発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、非接触式は高精度（例えば、サブミクロンオーダの精度）な検出ができないという課題があった。また、非接触式による高精度な検出は、ツールセッタに対してだけでなく、超近接スイッチに想定される広範囲の用途（例えば、光ディスクの読み書きを行うヘッドの位置検出や、半導体製品の製造工程における製品の位置検出）に対しても有効である。
本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、検出精度が高い超近接スイッチを提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明に係る超近接スイッチは、波長が異なる第１、第２の光を照射して、近接場光Ｅ１が存在する層Ｌ１と、近接場光Ｅ２が存在する、層Ｌ１より厚い層Ｌ２とを、透光体の面Ｆの表側に発生させ、近接場光Ｅ１が検出対象物に反射されて生じる第１の散乱光、及び、近接場光Ｅ２が検出対象物に反射されて生じる第２の散乱光の検出に基づいて、層Ｌ２外、層Ｌ２内かつ層Ｌ１外の領域、又は、層Ｌ１内のいずれに検出対象物が配されているかを検知するので、層Ｌ１、Ｌ２の厚みレベル（例えば、サブミクロンオーダ）の精度で検出対象物の配置を検出可能である。