特開2018-85539基板スタックを取り扱うための、収容システム及び装置及び方法

発明の名称　基板スタックを取り扱うための、収容システム及び装置及び方法

出願人　エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー　（識別番号 508333169）

　　　　特許公開件数ランキング 940 位（8件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 819 位（8件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2018-85539

公報発行日　2018年5月31

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2018-85539

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