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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】特開2019-163960(P2019-163960A)
(43)【公開日】2019年9月26日
(54)【発明の名称】検出装置
(51)【国際特許分類】
   G01B 11/00 20060101AFI20190830BHJP
【FI】
   G01B11/00 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】OL
【全頁数】13
(21)【出願番号】特願2018-50892(P2018-50892)
(22)【出願日】2018年3月19日
(71)【出願人】
【識別番号】000006666
【氏名又は名称】アズビル株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100123434
【弁理士】
【氏名又は名称】田澤 英昭
(74)【代理人】
【識別番号】100101133
【弁理士】
【氏名又は名称】濱田 初音
(74)【代理人】
【識別番号】100199749
【弁理士】
【氏名又は名称】中島 成
(74)【代理人】
【識別番号】100188880
【弁理士】
【氏名又は名称】坂元 辰哉
(74)【代理人】
【識別番号】100197767
【弁理士】
【氏名又は名称】辻岡 将昭
(74)【代理人】
【識別番号】100201743
【弁理士】
【氏名又は名称】井上 和真
(72)【発明者】
【氏名】越 俊樹
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 永幸
(72)【発明者】
【氏名】田島 良一
【テーマコード(参考)】
2F065
【Fターム(参考)】
2F065AA02
2F065AA12
2F065AA22
2F065FF32
2F065GG04
2F065HH02
2F065JJ02
2F065JJ25
2F065LL04
2F065LL30
2F065LL49
2F065LL62
2F065SS13
(57)【要約】
【課題】反射型で、物体の位置を検出可能とする。
【解決手段】光を検出領域に投光する投光部102と、投光部102により投光されて検出領域で反射された光を集光するレンズ1032と、複数の受光素子を有し、レンズ1032により集光された光を当該受光素子毎に受光するイメージセンサ1033と、イメージセンサ1033による受光結果に基づいて、TOF方式により、検出領域に存在する物体2までの距離を、受光素子が位置する受光位置毎に算出する距離演算部104と、距離演算部104により算出された受光位置毎の距離に基づいて、検出領域に存在する物体2の位置を算出する位置演算部105とを備えた。
【選択図】図1
【特許請求の範囲】
【請求項1】
光を検出領域に投光する投光部と、
前記投光部により投光されて前記検出領域で反射された光を集光するレンズと、
複数の受光素子を有し、前記レンズにより集光された光を当該受光素子毎に受光するイメージセンサと、
前記イメージセンサによる受光結果に基づいて、TOF方式により、前記検出領域に存在する物体までの距離を、前記受光素子が位置する受光位置毎に算出する距離演算部と、
前記距離演算部により算出された受光位置毎の距離に基づいて、前記物体の位置を算出する物体位置演算部と
を備えた検出装置。
【請求項2】
前記物体位置演算部は、前記イメージセンサに結像された前記物体の像の位置、当該イメージセンサから当該物体までの距離、及び、前記レンズの焦点距離に基づいて、当該物体までの位置を算出する
ことを特徴とする請求項1記載の検出装置。
【請求項3】
前記距離演算部により算出された受光位置毎の距離に基づいて、前記物体の幅を算出する物体幅演算部を備えた
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の検出装置。
【請求項4】
前記物体幅演算部は、前記イメージセンサに結像された前記物体の像の幅、当該イメージセンサから当該物体までの距離、及び、前記レンズの焦点距離に基づいて、当該物体の幅を算出する
ことを特徴とする請求項3記載の検出装置。
【請求項5】
前記物体幅演算部は、前記イメージセンサに結像された前記物体の像の一端から光軸位置までの幅及び当該像の他端から光軸位置までの幅、当該一端から当該物体の一端である反射点までの距離及び当該他端から当該物体の他端である反射点までの距離、及び、当該一端から前記レンズ上の光軸位置までの距離及び当該他端から当該レンズ上の光軸位置までの距離に基づいて、当該物体の幅を算出する
ことを特徴とする請求項3記載の検出装置。
【請求項6】
前記受光素子は、一次元方向に配列された
ことを特徴とする請求項1から請求項5のうちの何れか1項記載の検出装置。
【請求項7】
前記レンズは、非テレセントリックレンズである
ことを特徴とする請求項1から請求項6のうちの何れか1項記載の検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この発明は、検出領域に存在する物体の位置を検出する検出装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、検出領域に存在する物体(被検出対象)の位置を検出する検出装置として、エッジセンサが知られている(例えば特許文献1参照)。このエッジセンサは、投光部と受光部とが対向配置された透過型であり、受光部による受光結果から光と影の境界の位置を検出することで、物体のエッジの位置を検出可能としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開2004−226372号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、従来のエッジセンサは、透過型であるため、検出領域を挟んで両側にセンサ(投光部と受光部)を設置する必要がある。また、従来のエッジセンサは、透過型であるため、投光部と受光部との間で光軸を合わせることが難しい。また、従来のエッジセンサは検出範囲が狭い。また、従来のエッジセンサは、平行度の高いレーザ光又はテレセントリックレンズ等を用いる必要があり、光学系が高価となる。
【0005】
なお、従来のエッジセンサにおいてテレセントリックレンズを用いた場合には、下式(1)より、物体のエッジの位置を算出可能である。式(1)において、xは物体のエッジの位置を示し、xは受光部での物体の像のエッジの位置を示し、Nはテレセントリックレンズの倍率を示している。
=N×x(1)
【0006】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、反射型で、物体の位置を検出可能な検出装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0007】
この発明に係る検出装置は、光を検出領域に投光する投光部と、投光部により投光されて検出領域で反射された光を集光するレンズと、複数の受光素子を有し、レンズにより集光された光を当該受光素子毎に受光するイメージセンサと、イメージセンサによる受光結果に基づいて、TOF方式により、検出領域に存在する物体までの距離を、受光素子が位置する受光位置毎に算出する距離演算部と、距離演算部により算出された受光位置毎の距離に基づいて、検出領域に存在する物体の位置を算出する位置演算部とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【0008】
この発明によれば、上記のように構成したので、反射型で、物体の位置を検出可能である。
【図面の簡単な説明】
【0009】
図1】この発明の実施の形態1に係る検出装置の構成例を示す図である。
図2図2A図2Bは、この発明の実施の形態1におけるセンサヘッドの構成例を示す図であり、図2Aはセンサヘッドの内部構造の一例を示す図であり、図2Bはセンサヘッドの外観の一例を示す図である。
図3】この発明の実施の形態1に係る検出装置の動作例を示すフローチャートである。
図4】この発明の実施の形態1における投光部及び受光部の動作例を示すタイミングチャートである。
図5図5A図5Bは、この発明の実施の形態1における距離演算部及び位置演算部の動作例を説明するための図であり、図5Aは受光位置と受光時刻との関係の一例を示す図であり、図5Bは受光位置と距離との関係の一例を示す図である。
図6図6A図6Bは、この発明の実施の形態1における距離演算部及び位置演算部の動作例を説明するための図であり、図6Aは受光位置と受光時刻との関係の一例を示す図であり、図6Bは受光位置と距離との関係の一例を示す図である。
図7】この発明の実施の形態1に係る検出装置の動作の具体例を示す図である。
図8】この発明の実施の形態1における受光部による受光結果及び距離演算部による演算結果の一例を示す図である。
図9図9A図9Bは、この発明の実施の形態2に係る検出装置による幅算出を説明するための図であり、図9Aは物体と受光部との位置関係の一例を示す図であり、図9Bは受光位置と距離との関係の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態1.
検出装置1は、検出領域に存在する物体(被検出対象)2の位置及び物体2の幅を計測する。この検出装置1は、産業用(工業用)のセンサとして用いられる。また実施の形態1では、物体2の検出対象となる面は、後述するイメージセンサ1033の受光面に対して平行(略平行の意味を含む)であるとする。この検出装置1は、図1に示すように、計測制御部101、投光部102、受光部103、距離演算部104、位置演算部105、MPU(Micro Processing Unit)106、入出力部107、通信部108、表示部109及び操作部110を備えている。また、検出装置1は、投光部102及び受光部103と検出領域とが対向配置された反射型に構成されている。
【0011】
なお、投光部102及び受光部103は、計測部111を構成する。また図2では、計測制御部101、投光部102、受光部103、距離演算部104、位置演算部105及びMPU106が、センサヘッド112に搭載されている。図2に示すセンサヘッド112の前面には、フィルタ1121が設けられている。なお図2では、計測制御部101、距離演算部104及び位置演算部105の図示を省略している。
また、入出力部107、通信部108、表示部109及び操作部110は、インタフェース部113を構成する。
【0012】
計測制御部101は、MPU106を介して入力された制御情報に基づいて、制御信号を生成する。制御信号は、イメージセンサ1033での光の受光動作に応じて、投光部102での光の投光タイミングを制御する信号である。この計測制御部101により生成された制御信号は、投光部102に出力される。
【0013】
投光部102は、計測制御部101からの制御信号に従い、パルス状の光を検出領域に投光する。なお、投光部102が投光する光のビーム形状は、予め設定されている。図2では、投光部102は、回路基板である投光基板(不図示)1021と、光を発光する発光素子1022と、発光素子1022の前面に配置された絞りであるアパーチャー1023と、発光素子1022により発光されてアパーチャー1023を通過した光を拡散するディヒューザー1024とから構成されている。また、投光部102により投光される光の幅及び投光周期は、想定される物体2までの距離又は移動速度等により決まる。また、投光部102は、投光する光を変調してもよい。
【0014】
受光部103は、投光部102により投光されて検出領域で反射された光を受光する。図2では、受光部103は、回路基板である受光基板(不図示)1021と、レンズ1032と、イメージセンサ1033とから構成されている。
【0015】
レンズ1032は、投光部102により投光されて検出領域で反射された光を集光する。このレンズ1032は、非テレセントリックレンズである。
【0016】
イメージセンサ1033は、複数の受光素子を有し、レンズ1032により集光された光を当該受光素子毎に受光する。以下では、イメージセンサ1033はリニアタイプであり、複数の受光素子が一次元方向に配列されているものとする。リニアタイプのイメージセンサ1033は、産業用のセンサに求められる高速応答に対応可能である。このイメージセンサ1033による受光結果を示す情報は、距離演算部104に出力される。
なお、イメージセンサ1033は、上記受光結果を示す情報として、例えば、投光部102により光が投光された時刻(投光時刻)を基準として、各受光素子で光を受光した時刻(受光時刻)である遅れ時間を示す情報を出力してもよい。また、投光部102が光を変調している場合には、イメージセンサ1033は、上記受光結果を示す情報として、例えば、投光部102により投光された光と各受光素子で受光された光との位相差を示す情報を出力してもよい。
【0017】
距離演算部104は、イメージセンサ1033による受光結果に基づいて、TOF(Time Of Flight)方式により、イメージセンサ1033から物体2までの距離を、受光素子が位置する受光位置毎に算出する。この距離演算部104により算出された受光位置毎の距離を示す情報(距離情報)は、位置演算部105及びMPU106に出力される。
【0018】
位置演算部105は、距離演算部104により算出された受光位置毎の距離に基づいて、イメージセンサ1033に結像された物体2の像の位置を算出する。この位置演算部105により算出された物体2の像の位置を示す情報(位置情報)は、MPU106に出力される。
【0019】
MPU106は、距離演算部104により算出された受光位置毎の距離及び位置演算部105により算出された物体2の像の位置に基づいて、物体2の位置を算出する。この際、MPU106は、イメージセンサ1033に結像された物体2の像の位置、イメージセンサ1033から物体2までの距離、及び、レンズ1032の焦点距離に基づいて、物体2までの位置を算出する。このMPU106により算出された物体2の位置を示す情報は、インタフェース部113に出力される。
【0020】
また、MPU106は、距離演算部104により算出された受光位置毎の距離及び位置演算部105により算出された物体2の像の位置に基づいて、物体2の幅を算出する。この際、MPU106は、イメージセンサ1033に結像された物体2の像の幅、イメージセンサ1033から物体2までの距離、及び、レンズ1032の焦点距離に基づいて、物体2の幅を算出する。このMPU106により算出された物体2の幅を示す情報は、インタフェース部113に出力される。なお、MPU106による物体2の幅の算出については必須の処理ではなく実施しなくてもよい。
【0021】
なお、位置演算部105及びMPU106は、「距離演算部104により算出された受光位置毎の距離に基づいて、物体2の位置を算出する物体位置演算部」及び「距離演算部104により算出された受光位置毎の距離に基づいて、物体2の幅を算出する物体幅演算部」を構成する。
【0022】
また、計測制御部101、距離演算部104及び位置演算部105は、システムLSI(Large Scale Integration)等の処理回路、又はメモリ等に記憶されたプログラムを実行するCPU(Central Processing Unit)等により実現される。
【0023】
入出力部107は、検出装置1に対する各種設定の入力を行い、制御情報を生成してMPU106に出力する。この制御情報には、例えば、投光部102による光の投光を指示するトリガ信号、又は、投光部102でレーザ光を用いる場合にはレーザ光の停止を指示する停止信号等が含まれる。
また、入出力部107は、MPU106から入力された情報の出力を行う。この際、入出力部107は、例えば、アナログ出力を行ってもよいし、閾値判定を行って閾値を超えた場合にオン出力を行ってもよい。
【0024】
通信部108は、イーサネット(登録商標)等のネットワークを介して外部装置と通信を行い、例えばMPU106から入力された情報を外部装置に送信する。
表示部109は、各種の動作表示を行う。また、表示部109は、MPU106から入力された情報を表示する。例えば、表示部109は、物体2の位置を表示する場合に、受光部103の光軸上を零点とし、物体2が光軸からどのくらい離れた場所に位置しているかを数値で表示する。
操作部110は、ユーザ操作を受付け、例えば、表示部109の表示切替え又は検出装置1に対する各種設定等を行う。
【0025】
次に、実施の形態1に係る検出装置1の動作例について、図3を参照しながら説明する。なお以下では、MPU106が物体2の位置及び幅を算出する場合を示す。
投光部102は、計測制御部101からの制御信号に従い、パルス状の光を検出領域に投光する(ステップST1)。この投光部102により投光された光は、検出領域に存在する物体2により反射され、レンズ1032を介してイメージセンサ1033に入射される。なお、検出領域に壁等の背景が存在する場合には、投光部102により投光された光は当該背景でも反射され、レンズ1032を介してイメージセンサ1033に入射される。
【0026】
次いで、イメージセンサ1033は、入射された光を受光素子毎に受光する(ステップST2)。図4に示すように、イメージセンサ1033の各受光素子(Pixel No.0〜No.n)での光(受光パルス)の受光タイミングは、投光部102による光(投光パルス)の投光タイミングに対し、物体2との間の距離に応じて遅れる。なお以下では、イメージセンサ1033は、上記受光結果を示す情報として、各受光素子での受光時刻(遅れ時間)を示す情報を出力するものとする。このイメージセンサ1033により例えば図5A及び図6Aに示すような受光位置と受光時刻との関係が得られる。
【0027】
次いで、距離演算部104は、イメージセンサ1033による受光結果に基づいて、TOF方式により、物体2までの距離を、受光素子が位置する受光位置毎に算出する(ステップST3)。
【0028】
この際、距離演算部104は、まず、イメージセンサ1033による受光結果に基づいて、下式(3)より、受光位置毎に、受光素子で受光した光が反射された位置(反射点)までの距離を算出する。式(3)において、dはi番目の受光素子で受光した光の反射点までの距離を示し、cは光の速度を示し、tdiはi番目の受光素子での受光時刻を示している。
=c×tdi/2 (3)
【0029】
ここで、式(3)により得られる受光位置から反射点までの距離は、受光部103の光軸に対して角度θだけ傾いた方向の距離である。なお、角度θは、レンズ1032上の光軸位置とi番目の受光位置とを結ぶ線分と、光軸との成す角度であり、既知である。そこで、距離演算部104は、受光位置毎に、角度θを用いて、算出した反射点までの距離を、受光部103の光軸に平行(略平行の意味を含む)な距離に変換する。
【0030】
そして、距離演算部104は、受光位置毎に、上記変換により得られた反射点までの距離から、物体2までの距離を得る。ここで、距離演算部104は、上記変換により得られた反射点までの距離のうち、イメージセンサ1033から背景までの距離に相当するものは除外する。また、実施の形態1では、物体2の検出対象となる面はイメージセンサ1033の受光面に対して平行であるため、物体2までの距離は受光位置毎にそれぞれ同じ値となる。この距離演算部104により例えば図5B及び図6Bに示すような距離情報が得られる。
【0031】
次いで、位置演算部105は、距離演算部104により得られた距離情報に基づいて、イメージセンサ1033に結像された物体2の像の位置を算出する(ステップST4)。例えば図5B及び図6Bでは位置演算部105が像のエッジの位置を検出した場合での位置情報を示している。
【0032】
次いで、MPU106は、距離演算部104により得られた距離情報及び位置演算部105により得られた位置情報に基づいて、物体2の位置を算出する(ステップST5)。
【0033】
この際、MPU106は、下式(4)より、物体2の位置を算出する。式(4)において、xは物体2の位置を示し、xは物体2の像の位置(受光位置)を示している。また、dは物体2とイメージセンサ1033との間の距離を示し、fはレンズ1032とイメージセンサ1033との間の距離(焦点距離)を示している。なお、式(4)における{(d−f)/f}は光学系の倍率である。
={(d−f)/f}×x(4)
【0034】
また、MPU106は、距離演算部104により得られた距離情報及び位置演算部105により得られた位置情報に基づいて、物体2の幅を算出する(ステップST6)。
【0035】
この際、MPU106は、下式(5)より、物体2の幅を算出する。式(5)において、wは物体2の幅を示し、wは物体2の像の幅を示している。なお、MPU106は、位置演算部105により像の両端の位置が検出されない場合には、幅算出処理は行わない。
={(d−f)/f}×w(5)
【0036】
ここで、実施の形態1に係る検出装置1は、センサ(投光部102及び受光部103)と検出領域とが対向配置された反射型に構成されている。これにより、実施の形態1に係る検出装置1は、検出領域の片側にのみセンサを設置すればよく、また、投光部102と受光部103との間での光軸合わせが不要となり、設置条件が緩くなる。また、実施の形態1に係る検出装置1は、検出範囲が広くなる。また、実施の形態1に係る検出装置1は、イメージセンサ1033と物体2との間の距離が算出できるため、非テレセントリックレンズを用いても物体2の位置及び幅を算出でき、従来構成に対して低コスト化が実現できる。
【0037】
次に、実施の形態1に係る検出装置1の動作の具体例について、図7,8を参照しながら説明する。以下では、図7に示すように、検出装置1が、イメージセンサ1033から物体2までの距離と、物体2のエッジの位置(光軸から物体2のエッジまでの距離P)とを算出するものとする。また、イメージセンサ1033の画素ピッチ(受光素子間の距離)は20[μm]とし、画素数(受光素子数)は256画素とし、レンズ1032の焦点距離は20[mm]とする。また、イメージセンサ1033から検出領域に存在する背景までの距離(図7に示すd)が3[m]であるとする。
これらの条件において、投光部102がパルス状の光を背景に向けて投光すると、例えば図8に示すように、イメージセンサ1033により受光素子毎に受光時刻(遅れ時間)が得られ、距離演算部104により受光位置毎の反射点までの距離が得られる。そして、イメージセンサ1033から背景までの距離は3[m]であるため、距離演算部104は、図8から、イメージセンサ1033から物体2までの距離として、1.995[m]を出力する。
【0038】
また、位置演算部105は、距離演算部104による演算結果から、イメージセンサ1033に結像された物体2の像のエッジの位置を算出する。図7,8の場合では、光軸位置に対応する画素はPixel No.128であり、物体2のエッジの位置に対応する画素の1つ手前の画素はPixel No.200である。よって、位置演算部105は、Pixel No.128からPixel No.200までの距離から、物体2の像のエッジの位置(光軸から物体2の像のエッジまでの距離)として、0.00147[m]を出力する。
【0039】
次いで、MPU106は、距離演算部104及び位置演算部105による演算結果から、物体2のエッジの位置を算出する。図8の場合では、光学系の倍率は98.75である。そして、MPU106は、物体2の像のエッジの位置に光学系の倍率を乗算することで、物体2のエッジの位置(光軸から物体2のエッジまでの距離P)として、0.145[m]を出力する。
【0040】
なお上記では、複数の受光素子が一次元方向に配列されたリニアタイプのイメージセンサ1033を用いた場合を示した。しかしながら、これに限らず、複数の受光素子が二次元方向に配列されたイメージセンサ1033を用いてもよい。これにより、検出装置1は、検出領域に存在する物体2の幅だけではなく、高さも算出可能となる。
【0041】
以上のように、この実施の形態1によれば、光を検出領域に投光する投光部102と、投光部102により投光されて検出領域で反射された光を集光するレンズ1032と、複数の受光素子を有し、レンズ1032により集光された光を当該受光素子毎に受光するイメージセンサ1033と、イメージセンサ1033による受光結果に基づいて、TOF方式により、検出領域に存在する物体2までの距離を、受光素子が位置する受光位置毎に算出する距離演算部104と、距離演算部104により算出された受光位置毎の距離に基づいて、物体2の位置を算出する物体位置演算部とを備えたので、反射型で、物体2の位置を検出可能となる。
また、検出装置1は、距離演算部104により算出された受光位置毎の距離に基づいて、物体2の幅を算出する物体幅演算部を備えることで、物体2の幅を検出可能となる。
【0042】
実施の形態2.
実施の形態1では、物体2の検出対象となる面がイメージセンサ1033の受光面に対して平行である場合を示した。それに対し、実施の形態2では、物体2の検出対象となる面がイメージセンサ1033の受光面に対して斜めであっても、物体2の幅を算出可能とする構成を示す。
なお、実施の形態2に係る検出装置1の構成例は、図1に示す実施の形態1に係る検出装置1の構成例と同様である。
【0043】
なお、距離演算部104は、角度θを用いた光軸に平行な距離への変換処理は実施しない。
また、MPU106は、イメージセンサ1033に結像された物体2の像の一端から光軸位置までの幅及び当該像の他端から光軸位置までの幅、当該一端から物体2の一端である反射点までの距離及び当該他端から物体2の他端である反射点までの距離、及び、当該一端からレンズ1032上の光軸位置までの距離及び当該他端からレンズ1032上の光軸位置までの距離に基づいて、物体2の幅を算出する。
【0044】
実施の形態2におけるMPU106は、下式(6)〜(8)より、物体2の幅を算出する。式(6)〜(8)において、wは、物体2の幅である。また、Lは、イメージセンサ1033に結合された物体2の像の一端(第1の受光位置に相当)から光軸位置までの幅を示し、Lは、当該像の他端(第2の受光位置に相当)から光軸位置までの幅を示している。また、d1mは、第1の受光位置から物体2の一端である反射点(第1のエッジ)までの距離を示し、d2mは、第2の受光位置から物体2の他端である反射点(第2のエッジ)までの距離を示している。また、dは、第1のエッジとレンズ1032上の光軸位置との間の距離を示し、dは、第2のエッジとレンズ1032上の光軸位置との間の距離を示している。また、d1fは、レンズ1032上の光軸位置と第1の受光位置との間の距離を示し、d2fは、レンズ1032上の光軸位置と第2の受光位置との間の距離を示している。なお、d1f及びd2fは既知である。これにより、MPU106は、物体2が、イメージセンサ1033の受光面に対して斜めであっても、物体2の幅を算出可能である。
【0045】
実施の形態2に係る検出装置1は、例えばAGV(Automated Guided Vehicle)等に設けられる衝突防止用のセンサ(測域センサ)として用いることができる。従来、この種の衝突防止用のセンサとしては、レーザ光を反射するミラーが可動するレーザスキャン方式のセンサが用いられている。これに対し、実施の形態2に係る検出装置1を用いることで、また、上記ミラーのような可動部は不要となるため、センサの小型化が可能であり、また、振動及び衝撃に対する耐性の高いセンサを実現できる。なおこの場合には、レンズ1032は広角レンズであることが望ましい。
【0046】
なお、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。
【符号の説明】
【0047】
1 検出装置
2 物体
101 計測制御部
102 投光部
103 受光部
104 距離演算部
105 位置演算部
106 MPU
107 入出力部
108 通信部
109 表示部
110 操作部
111 計測部
112 センサヘッド
113 インタフェース部
1021 投光基板
1022 発光素子
1023 アパーチャー
1024 ディヒューザー
1031 受光基板
1032 レンズ
1033 イメージセンサ
1121 フィルタ
図1
図2
図3
図4
図5
図6
図7
図8
図9