特開2018-95481窒化アルミニウム前駆体の連続製造装置、および窒化アルミニウム前駆体の連続製造方法

発明の名称　窒化アルミニウム前駆体の連続製造装置、および窒化アルミニウム前駆体の連続製造方法

出願人　丸祥電器株式会社　（識別番号 591021062）

　　　　特許公開件数ランキング 13870 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11686 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2018-95481

公報発行日　2018年6月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2018-95481

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