特開2019-108611(P2019-108611A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2019-108611CVDを用いたTaCコーティング層の製造方法及びそれを用いて製造したTaCの物性
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  • 特開2019108611-CVDを用いたTaCコーティング層の製造方法及びそれを用いて製造したTaCの物性 図000007
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