、中間に他の素子を介在しない場合を示す。また、「及び/または」とは、言及された構成要素のそれぞれ及び一つ以上の任意の組み合わせを含む。
【0021】
空間的に相対的な用語である「下(below)」、「下(beneath)」、「下部(lower)」、「上(above)」、「上部(upper)」などは、図面に示すように、一つの素子または構成要素と他の素子または構成要素との相関関係を容易に記述するために用いることができる。空間的に相対的な用語は、図面に示される方向に加えて使用時または動作時の素子の互いに異なる方向を含む用語として理解されなければならない。例えば、図面に示される素子を逆さまにする場合は、他の素子の「下(below)」または「下(beneath)」と記述された素子は、他の素子の「上(above)」に配置されることができる。
【0022】
また、本明細書で記述される実施例は、本発明の理想的な例示図である斜視図及び/または断面図を参照して説明する。図面において、層及び領域の厚さ、または陥没領域の深さは、技術的内容を効果的に説明するために誇張されたものである。これにより、製造技術及び/または許容誤差などにより例示図の形態が変形されることがある。したがって、本発明の実施例は、図示された特定の形態に限定されるものではなく、製造工程に応じて生成される形態の変化も含むものである。例えば、直角に図示された領域は、ラウンド状であってもよく、所定の曲率を有する形状であってもよい。したがって、図面に例示された領域は、概略的な属性を有し、図面に例示された領域の形状は、素子の領域の特定の形態を例示するためのもので、発明の範疇を制限するためのものではない。
【0023】
明細書の全体にわたって同一の参照符号は同一の構成要素を指す。したがって、同一の参照符号または類似の参照符号は、該当する図面に記載または説明されなくても、他の図面を参照して説明することができる。また、参照符号が表示されなくても、他の図面を参照して説明することができる。
【0024】
本明細書において、「前面(front side)」及び「背面(back side)」は、本発明の技術的思想を理解しやすく説明するために相対的な概念で使用されたものである。したがって、「前面」及び「背面」は、特定の方向、位置、または構成要素を指すものではなく、互いに互換されることができる。例えば、「前面」を「背面」と解釈することができ、「背面」を「前面」と解釈することもできる。したがって、「前面」を「第1面」と表現してもよく、「背面」を「第2面」と表現してもよい。また、「背面」を「第1面」と表現してもよく、「前面」を「第2面」と表現してもよい。しかし、一つの実施例内では「前面」と「背面」を混用しない。
【0025】
以下、図1A及び図1Bを参照して、本発明の一実施例による電子部品の一例を説明し、図2を参照して、本発明の一実施例による電子部品の変形例を説明し、図3A及び図3Bを参照して、本発明の一実施例による電子部品の他の変形例を説明する。
【0026】
図1Aは、本発明の一実施例による電子部品の一例を説明するために、電子部品のいくつかの構成要素を分解して示す分解斜視図であり、図1Bは、図1Aに示す分解されたいくつかの構成要素が結合された状態における断面を示した断面図である。また、図1Bは、図1AのI−I'線に沿って切断して得られた領域、及び図1AのII−II'線に沿って切断して得られた領域を示した断面図である。図2は、本発明の一実施例による電子部品の変形例を説明するために、図1Bの断面図に対応する領域を示した断面図である。
【0027】
図3Aは、本発明の一実施例による電子部品の他の変形例を説明するために、電子部品のいくつかの構成要素を分解して示す分解斜視図であり、図3Bは、図3Aに示す分解されたいくつかの構成要素が結合された状態における断面を示した断面図である。また、図3Bは、図3AのI−I'線に沿って切断して得られた領域、及び図3AのII−II'線に沿って切断して得られた領域を示した断面図である。
【0028】
まず、図1A及び図1Bを参照して、本発明の一実施例による電子部品1の一例について説明する。
【0029】
図1A及び図1Bを参照すると、本発明の一実施例による電子部品1は、陥没領域12及び突出部14を有する絶縁基板10、抵抗体22、電極40a、40b、60a、60b、及び保護絶縁層50を含むことができる。
【0030】
上記絶縁基板10は、互いに対向する第1面FS及び第2面BSを有することができる。上記第1面FSは、前面(front side)を指すことができ、上記第2面BSは、背面(back side)を指すことができる。上記絶縁基板10は、熱伝導度に優れた物質で形成することができる。例えば、上記絶縁基板10は、アルミナなどのような絶縁性のセラミックで形成することができる。
【0031】
上記絶縁基板10の上記陥没領域12は、上記絶縁基板10の上記第1面FSに形成することができ、上記突出部14の外縁を画定することができる。上記突出部14は、上記絶縁基板10から上部に隆起する形状であることができる。これにより、上記突出部14は、上記絶縁基板10と一体に(integrally)形成されることができる。平面において、上記突出部14は連続的につながることができる。
【0032】
上記陥没領域12は、上記絶縁基板10の上記第1面FSから第1深さDだけ陥没された領域であってもよい。上記第1深さDは、上記絶縁基板10の厚さTの約10%〜約40%であることができる。上記絶縁基板10の上記厚さTとは、上記絶縁基板10の上記第1面FSと上記第2面BSとの間の距離と定義することができる。
【0033】
上記抵抗体22は、上記突出部14上に配置することができる。上記抵抗体22は、上記突出部14と自己整列(例えば、面方向に沿った位置合わせなど)されることができる。上記抵抗体22の側面は、上記突出部14の側面と垂直に整列されることができる。上記抵抗体22は、TaNまたはTiNなどの金属窒化物で形成することができる。
【0034】
上記抵抗体22は、第1部分22a、第2部分22b、及び上記第1部分22aと上記第2部分22bとの間の中間部分22cを含むことができる。上記抵抗体22の上記第1部分22a、上記中間部分22c、及び上記第2部分22bは、連続的につながることができる。上記中間部分22cは、需要者が所望する上記抵抗体22の抵抗値に応じて様々な形状または長さ/幅を有するように変形することができる。
【0035】
上記抵抗体22の上記第1部分22aは、上記絶縁基板10の第1側面10s1と垂直に整列された側面22s1を有することができる。上記抵抗体22の上記第2部分22bは、上記絶縁基板10の第2側面10s2と垂直に整列された側面22s2を有することができる。また、上記絶縁基板10の上記第1及び第2側面10s1、10s2は、互いに対向することができる。
【0036】
上記電極40a、40b、60a、60bは、内部電極40a、40b及び外部電極60a、60bを含むことができる。
【0037】
上記内部電極40a、40bは、上記抵抗体22の上記第1部分22a上に配置される第1内部電極40aと、上記抵抗体22の上記第2部分22b上に配置される第2内部電極40bと、を含むことができる。上記第1及び第2内部電極40a、40bは、上記抵抗体22とは異なる導電性物質で形成することができる。例えば、上記第1及び第2内部電極40a、40bは、Ti/Cu物質などの導電性物質で形成することができる。
【0038】
上記外部電極60a、60bは、上記抵抗体22の上記第1部分22aと電気的に接続される第1外部電極60aと、上記抵抗体22の上記第2部分22bと電気的に接続される第2外部電極60bと、を含むことができる。
【0039】
上記第1外部電極60aは、上記絶縁基板10の上記第1面FS上に配置され、且つ上記抵抗体22の上記第1部分22aと重なる部分から上記絶縁基板10の側面を経て上記絶縁基板10の上記第2面BSまで延長されることができる。上記第2外部電極60bは、上記絶縁基板10の上記第1面FS上に配置され、且つ上記抵抗体22の上記第2部分22bと重なる部分から上記絶縁基板10の側面を経て上記絶縁基板10の上記第2面BSまで延長されることができる。
【0040】
上記第1内部電極40aは、上記抵抗体22の上記第1部分22aと上記第1外部電極60aとの間に介在することができる。これにより、上記第1外部電極60aは、上記第1内部電極40aを介して上記抵抗体22の上記第1部分22aと電気的に接続されることができる。上記第2内部電極40bは、上記抵抗体22の上記第2部分22bと上記第2外部電極60bとの間に介在することができる。これにより、上記第2外部電極60bは、上記第2内部電極40bを介して上記抵抗体22の上記第2部分22bと電気的に接続されることができる。
【0041】
上記保護絶縁層50は、上記絶縁基板10の上記第1面FS上に配置することができる。上記保護絶縁層50は、上記第1及び第2外部電極60a、60bの間に配置し、且つ上記抵抗体22の上記中間部分22c及び上記陥没領域12を覆うことができる。上記保護絶縁層50は、シリコン酸化物、ガラス、及び/またはポリマーなどのような絶縁性物質で形成することができる。
【0042】
上記抵抗体22を含む上記電子部品1が電子機器内で動作するとき、上記絶縁基板10の表面積は、上記陥没領域12の側壁、すなわち、上記突出部14の側面の面積だけ増加することができるため、上記抵抗体22から発生する熱を効果的に放出することができる。例えば、上記抵抗体22から発生する熱は、上記絶縁基板10内に伝達されることができ、上記絶縁基板10の内部に伝達された熱は、上記絶縁基板10の表面を介して外部に放出されることができる。
【0043】
一実施例によると、上記陥没領域12及び上記突出部14により、上記絶縁基板10の表面積を増加させることができるため、上記抵抗体22から発生する熱を上記絶縁基板10を介して効率的に放出させることができる。これにより、上記抵抗体22を含む電子部品1の放熱特性を改善させることができる。
【0044】
一実施例による電子部品1の放熱特性をさらに改善させるために、上記陥没領域12を変形させることができる。以下、このような上記陥没領域12の変形例について図2を参照して説明する。
【0045】
図2を参照して説明すると、陥没領域12は、第1陥没領域12a及び第2陥没領域12bを含むことができる。上記第2陥没領域12bは、上記絶縁基板10の全体の表面積を増加させるために、上記第1陥没領域12aの底から上記絶縁基板10の内部に陥没された領域であることができる。上記第2陥没領域12bは、上記第1陥没領域12aよりも深く陥没された領域であることができる。上記突出部14は、上記第1陥没領域12aによって外縁が画定されることができる。このように、上記第2陥没領域12bを形成することにより、上記絶縁基板10の表面積を増加させることができるため、上記抵抗体22を含む電子部品1の放熱特性を改善させることができる。
【0046】
一方、本発明の技術的思想の一実施例による電子部品1は、ダミー突出部16及びダミー抵抗パターン24をさらに含むことができる。以下、上記ダミー突出部16及び上記ダミー抵抗パターン24について図3A及び図3Bを参照して説明する。ここで、説明の便宜上、また、理解を助けるために、図1A及び図1Bを参照して説明した構成要素を図3A及び図3Bについての説明でも同様に用いる。
【0047】
図3A及び図3Bを参照すると、上記ダミー突出部16は、上記陥没領域12によって外縁が画定されることができる。上記ダミー突出部16は、上記突出部14と同一の高さで形成することができる。上記ダミー抵抗パターン24は、上記ダミー突出部16上に配置することができる。上記ダミー抵抗パターン24は、上記抵抗体22と同一の厚さで形成し、同一の物質で形成することができる。
【0048】
上記ダミー突出部16により、上記絶縁基板10の表面積を増加させることができるため、上記抵抗体22から発生する熱を上記絶縁基板10を介して効率的に放出させることができる。また、上記ダミー突出部16と直接に接触する上記ダミー抵抗パターン24も熱を放出させる役割を果たすことができる。これにより、上記ダミー突出部16及び上記ダミー抵抗パターン24は、上記抵抗体22を含む電子部品1の放熱特性を改善させることができる。
【0049】
次に、図1A及び図1Bを参照して説明した本発明の技術的思想の一実施例による電子部品の形成方法の一例を説明する。このような電子部品の形成方法の一例は、図1A及び図1Bとともに図4A図4Dを参照して説明する。図4A図4Dは、図1AのI−I'線に沿って切断して得られた領域を示す断面図である。
【0050】
図4Aを参照すると、絶縁基板10上に抵抗層20を形成することができる。上記絶縁基板10は、熱伝導度に優れたアルミナなどのような絶縁性のセラミックで形成することができる。上記抵抗層20は、蒸着工程を用いて形成することができる。例えば、上記抵抗層20は、スパッタリング蒸着工程を用いて形成することができる。上記抵抗層20は、TiNまたはTaNなどのような金属窒化物で形成することができる。
【0051】
図4Bを参照すると、上記抵抗層(図4Aの20)上にフォトレジストパターン30を形成することができる。上記フォトレジストパターン30をエッチングマスクとして用いることにより、上記抵抗層(図4Aの20)をエッチングすることで抵抗体22を形成することができる。上記抵抗体22は、第1部分22a、第2部分22b、及び上記第1部分22aと上記第2部分22bとの間の中間部分22cを含むように形成することができる。上記抵抗体22の上記第1部分22a、上記中間部分22c、及び上記第2部分22bは、連続的につながるように形成することができる。上記中間部分22cは、需要者が所望する上記抵抗体22の抵抗値に応じて様々な形状または長さ/幅を有するように変形することができる。
【0052】
上記抵抗層(図4Aの20)は、ドライエッチング工程でエッチングすることができる。但し、本発明の技術的思想はこれに限定されない。例えば、上記抵抗層(図4Aの20)は、ウェットエッチング工程でエッチングすることもできる。
【0053】
図4Cを参照すると、上記フォトレジストパターン30をエッチングマスクとして用いることにより、上記絶縁基板10をエッチングすることで突出部14の外縁を画定する陥没領域12を形成することができる。上記陥没領域12の深さDは、上記絶縁基板10の厚さTの約10%〜約40%にすることができる。
【0054】
上記フォトレジストパターン30をエッチングマスクとして用いることにより、上記抵抗層(図4Aの20)及び上記絶縁基板10の順にエッチングすると、上記抵抗体22及び上記突出部14が上記フォトレジストパターン30の下部に残存して形成できるようになる。これにより、上記突出部14及び上記抵抗体22は、同一の形状に形成されることができ、自己整列(例えば、面方向に沿った位置合わせなど)されることができる。
【0055】
図4Dを参照すると、上記フォトレジストパターン(図4Cの30)を選択的に除去することができる。
【0056】
再び、図1A及び図1Bを参照すると、上記抵抗体22上に第1及び第2内部電極40a、40bを形成することができる。上記第1内部電極40aは、上記抵抗体22の上記第1部分22aと接続されるように形成することができ、上記第2内部電極40bは、上記抵抗体22の上記第2部分22bと接続されるように形成することができる。また、上記抵抗体22の上記中間部分22cを覆う保護絶縁層50を形成することができる。上記保護絶縁層50は、シリコン酸化物、ガラス、及び/またはポリマーなどのような絶縁性物質で形成することができる。なお、上記第1内部電極40aと接続される第1外部電極60a、及び上記第2内部電極40bと接続される第2外部電極60bを形成することができる。
【0057】
次に、図5を参照して、本発明の一実施例による他の電子部品100について説明する。図5は、本発明の一実施例による他の電子部品を示す断面図である。
【0058】
図5を参照すると、本発明の一実施例による他の電子部品100は、パッド120を含む回路基板110上に実装された電子部品1を含むことができる。上記回路基板110はプリント回路基板であってもよい。
【0059】
上記回路基板110上に実装される上記電子部品1は、図1A図3Bを用いて説明した本発明の一実施例による電子部品1の例のうちいずれか一つであってもよい。上記回路基板110は、上記絶縁基板10の第2面と相対することができる。上記電子部品1の上記第1及び第2外部電極60a、60bは、上記回路基板110の上記パッド120と電気的に接続されることができる。上記電子部品1の上記第1及び第2外部電極60a、60bと上記回路基板110のパッド120とは半田130を介して物理的に接続されることができる。
【0060】
本発明の実施例によると、上記絶縁基板10の上記陥没領域12及び上記突出部14により、上記絶縁基板10の表面積を増加させることができる。このように表面積が増加した絶縁基板10は、上記突出部14上に形成される上記抵抗体22から発生する熱を効果的に放出することができる。これにより、上記抵抗体22を含む電子部品1の放熱特性を改善させることができる。上記抵抗体22を含む電子部品1、例えば、チップ抵抗器の放熱特性を改善させることができるため、上記抵抗体22の許容電力を向上させることができる。その結果、高電力の電子部品1、例えば、高電力のチップ抵抗器を提供することができる。
【0061】
以上、本発明の実施例について詳細に説明したが、本発明の範囲はこれに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有するものには明らかである。
【符号の説明】
【0062】
1 電子部品
10 絶縁基板
12 陥没領域
14 突出部
20 抵抗層
22 抵抗体(resistor)
22a 第1部分
22b 第2部分
22c 中間部分
30 フォトレジストパターン
40a 第1内部電極
40b 第2内部電極
60a 第1外部電極
60b 第2外部電極
110 回路基板
120 パッド
図1A
図1B
図2
図3A
図3B
図4A
図4B
図4C
図4D
図5