特開2019-117400基板処理方法における欠陥削減

発明の名称　基板処理方法における欠陥削減

出願人　エクソジェネシス　コーポレーション　（識別番号 508216552）

　　　　特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2019-117400

公報発行日　2019年7月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2019-117400

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