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特開2018-91330軸偏心の補償の為の連結装置を有する真空ポンプ
発明の名称 軸偏心の補償の為の連結装置を有する真空ポンプ
出願人 プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー （識別番号 391043675）
特許公開件数ランキング 13870 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 11686 位（1件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2018-91330
公報発行日 2018年6月14
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2018-91330
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