【解決手段】本開示の表示装置は、第1の透光性基板SUB1と、前記第1の透光性基板と対向して表示面側に配置された第2の透光性基板SUB2と、前記第1の透光性基板及び前記第2の透光性基板の少なくとも一方の内部において、平面視で、輝点欠陥部133と重畳し、可視光の透過量を減少させる第1の減光部1と、を含み、前記第1の減光部が、中央に配置された第1の領域と、前記第1の領域の周囲に配置された第2の領域と、を含む円形状を有し、前記第1の領域における可視光の透過率が、前記第2の領域における可視光の透過率よりも高い。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。以下の実施形態では、液晶表示装置を例に挙げるが、本発明に係る表示装置は、液晶表示装置に限定されるものではなく、例えば有機EL表示装置又はプラズマディスプレイパネル等であってもよい。
【0013】
[第1の実施形態]
以下、第1の実施形態について、図面を用いて説明する。
【0014】
[液晶表示装置]
図1は、本開示の第1の実施形態に係る液晶表示装置LCDの全体構成を示す平面図である。液晶表示装置LCDは、画像を表示する表示パネルDPと、表示パネルDPを駆動する表示パネル用駆動回路(データ線駆動回路30、ゲート線駆動回路31)と、表示パネル用駆動回路を制御する制御回路(図示せず)と、表示パネルDPに背面側から光を照射するバックライト光を照射するバックライト134とを含んでいる。
【0015】
図2は、表示パネルDPの一部の構成を示す平面図である。
図3は、
図2のA1−A2線で切断した切断部の端面図である。なお、
図2及び
図3では、1つの画素Pを示している。
【0016】
表示パネルDPは、背面側に配置される薄膜トランジスタ基板SUB1(以下、TFT基板SUB1という。)と、表示面側に配置され、TFT基板SUB1に対向するカラーフィルタ基板SUB2(以下、CF基板SUB2という。)と、TFT基板SUB1及びCF基板SUB2の間に挟持される液晶層LCと、を含んでいる。
【0017】
TFT基板SUB1には、列方向に延在する複数のデータ線DLと、行方向に延在する複数のゲート線GLとが形成され、複数のデータ線DLと複数のゲート線GLとのそれぞれの交差部近傍に薄膜トランジスタTFTが形成されている。また、隣り合う2本のデータ線DLと隣り合う2本のゲート線GLとにより囲まれる矩形領域が、1つの画素Pとして規定される。画素Pは、TFT基板SUB1において、マトリクス状に複数配置されている。
【0018】
画素Pには、スズ添加酸化インジウム(ITO)等の透明(透光性)導電膜からなる画素電極PIT(表示用電極)が形成されている。
図2に示すように、画素電極PITは、開口部32(例えばスリット)を有し、ストライプ状に形成されている。薄膜トランジスタTFTは、ゲート絶縁膜GSN(
図3参照)上に、非晶質シリコン(a-Si)からなる半導体層SEMが形成され、半導体層SEM上にドレイン電極DM及びソース電極SMが形成されている(
図2参照)。ドレイン電極DMは、データ線DLに電気的に接続されている。ソース電極SMと画素電極PITとは、コンタクトホールCONTを介して互いに電気的に接続されている。
【0019】
画素Pを構成する各部の積層構造は、
図3の構成に限定されるものではなく、周知の構成を適用することができる。例えば
図3に示す構成では、TFT基板SUB1において、第1のガラス基板GB1(第1の透光性基板)上にゲート線GL(
図2参照)が形成され、ゲート線GLを覆うようにゲート絶縁膜GSNが形成されている。また、ゲート絶縁膜GSN上にデータ線DLが形成され、データ線DLを覆うように絶縁膜PASが形成されている。また、絶縁膜PAS上に共通電極CIT(表示用電極)が形成され、共通電極CITを覆うように上層絶縁膜UPASが形成されている。さらに、上層絶縁膜UPAS上に画素電極PITが形成され、画素電極PITを覆うように配向膜AFが形成されている。第1のガラス基板GB1の背面側には、第1の偏光板POL1が形成されている。
【0020】
また、
図3に示すCF基板SUB2において、第2のガラス基板GB2(第2の透光性基板)の下面側にブラックマトリクスBM(遮光部)及びカラーフィルタCF(例えば、赤色部、緑色部、青色部)(光透過部)が形成され、これらを覆うようにオーバコート層OCが形成されている。第2のガラス基板GB2の表示面側には、第2の偏光板POL2が形成されている。よって、第2のガラス基板GB2は、第1のガラス基板GB1と対向して表示面側に位置しているとともに、液晶層LCは、第1のガラス基板GB1と第2のガラス基板GB2との間に配置されている。
【0021】
図3に示す構成によれば、液晶表示装置LCDは、いわゆるIPS(In Plane Switching)方式の構成を有しているが、第1の実施形態に係る液晶表示装置LCDはこれに限定されない。
【0022】
次に、液晶表示装置LCDの駆動方法を簡単に説明する。ゲート線駆動回路31から出力された走査用のゲート電圧がゲート線GLに供給され、データ線駆動回路30から出力された映像用のデータ電圧がデータ線DLに供給される。ゲート線GLにゲートオン電圧が供給されると、薄膜トランジスタTFTの半導体層SEMが低抵抗となり、データ線DLに供給されたデータ電圧が、ソース電極SMを介して画素電極PITに供給される。また、共通電極駆動回路(図示せず)から出力された共通電圧が、共通電極CITに供給される。これにより、画素電極PITと共通電極CITとの間に電界(駆動用電界)が発生し、該電界により液晶層LCが駆動され、画像が表示される。
【0023】
ここで、液晶表示装置LCDは、その製造工程において、画素の表示輝度が所望の輝度よりも高くなる輝点欠陥(画素欠陥)が生じる場合がある。
図4には、画素Pが輝点欠陥部133となる場合の一例を示している。
図4では、液晶表示装置LCDの製造工程において、TFT基板SUB1とCF基板SUB2との間に有機物や又は金属等の異物33が混入した場合を例示している。
図4に示す画素Pでは、異物(混入物)33によって液晶の配向が乱されることにより、バックライト光34の光漏れが生じて輝点欠陥がある輝点欠陥部133となる。
【0024】
第1の実施形態に係る液晶表示装置LCDでは、前記輝点欠陥を抑えるための構成を有している。具体的には、
図5に示すように、CF基板SUB2の第2のガラス基板GB2の内部に、バックライト光34における可視光の透過量を減少させる第1の減光部1が形成されている。
【0025】
第1の減光部1は、平面視で輝点欠陥部133と重畳するよう配置されている。本実施形態においては、第1の減光部1が、第2のガラス基板GB2の表示面側から見た際に、異物33による輝点欠陥部133を覆い隠すように形成されている。すなわち、第1の減光部1は、第1のガラス基板GB1及び第2のガラス基板GB2の少なくとも一方の内部において、表示面側から見て輝点欠陥部133を覆う。
【0026】
図6は、本実施形態に係る第1の減光部1の模式的な斜視図である。本実施形態においては、第1の減光部1は、円形状を有している。なお、円形状には、真円のみならず楕円等も含まれる。この円形状の第1の減光部1は、中央に配置された第1の領域11と、この第1の領域11の周囲に配置された第2の領域12とを含んでいる。中央に配置された第1の領域11の面積が、第2の領域12の面積よりも小さい。
【0027】
本実施形態において、第1の領域11における可視光の透過率は、第2の領域12における可視光の透過率よりも高くなっている。更に、本実施形態における第1の減光部1は、スパイラル状の第1の低透過率領域10を含み、このスパイラル状の第1の低透過率領域10は、第2の領域12に配置されている。第1の低透過率領域10は、第2の領域12における他の領域と比較して、可視光の透過率が低い。
【0028】
この
図6に示すような第1の減光部1は、レーザ光をガラス基板GB内で焦点を持つよう照射すると共に、第1の減光部1の外周側から内周側へとレーザ光をスパイラル状に走査することにより形成することができる。この時、レーザ光の照射は、第1の減光部1の中心部である第1の領域11において終了することになるため、この第1の領域11において、若干の歪が生じる。そのため、第1の領域11における可視光の透過率は、第2の領域12における可視光の透過率と比べて、若干高くなっている。
【0029】
本開示のような構成とすることにより、歪が生じる領域の面積を抑えることができる。例えば第1の方向にレーザ光を走査した後に、レーザ光の走査方向を第1の方向に逆方向に折り返し、当該逆方向にレーザ光を走査することを繰り返すような場合、このレーザ光の走査に関する全ての折り返し領域において歪が発生してしまう。これに対し、本開示の構成とすることにより、歪が生じる領域を、第1の減光部の中央領域である第1の領域11に集めることができる。その結果として、輝点欠陥に起因した表示品質の低下を抑制することが可能となる。
【0030】
[第1変形例]
図7は、本実施形態の第1変形例に係る液晶表示装置LCDにおいて、前記輝点欠陥を抑えるための他の構成を示す。
【0031】
第1変形例においては、第1の減光部1を形成する際の焦点位置よりも深い位置(背面側)に第2の減光部2を形成する。第2の減光部2は、平面的に配列されており、第2のガラス基板GB2の表示面側から見た際に、異物33による輝点欠陥部133を覆い隠すように形成されている。すなわち、第1のガラス基板GB1及び第2のガラス基板GB2の少なくとも一方の内部において、表示面側から見て輝点欠陥部133を覆う第2の減光部2を配置している。第2の減光部2は、バックライト光34における可視光の透過量を減少させる。
【0032】
図8は、本実施形態の第1変形例に係る第1の減光部1、及び第2の減光部2の模式的な斜視図である。
図8に示す第1変形例においては、第1の減光部1、及び第2の減光部2は、それぞれ円形状を有している。なお、円形状には、真円のみならず楕円等も含まれる。この円形状の第1の減光部1は、中央に配置された第1の領域11と、この第1の領域11の周囲に配置された第2の領域12とを含んでいる。同様に、円形状の第2の減光部2は、中央に配置された第3の領域23Aと、この第3の領域23Aの周囲に配置された第4の領域24Aとを含んでいる。この第1変形例においても、第1の減光部1において、中央に配置された第1の領域11の面積が、第2の領域12の面積よりも小さい。同様に、第2の減光部2において、中央に配置された第3の領域23Aの面積が、第4の領域24Aの面積よりも小さい。
【0033】
第1変形例において、第1の領域11における可視光の透過率は、第2の領域12における可視光の透過率よりも高くなっている。また、第3の領域23Aにおける可視光の透過率は、第4の領域24Aにおける可視光の透過率よりも高くなっている。更に、第1変形例における第1の減光部1は、スパイラル状の第1の低透過率領域10を含み、このスパイラル状の第1の低透過率領域10は、第2の領域12に配置されている。同様に、第2の減光部2は、スパイラル状の第2の低透過率領域20を含み、このスパイラル状の第2の低透過率領域20は、第4の領域24Aに配置されている。第2の低透過率領域20は、第4の領域24Aにおける他の領域と比較して、可視光の透過率が低い。
【0034】
図8に示すにように、第1変形例においては、第1の減光部1が、第2の減光部2よりも表示面側に配置されており、平面視で、第1の減光部1の中心軸が、第2の減光部2の中心軸と重畳しないように配置されている。より具体的には、平面視で、第1の減光部1の第1の領域11と第2の減光部2の第3の領域23Aとが重畳せず、第1の減光部1の第1の領域11が第2の減光部2の第4の領域24Aと重畳し、第2の減光部2の第3の領域23Aが第1の減光部1の第2の領域12と重畳するように配置している。
【0035】
このような構成とすることにより、輝点欠陥に起因した表示品質の低下を更に抑制することが可能となる。即ち、第1の減光部1の第1の領域11、及び第2の減光部2の第3の領域23Aは、それぞれ歪を含んでいる可能性があり、可視光の透過率が、第2の領域12、第4の領域24Aに比べて高い。そのため、透過率が高い第1の領域11と、第1の領域11よりも透過率が低い第4の領域24Aとを、平面視で重畳させるとともに、透過率が高い第3の領域23Aと、第3の領域23Aよりも透過率が低い第2の領域12とを、平面視で重畳させる。このような構成とすることにより、輝点欠陥部133に起因して発生した光が、第1の領域11、第3の領域23Aから表示面側に抜け出てしまうのを抑制することが可能となる。
【0036】
[第2変形例]
図9は、本実施形態の第2変形例に係る液晶表示装置LCDにおいて、前記輝点欠陥を抑えるための他の構成を示す。
【0037】
第2変形例においては、第1の減光部1を形成する際の焦点位置よりも深い位置(背面側)に第2の減光部2Bを形成する。第2の減光部2Bは、平面的に配列されており、第2のガラス基板GB2の表示面側から見た際に、異物33による輝点欠陥部133を覆い隠すように形成されている。すなわち、第1のガラス基板GB1及び第2のガラス基板GB2の少なくとも一方の内部において、表示面側から見て輝点欠陥部133を覆う第2の減光部2Bを配置している。第2の減光部2は、バックライト光34における可視光の透過量を減少させる。
【0038】
図10は、本実施形態の第1変形例に係る第1の減光部1、及び第2の減光部2Bの模式的な斜視図である。
図10に示す第2変形例においては、第1の減光部1、及び第2の減光部2Bは、それぞれ円形状を有している。なお、円形状には、真円のみならず楕円等も含まれる。この円形状の第1の減光部1は、中央に配置された第1の領域11と、この第1の領域11の周囲に配置された第2の領域12とを含んでいる。また、円形状の第2の減光部2Bは、中央に配置された第3の領域23Bと、この第3の領域23Bの周囲に配置された第4の領域24Bとを含んでいる。
【0039】
なお、この第2変形例においては、第2の減光部2Bの構成が、第1変形例と異なる。
【0040】
まず、第1の減光部1は、中央に配置された第1の領域11の面積が、第2の領域12の面積よりも小さい構成としているのに対し、第2の減光部2Bは、第3の領域23Bの周囲に配置された第4の領域24Bの面積が、第3の領域23Bの面積よりも小さい構成としている。
【0041】
第1の減光部1において、第1の領域11における可視光の透過率は、第2の領域12における可視光の透過率よりも高くなっている。一方、この第2変形例においては、第2の減光部2Bにおいて、第4の領域24Bにおける可視光の透過率は、第3の領域23Bにおける可視光の透過率よりも高くなっている。また、第2変形例における第1の減光部1は、スパイラル状の第1の低透過率領域10を含み、このスパイラル状の第1の低透過率領域10は、第2の領域12に配置されている。一方、第2の減光部2Bは、第3の領域23Bにおいてスパイラル状の第2の低透過率領域20Bを含む。第2の低透過率領域20Bは、第3の領域23Bにおける他の領域と比較して、可視光の透過率が低い。
【0042】
この
図10に示すような第2の減光部2Bは、レーザ光をガラス基板GB内で焦点を持つよう照射すると共に、第2の減光部2Bの内周側から外周側へとレーザ光をスパイラル状に走査することにより形成することができる。この時、レーザ光の照射は、第2の減光部2Bの外周部である第4の領域24Bにおいて終了することになるため、この第4の領域24Bにおいて、若干の歪が生じる。そのため、第4の領域24Bにおける可視光の透過率は、第3の領域23Bにおける可視光の透過率と比べて、若干高くなっている。
【0043】
図10に示すにように、第2変形例においては、第1の減光部1が、第2の減光部2より表示面側に配置されており、平面視で、第1の減光部1の第1の領域11が、第2の減光部2Bの第3の領域23Bと重畳するように配置されている。また、平面視で、第1の減光部1の第2の領域12が、第2の減光部2Bの第4の領域24Bと重畳するように配置されている。
【0044】
このような構成とすることにより、輝点欠陥に起因した表示品質の低下を更に抑制することが可能となる。即ち、第1の減光部1の第1の領域11、及び第2の減光部2Bの第4の領域24Bは、それぞれ歪を含んでいる可能性があり、可視光の透過率が、第2の領域12、第3の領域23Bに比べて高くなってしまっている。そのため、透過率が高い第1の領域11と、第1の領域11よりも透過率が低い第3の領域23Bとを、平面視で重畳させるとともに、透過率が高い第4の領域24Bと、第4の領域24Bよりも透過率を低い第2の領域12とを、平面視で重畳させることにより、輝点欠陥部133に起因して発生した光が、第1の領域11、第4の領域24Bから表示面側に抜け出てしまうのを抑制することが可能となる。
【0045】
更に、第2変形例においては、
図10に示すように、表示面側に配置された第1の減光部1の径が、背面側に配置された第2の減光部2Bの径よりも大きい構成としている。このような構成とすることによって、平面視で第1の減光部1の第2の領域12が、第2の減光部の第4の領域24Bを覆う構成とすることができるため、第4の領域24Bから漏れ出た光が、表示面側に抜けることを抑制することができる。
【0046】
[第3変形例]
図11は、本実施形態の第3変形例に係る液晶表示装置LCDにおいて、前記輝点欠陥を抑えるための他の構成を示す。
【0047】
第3変形例においては、第1の減光部1を形成する際の焦点位置よりも表示面側に第2の減光部2Cを形成する。第2の減光部2Cは、平面的に配列されており、第2のガラス基板GB2の表示面側から見た際に、異物33による輝点欠陥部133を覆い隠すように形成されている。すなわち、第1のガラス基板GB1及び第2のガラス基板GB2の少なくとも一方の内部において、表示面側から見て輝点欠陥部133を覆う第2の減光部2Cを配置している。
【0048】
図12は、本実施形態の第1変形例に係る第1の減光部1、及び第2の減光部2Cの模式的な斜視図である。
図12に示す第3変形例においては、第1の減光部1、及び第2の減光部2Cは、それぞれ円形状を有している。なお、円形状には、真円のみならず楕円等も含まれる。この円形状の第1の減光部1は、中央に配置された第1の領域11と、この第1の領域11の周囲に配置された第2の領域12とを含んでいる。また、円形状の第2の減光部2Cは、中央に配置された第3の領域23Cと、この第3の領域23Cの周囲に配置された第4の領域24Cとを含んでいる。
【0049】
第1の減光部1は、中央に配置された第1の領域11の面積が、第2の領域12の面積よりも小さい構成としているのに対し、第2の減光部2Cは、第3の領域23Cの周囲に配置された第4の領域24Cの面積が、第3の領域23Cの面積よりも小さい構成としている。
【0050】
第1の減光部1において、第1の領域11における可視光の透過率は、第2の領域12における可視光の透過率よりも高くなっている。一方、第2の減光部2Cにおいて、第4の領域24Cにおける可視光の透過率は、第3の領域23Cにおける可視光の透過率よりも高くなっている。また、第3変形例における第1の減光部1は、スパイラル状の第1の低透過率領域10を含み、このスパイラル状の第1の低透過率領域10は、第2の領域12に配置されている。一方、第2の減光部2Cは、第3の領域23Cにおいてスパイラル状の第2の低透過率領域20Cを含む。第2の低透過率領域20Cは、第3の領域23Cにおける他の領域と比較して、可視光の透過率が低い。
【0051】
この
図12に示すような第2の減光部2Cは、レーザ光をガラス基板GB内で焦点を持つよう照射すると共に、第2の減光部2Cの内周側から外周側へとレーザ光をスパイラル状に走査することにより形成することができる。この時、レーザ光の照射は、第2の減光部2Cの外周部である第4の領域24Cにおいて終了することになるため、この第4の領域24Cにおいて、若干の歪が生じる。そのため、第4の領域24Cにおける可視光の透過率は、第3の領域23Cにおける可視光の透過率と比べて、若干高くなっている。
【0052】
図12に示すにように、第3変形例においては、第2の減光部2Cが、第1の減光部1より表示面側に配置されており、平面視で、第2の減光部2Cの第3の領域23Cが、第1の減光部1の第1の領域11と重畳するように配置されている。
【0053】
このような構成とすることにより、輝点欠陥に起因した表示品質の低下を更に抑制することが可能となる。即ち、第1の減光部1の第1の領域11は、歪を含んでいる可能性があり、可視光の透過率が、第2の領域12に比べて高くなってしまっている。そのため、透過率が高い第1の領域11と、第1の領域11と比べて透過率が低い第3の領域23Cとを、平面視で重畳させることにより、輝点欠陥部133に起因して発生した光が、第1の領域11から表示面側に抜け出てしまうのを抑制することが可能となる。
【0054】
更に、第3変形例においては、
図12に示すように、表示面側に配置された第2の減光部2Cの径が、背面側に配置された第1の減光部1の径よりも大きい構成としている。更には、透過率を下げることができている第2の領域23Cが、平面視で、第1の減光部1を覆う構成としている。そのため、第1の減光部1から漏れ出た光が、表示面側に抜けることを抑制することができる。
【0055】
[液晶表示装置の製造方法]
次に、液晶表示装置LCDの製造方法について説明する。当該製造方法は、第1のガラス基板GB1(第1の透光性基板)と、前記第1のガラス基板GB1と対向して表示面側に位置する第2のガラス基板GB2(第2の透光性基板)と、を備える表示装置の製造方法について説明する。
【0056】
本実施形態における表示装置の製造方法は、TFT基板SUB1を準備する工程と、CF基板SUB2を準備する工程と、TFT基板SUB1及びCF基板SUB2を貼り合わせる工程と、液晶注入工程と、表示パネルDPの点灯検査を行って、画素の輝点欠陥部を検出する検出工程と、輝点欠陥を修正する工程とを含んでいる。
【0057】
前記各工程のうち、TFT基板SUB1を準備する工程、CF基板SUB2を準備する工程、TFT基板SUB1及びCF基板SUB2を貼り合わせる工程、液晶注入工程、及び検出工程は、周知の方法を適用することができる。
【0058】
例えば、TFT基板SUB1を準備する工程は、第1のガラス基板GB1上に、ゲート線GL、データ線DL、画素電極PIT、共通電極CIT、各種絶縁膜、及び第1の偏光板POL1を形成する工程を含む。TFT基板SUB1で規定される画素Pは、赤色に対応する赤色画素Pr、緑色に対応する緑色画素Pg、及び青色に対応する青色画素Pbを含んでもよい。また、CF基板SUB2の製造工程は、第2のガラス基板GB2上に、ブラックマトリクスBM、カラーフィルタCF、及び第2の偏光板POL2を形成する工程を含む。
【0059】
以下では、本実施形態における表示装置の製造方法のうちの検出工程及び輝点欠陥修正工程について説明する。
【0060】
図13は、輝点欠陥の修正方法のフロー図を示す。
図14は、輝点欠陥の修正方法を実施できる表示装置の製造装置95のブロック図を示す。
【0061】
表示装置の製造装置95は、少なくとも、表示装置の点灯検査を行って画素の輝点欠陥を検出する検査装置に含まれる検査装置90と、輝点欠陥修正装置6とを備えている。製造装置95は、さらに、制御装置93と演算部91とを備えていても良い。制御装置93は、検査装置90と演算部91と輝点欠陥修正装置6とをそれぞれ動作制御する。演算部91は、後述するように所定の演算を行う。検査装置90は、顕微鏡などからなる検査光学系を含む。
【0062】
先ず、検出工程では、検査装置90により、輝点欠陥を検出する。例えば、検査装置90は、表示パネルDPを全点灯又は1ラインごとに点灯させて、各画素の輝度を測定する(ステップS001)。あるいは、表示パネルDPを黒表示状態とし、表示パネルDPの背面側からバックライト光34を照射して、各画素の輝度を測定する方法としてもよい。
【0063】
次に、検査装置90は、閾値を超える輝度が測定された画素を輝点欠陥部133(画素欠陥部)として検出する(ステップS002)。検査装置90は、輝点欠陥部133として検出した画素の位置情報を、後述の輝点欠陥修正装置6に出力する。輝点欠陥部133の検出は、作業者による目視で行ってもよい。
【0064】
上述したステップS002にて輝点欠陥部133が検出された場合、輝点欠陥修正工程(ステップS030)に移行する。輝点欠陥部133が検出されないときは、このフローを終了する。
【0065】
図15には、輝点欠陥修正工程(ステップS030)を行うための輝点欠陥修正装置6の概略構成を示している。輝点欠陥修正装置6は、超短パルスレーザ発振機構7と、高集光レンズ8などを含む照射光学系52と、照射光学系52によるレーザ光の照射位置を移動させる移動装置92と、を含んでいる。
【0066】
輝点欠陥修正工程(ステップS030)において、本実施形態では、一例として、超短パルスレーザ発振機構7として、1552nmのレーザ光の波長及びパルス幅800fsのレーザ光を用いている。
【0067】
輝点欠陥修正工程(ステップS030)は、ステップS003〜ステップS006の工程を含む。
【0068】
輝点欠陥修正工程(ステップS030)では、先ず、輝点欠陥修正装置6が、検査装置90から、輝点欠陥の画素の位置情報及び形状情報(例えば、位置、大きさ、形状)を取得する(ステップS003)。
【0069】
次に、取得した形状情報より、演算部91において、超短パルスレーザ光4を照射して形成する第1の減光部1の形状及び位置情報(例えば、位置、大きさ、形状)を演算する(ステップS004)。
【0070】
次に、制御装置93での制御の下に、演算部91で演算して取得した第1の減光部1の位置情報に基づいて、輝点欠陥修正装置6の高集光レンズ8などの光学系を位置合わせする。
【0071】
次に、制御装置93での制御の下に、輝点欠陥修正装置6は、超短パルスレーザ光4の焦点Fの位置が、第2のガラス基板GB2の内部の所望の位置に合うように調整する。焦点Fの位置は、例えば、輝点欠陥の原因となる異物の大きさ、又は、測定された輝度値に基づいて調整される。例えば、
図14に示すように、第2のガラス基板GB2の内部において、異物33の近傍側に超短パルスレーザ光4の焦点Fが合うように調整する。
【0072】
次に、制御装置93での制御の下に、輝点欠陥修正装置6は、超短パルスレーザ発振機構7から超短パルスレーザ光4を出射させる。これにより、超短パルスレーザ発振機構7から出射された超短パルスレーザ光4は、高集光レンズ8により、第2のガラス基板GB2の内部の焦点Fに集光されて照射される。
【0073】
次に、制御装置93での制御の下に、超短パルスレーザ光4の照射位置(第1の照射位置)を、移動装置92により移動させつつ、超短パルスレーザ光4を連続的に照射する(第1の照射工程)ことにより、第1の減光部1を形成(ステップS005)する。このステップS005を経て、輝点欠陥修正工程(ステップS030)を完了する(ステップS006)。
【0074】
第1の照射工程においては、第1のガラス基板GB1及び第2のガラス基板GB2の少なくとも一方の内部における第1の照射位置に焦点を結ぶ超短パルスレーザ光4を照射して、
図5、6に示すように、表示面側からみて輝点欠陥部133を覆う第1の減光部1を形成する。第1の減光部1は、レーザ光をガラス基板GB内で焦点を持つよう照射すると共に、第1の減光部1の外周側から内周側へとレーザ光をスパイラル状に走査することにより形成することができる。この時、レーザ光の照射は、第1の減光部1の中心部である第1の領域11において終了することになるため、この第1の領域11において、若干の歪が生じる。そのため、第1の領域11における可視光の透過率は、第2の領域12における可視光の透過率と比べて、若干高くなっている。
【0075】
本開示のような製造方法とすることにより、歪が生じる領域の面積を最小限に抑えることができる。例えば第1の方向にレーザ光を走査した後に、レーザ光の走査方向を第1の方向に逆方向に折り返し、当該逆方向にレーザ光を走査することを繰り返すような場合、このレーザ光の走査に関する全ての折り返し領域において歪が発生してしまう。これに対し、本開示の製造方法とすることにより、歪が生じる領域を、第1の減光部の中央領域である第1の領域11に集めることができる。その結果として、輝点欠陥に起因した表示品質の低下を抑制することが可能となる。
【0076】
なお、上述した第1の照射工程が、第1の照射強度で前記エネルギービームを照射する第1強度照射工程と、第1強度照射工程の後で、前記第1の照射強度よりも弱い第2の照射強度で前記エネルギービームを照射する第2強度照射工程と、を含む方法とすることが望ましい。即ち、第1の減光部1の外周側からレーザ光を照射し、第2の領域12を形成するタイミングにおいては、ある程度の強度をもったレーザ光を照射することにより、第2の領域12における透過率を下げることが有効である。一方、歪が生じやすい、レーザ光照射の終了位置である、第1の領域11を照射するタイミングにおいては、レーザ光の照射強度を低くすることにより、歪が発生するのを抑制することができ、第1の領域11において、輝点欠陥部からの光が漏れ出てしまうことを抑制することができる。
【0077】
[第1変形例]
第1変形例においては、上述したステップS005において、第1の照射工程に加えて、制御装置93の制御の下に、第1の減光部1を形成する際の焦点位置よりも深い位置(背面側)に超短パルスレーザ光4の焦点を合わせて、当該超短パルスレーザ光4を照射する第2の照射工程を含む。この第2の照射工程により、第2の減光部2を形成する。
【0078】
第2の照射工程においては、第1のガラス基板GB1及び第2のガラス基板GB2の少なくとも一方の内部における第1の照射位置に焦点を結ぶ超短パルスレーザ光4を照射して、
図7、8に示すように、表示面側からみて輝点欠陥部133を覆う第2の減光部2を形成する。第2の減光部2は、レーザ光をガラス基板GB内で焦点を持つよう照射すると共に、第2の減光部2の外周側から内周側へとレーザ光をスパイラル状に走査することにより形成することができる。この時、レーザ光の照射は、第2の減光部2の中心部である第3の領域23Aにおいて終了することになるため、この第3の領域23Aにおいて、若干の歪が生じる。そのため、第3の領域23Aにおける可視光の透過率は、第4の領域24Aにおける可視光の透過率と比べて、若干高くなっている。
【0079】
図8に示すにように、第1変形例においては、第1の減光部1が、第2の減光部2よりも表示面側に配置されており、平面視で、第1の減光部1の中心軸が、第2の減光部2の中心軸と重畳しないように配置されている。より具体的には、平面視で、第1の減光部1の第1の領域11と第2の減光部2の第3の領域23Aとが重畳せず、第1の減光部1の第1の領域11が第2の減光部2の第4の領域24Aと重畳し、第2の減光部2の第3の領域23Aが第1の減光部1の第2の領域12と重畳するように配置している。
【0080】
このように、第1の減光部1の中心軸と第2の減光部2の中心軸とが重畳されない構成とするためには、第1の照射工程におけるレーザ光の照射終了位置と、第2の照射工程におけるレーザ光の照射終了位置とが、平面視で重畳しない方法とすることにより実現することができる。例えば、先に第1の照射工程を行い、後に第2の照射工程を行う場合には、第1の照射工程により形成された第1の減光部1の第2の領域12に平面視で重畳する位置で、第2の照射工程の照射を終了することにより、平面視で、第1の減光部1の第1の領域11と第2の減光部2の第3の領域23Aとが重畳しない構成を実現することができる。また、先に第2の照射工程を行い、後に第1の照射工程を行う場合には、第2の照射工程により形成された第2の減光部2の第4の領域24Aに平面視で重畳する位置で、第1の照射工程の照射を終了することにより、平面視で、第1の減光部1の第1の領域11と第2の減光部2の第3の領域23Aとが重畳しない構成を実現することができる。
【0081】
このような製造方法とすることにより、輝点欠陥に起因した表示品質の低下を更に抑制することが可能となる。即ち、第1の減光部1の第1の領域11、及び第2の減光部2の第3の領域23Aは、それぞれ歪を含んでいる可能性があり、可視光の透過率が、第2の領域12、第4の領域24Aに比べて高くなってしまっている。そのため、透過率が高い第1の領域11と、第1の領域11と比べて透過率が低い第4の領域24Aとを、平面視で重畳させるとともに、透過率が高い第3の領域23Aと、第3の領域23Aよりも透過率が低い第2の領域12とを、平面視で重畳させることにより、輝点欠陥部133に起因して発生した光が、第1の領域11、第3の領域23Aから表示面側に抜け出てしまうのを抑制することが可能となる。
【0082】
なお、上述した第1の照射工程、及び第2の照射工程が、第1の照射強度で前記エネルギービームを照射する第1強度照射工程と、第1強度照射工程の後で、前記第1の照射強度よりも弱い第2の照射強度で前記エネルギービームを照射する第2強度照射工程と、を含む方法とすることが望ましい。即ち、第1の減光部1、第2の減光部2の外周側からレーザ光を照射し、第2の領域12、第4の領域24Aを形成するタイミングにおいては、ある程度の強度をもったレーザ光を照射することにより、第2の領域12、第4の領域24Aにおける透過率を下げることが有効である。一方、歪が生じやすい、レーザ光照射の終了位置である、第1の領域11、第3の領域23Aを照射するタイミングにおいては、レーザ光の照射強度を低くすることにより、歪が発生するのを抑制することができ、第1の領域11、第3の領域23Aにおいて、輝点欠陥部からの光が漏れ出てしまうことを抑制することができる。
【0083】
[第2変形例]
第2変形例においては、上述したステップS005において、第1の照射工程に加えて、制御装置93の制御の下に、第1の減光部1を形成する際の焦点位置よりも深い位置(背面側)に超短パルスレーザ光4の焦点を合わせて、当該超短パルスレーザ光4を照射する第2の照射工程を含む。この第2の照射工程により、第2の減光部2Bを形成する。
【0084】
第2の照射工程においては、第1のガラス基板GB1及び第2のガラス基板GB2の少なくとも一方の内部における第1の照射位置に焦点を結ぶ超短パルスレーザ光4を照射して、
図9、10に示すように、表示面側からみて輝点欠陥部133を覆う第2の減光部2Bを形成する。第2の減光部2Bは、レーザ光をガラス基板GB内で焦点を持つよう照射すると共に、第2の減光部2Bの内周側から外周側へとレーザ光をスパイラル状に走査することにより形成することができる。この時、レーザ光の照射は、第2の減光部2Bの外周部である第4の領域24Bにおいて終了することになるため、この第4の領域24Bにおいて、若干の歪が生じる。そのため、第4の領域24Bにおける可視光の透過率は、第3の領域23Bにおける可視光の透過率と比べて、若干高くなっている。
【0085】
図10に示すにように、第2変形例においては、第1の減光部1が、第2の減光部2Bよりも表示面側に配置されており、平面視で、第1の減光部1の第1の領域11が、第2の減光部2Bの第3の領域23Bと重畳するように配置されている。また、平面視で、第1の減光部1の第2の領域12が、第2の減光部2Bの第4の領域24Bと重畳するように配置されている。
【0086】
このように、第1の減光部1の第1の領域11と第2の減光部2Bの第3の領域23Bとが重畳される構成とするためには、例えば、先に第1の照射工程を行い、後に第2の照射工程を行う場合には、第1の照射工程により形成された第1の減光部1の第1の領域11に平面視で重畳する位置で、第2の照射工程の照射を開始することにより、平面視で、第1の減光部1の第1の領域11と第2の減光部2Bの第3の領域23Bとを重畳させる構成を実現することができる。また、先に第2の照射工程を行い、後に第1の照射工程を行う場合には、第2の照射工程により形成された第2の減光部2Bの第4の領域24Bに平面視で重畳する位置で、第1の照射工程の照射を開始することにより、平面視で、第1の減光部1の第2の領域12が、第2の減光部2Bの第4の領域24Bと重畳する構成を実現することができる。
【0087】
このような製造方法とすることにより、輝点欠陥に起因した表示品質の低下を更に抑制することが可能となる。即ち、第1の減光部1の第1の領域11、及び第2の減光部2Bの第4の領域24Bは、それぞれ歪を含んでいる可能性があり、可視光の透過率が、第2の領域12、第3の領域23Bに比べて高くなってしまっている。そのため、透過率が高い第1の領域11と、第1の領域11と比べて透過率が低い第3の領域23Bとを、平面視で重畳させるとともに、透過率が高い第4の領域24Bと、透過率が低い第2の領域12とを、平面視で重畳させる。このような構成とすることにより、輝点欠陥部133に起因して発生した光が、第1の領域11、第4の領域24Bから表示面側に抜け出てしまうのを抑制することが可能となる。
【0088】
更に、第2変形例においては、
図10に示すように、表示面側に配置された第1の減光部1の径が、背面側に配置された第2の減光部2の径よりも大きい構成としている。このような構成とすることによって、平面視で第1の減光部1の第2の領域12が、第2の減光部の第4の領域24Bを覆う構成とすることができるため、第4の領域24Bから漏れ出た光が、表示面側に抜けることを抑制することができる。
【0089】
表示面側に配置された第1の減光部1の径を、背面側に配置された第2の減光部2Bの径よりも大きい構成とするためには、例えば、先に第1の照射工程を行い、後に第2の照射工程を行う場合には、第1の照射工程により形成された第1の減光部1の外形よりも内周側において、第2の照射工程におけるスパイラル状のレーザ光照射を終了する。また、先に第2の照射工程を行い、後に第1の照射工程を行う場合には、第2の照射工程により形成された第2の減光部2Bの外形よりも外周側から、第1の照射工程におけるスパイラル状のレーザ光照射を開始する。
【0090】
なお、上述した第1の照射工程、及び第2の照射工程が、第1の照射強度で前記エネルギービームを照射する第1強度照射工程と、第1強度照射工程の後で、前記第1の照射強度よりも弱い第2の照射強度で前記エネルギービームを照射する第2強度照射工程と、を含む方法とすることが望ましい。即ち、第1の減光部1の外周側からのレーザ光を照射し、第2の領域12を形成するタイミング、及び、第2の減光部2Bの内周側からレーザ光を照射し、第3の領域23Bを形成するタイミングにおいては、ある程度の強度をもったレーザ光を照射することにより、第2の領域12、第3の領域23Bにおける透過率を下げることが有効である。一方、歪が生じやすい、レーザ光照射の終了位置である、第1の領域11、第4の領域24Bを照射するタイミングにおいては、レーザ光の照射強度を低くすることにより、歪が発生するのを抑制することができ、第1の領域11、第4の領域24Bにおいて、輝点欠陥部からの光が漏れ出てしまうことを抑制することができる。
【0091】
[第3変形例]
第3変形例においては、上述したステップS005において、第1の照射工程に加えて、制御装置93の制御の下に、第1の減光部1を形成する際の焦点位置よりも表示面側に超短パルスレーザ光4の焦点を合わせて、当該超短パルスレーザ光4を照射する第2の照射工程を含む。この第2の照射工程により、第2の減光部2Cを形成する。
【0092】
第2の照射工程においては、第1のガラス基板GB1及び第2のガラス基板GB2の少なくとも一方の内部における第1の照射位置に焦点を結ぶ超短パルスレーザ光4を照射して、
図11、12に示すように、表示面側からみて輝点欠陥部133を覆う第2の減光部2Cを形成する。第2の減光部2Cは、レーザ光をガラス基板GB内で焦点を持つよう照射すると共に、第2の減光部2Cの内周側から外周側へとレーザ光をスパイラル状に走査することにより形成することができる。この時、レーザ光の照射は、第2の減光部2Cの外周部である第4の領域24Cにおいて終了することになるため、この第4の領域24Cにおいて、若干の歪が生じる。そのため、第4の領域24Cにおける可視光の透過率は、第3の領域23Cにおける可視光の透過率と比べて、若干高くなっている。
【0093】
図12に示すにように、第3変形例においては、第2の減光部2Cが、第1の減光部1よりも表示面側に配置されており、平面視で、第1の減光部1の第1の領域11が、第2の減光部2Cの第3の領域23Cと重畳するように配置されている。
【0094】
このように、第1の減光部1の第1の領域11と第2の減光部2Cの第3の領域23Cとが重畳される構成とするためには、例えば、先に第1の照射工程を行い、後に第2の照射工程を行う場合には、第1の照射工程により形成された第1の減光部1の第1の領域11に平面視で重畳する位置で、第2の照射工程の照射を開始することにより、平面視で、第1の減光部1の第1の領域11と第2の減光部2Cの第3の領域23Cとを重畳させる構成を実現することができる。
【0095】
このような製造方法とすることにより、輝点欠陥に起因した表示品質の低下を更に抑制することが可能となる。即ち、第1の減光部1の第1の領域11は、歪を含んでいる可能性があり、可視光の透過率が、第2の領域12、第3の領域23Cに比べて高くなってしまっている。そのため、透過率が高い第1の領域11と、第1の領域11と比べて透過率が低い第3の領域23Cとを、平面視で重畳させることにより、輝点欠陥部133に起因して発生した光が、第1の領域11から表示面側に抜け出てしまうのを抑制することが可能となる。
【0096】
更に、第3変形例においては、
図12に示すように、表示面側に配置された第2の減光部2Cの径が、背面側に配置された第1の減光部1の径よりも大きい構成としている。更には、平面視で、第2の減光部2Cの第3の領域23Cが、第1の減光部1を覆う構成としている。そのため、第1の減光部1から漏れ出た光が、表示面側に抜けることを抑制することができる。
【0097】
表示面側に配置された第2の減光部2Cの径を、背面側に配置された第1の減光部1の径よりも大きい構成とするためには、例えば、先に第1の照射工程を行い、後に第2の照射工程を行う場合には、第1の照射工程により形成された第1の減光部1の外形よりも外周側まで、第2の照射工程におけるスパイラル状のレーザ光照射を継続する。また、先に第2の照射工程を行い、後に第1の照射工程を行う場合には、第2の照射工程により形成された第2の減光部2Cの外形よりも内周側から、第1の照射工程におけるスパイラル状のレーザ光照射を開始する。
【0098】
なお、上述した第1の照射工程、及び第2の照射工程が、第1の照射強度で前記エネルギービームを照射する第1強度照射工程と、第1強度照射工程の後で、前記第1の照射強度よりも弱い第2の照射強度で前記エネルギービームを照射する第2強度照射工程と、を含む方法とすることが望ましい。即ち、第1の減光部1の外周側からのレーザ光を照射し、第2の領域12を形成するタイミング、及び、第2の減光部2Cの内周側からレーザ光を照射し、第3の領域23Cを形成するタイミングにおいては、ある程度の強度をもったレーザ光を照射することにより、第2の領域12、第3の領域23Cにおける透過率を下げることが有効である。一方、歪が生じやすい、レーザ光照射の終了位置である、第1の領域11、第4の領域24Cを照射するタイミングにおいては、レーザ光の照射強度を低くすることにより、歪が発生するのを抑制することができ、第1の領域11、第4の領域24Cにおいて、輝点欠陥部からの光が漏れ出てしまうことを抑制することができる。
【0099】
なお、上述の説明では、TFT基板SUB1とCF基板SUB2との間に異物33が混入した場合の輝点欠陥を示しているが、輝点欠陥の原因はこれに限定されない。例えば、薄膜トランジスタTFTの不具合による光漏れ、又は、基板間に配置されるスペーサに起因した光漏れ等が起こり得る。本開示における液晶表示装置の製造方法に係る輝点欠陥修正方法は、これらの輝点欠陥にも適用することができる。
【0100】
また、輝点欠陥が生じ得る異物33の混入位置は、TFT基板SUB1とCF基板SUB2との間に限定されない。例えば、第1のガラス基板GB1と第1の偏光板POL1との間に異物が混入した場合も輝点欠陥が生じ得る。この場合は、第1の減光部1、第2の減光部2、2B、2Cが、第1のガラス基板GB1の内部における異物の近傍に形成されていてもよい。また、第2のガラス基板GB2と第2の偏光板POL2との間に異物が混入した場合も輝点欠陥が生じ得る。この場合は第1の減光部1、第2の減光部2、2B、2Cが、第2のガラス基板GB2の内部における異物の近傍に形成されていてもよい。このように、異物は、表示パネルDPの不特定の位置に混入し得る。そのため、1枚の表示パネルDPにおいて、輝点欠陥を生じさせる異物が、第1のガラス基板GB1及び第1の偏光板POL1の間(第1位置)と、第2のガラス基板GB2及び第2の偏光板POL2の間(第2位置)とに混入した場合、第1の減光部1が、第1位置の異物に対応して、第1のガラス基板GB1の内部における異物の近傍に形成され、第2の減光部2、2B、2Cが、第2位置の異物に対応して、第2のガラス基板GB2の内部における異物の近傍に形成されていてもよい。なお、この場合に、輝点欠陥修正工程の作業効率を考慮して、第1の減光部1、第2の減光部2、2B、2Cが、第2のガラス基板GB2の表示面側に形成されていてもよい。また、第1の減光部1、第2の減光部2、2B、2Cは、それぞれ透過率が異なるように形成されていてもよい。
【0101】
以上、本発明の複数の実施形態について説明したが、本発明は前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で前記各実施形態から当業者が適宜変更した形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
【0102】
また、前記様々な実施形態又は変形例のうちの任意の実施形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせ又は実施例同士の組み合わせ又は実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態又は実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。