特開 2019-176072 粘着テープ貼付け方法および粘着テープ貼付け装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2019-176072(P2019-176072A)

(43)【公開日】2019年10月10日

(54)【発明の名称】粘着テープ貼付け方法および粘着テープ貼付け装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20190913BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20190913BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

   H01L21/78 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】30

(21)【出願番号】特願2018-64696(P2018-64696)

(22)【出願日】2018年3月29日

(71)【出願人】

【識別番号】000003964

【氏名又は名称】日東電工株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】394016601

【氏名又は名称】日東精機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100093056

【弁理士】

【氏名又は名称】杉谷 勉

(74)【代理人】

【識別番号】100142930

【弁理士】

【氏名又は名称】戸高 弘幸

(74)【代理人】

【識別番号】100175020

【弁理士】

【氏名又は名称】杉谷 知彦

(74)【代理人】

【識別番号】100180596

【弁理士】

【氏名又は名称】栗原 要

(74)【代理人】

【識別番号】100195349

【弁理士】

【氏名又は名称】青野 信喜

(72)【発明者】

【氏名】金島 安治

【テーマコード（参考）】

5F063

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F063AA36

5F063DG24

5F063DG25

5F063DG27

5F131AA02

5F131BA32

5F131BA53

5F131CA07

5F131CA62

5F131DA13

5F131DA14

5F131DA33

5F131DA42

5F131EA07

5F131EA22

5F131EA23

5F131EA24

5F131EB01

5F131EC32

5F131EC37

5F131EC44

5F131EC52

5F131EC62

5F131EC63

5F131EC68

5F131EC69

5F131EC72

5F131FA32

5F131KA44

5F131KA72

5F131KB05

5F131KB12

5F131KB32

(57)【要約】

【課題】粘着テープをワークに貼り付ける構成において、粘着テープがワークに応じた所定の形状に切り抜かれる際に発生する、領域ごとのテンションの違いをより確実に解消できる粘着テープ貼付け方法および粘着テープ貼付け装置を提供する。
【解決手段】第２テンション機構３７は、繰り出し方向Ｌに並列する第１引張機構５３と第２引張機構５５とを備える。第１引張機構５３と第２引張機構５５とは独立して幅方向へ移動し、粘着テープＤＴを幅方向に引っ張るよう制御される。第１引張機構５３は、切除領域Ｃに比較的近い領域Ｌ１を把持し、領域Ｌ１に対して比較的大きいテンションＰ１を幅方向に付与する。第２引張機構５５は、切除領域Ｃから比較的遠い領域Ｌ２を把持し、領域Ｌ２に対して比較的小さいテンションＰ２を幅方向に付与する。
【選択図】図１０

【特許請求の範囲】

【請求項1】

帯状の粘着テープをワークに貼り付ける貼付け過程と、
前記ワークに貼り付けられた前記粘着テープを前記ワークに応じた所定の形状に切り抜く切断過程と、
前記粘着テープを前記ワークに貼り付けるときに、前記粘着テープの貼り付け部分において前記粘着テープの幅方向にテンションを付与するテンション付与過程と、
を備え、
前記テンション付与過程は、
前記粘着テープのうち、前記粘着テープの長手方向に並ぶ少なくとも２つの領域であって、前の切断過程で前記所定の形状に切り抜かれた切除領域に近い第１領域、および前記第１領域よりも前記切除領域から離れた第２領域の各々に対して、それぞれ異なるテンションを前記粘着テープの幅方向に付与する
ことを特徴とする粘着テープ貼付け方法。

【請求項2】

請求項１に記載の粘着テープ貼付け方法であって、
前記テンション付与過程は、
第１把持機構を用いて前記第１領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持するとともに、第２把持機構を用いて前記第２領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する把持過程と、
前記第１把持機構を第１の力で前記粘着テープの幅方向に引っ張るとともに、前記第２把持機構を前記第１の力と異なる第２の力で前記粘着テープの幅方向に引っ張る引張過程とを備える
ことを特徴とする粘着テープ貼付け方法。

【請求項3】

請求項１に記載の粘着テープ貼付け方法であって、
前記テンション付与過程は、
把持機構を用いて前記第１領域および前記第２領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する把持過程と、
前記把持機構のうち前記第１領域を把持する部分を第１の力で前記粘着テープの幅方向に引っ張るとともに、前記把持機構のうち前記第２領域を把持する部分を前記第１の力と異なる第２の力で前記粘着テープの幅方向に引っ張る引張過程とを備える
ことを特徴とする粘着テープ貼付け方法。

【請求項4】

請求項１に記載の粘着テープ貼付け方法であって、
前記テンション付与過程は、
把持機構を用いて前記第１領域および前記第２領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する把持過程と、
前記把持機構を前記粘着テープの幅方向から前記粘着テープの長手方向へ傾斜させた方向へ引っ張る傾斜方向引張過程と、を備える
ことを特徴とする粘着テープ貼付け方法。

【請求項5】

請求項１に記載の粘着テープ貼付け方法であって、
前記テンション付与過程は、
把持機構を用いて前記第１領域および前記第２領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する把持過程と、
前記把持機構において前記第１領域を把持する部分と前記第２領域を把持する部分とのうち前記第１領域を把持する部分の側に設けられた引張部材によって前記把持機構を前記粘着テープの幅方向に引っ張る引張過程とを備える
ことを特徴とする粘着テープ貼付け方法。

【請求項6】

請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の粘着テープ貼付け方法であって、
前記第１領域における前記粘着テープの幅方向の両端の位置と、前記第２領域における前記粘着テープの幅方向の両端の位置との各々を検知する両端検知過程と、
検知された前記両端の位置の各々に基づいて、前記第１領域に対して前記粘着テープの幅方向に付与するテンションと、前記第２領域に対して前記粘着テープの幅方向に付与するテンションとの各々を算出するテンション算出過程と、を備える
ことを特徴とする粘着テープ貼付け方法。

【請求項7】

帯状の粘着テープをワークに貼り付ける貼付け機構と、
前記ワークに貼り付けられた前記粘着テープを前記ワークに応じた所定の形状に切り抜く切断機構と、
前記粘着テープを前記ワークに貼り付けるときに、前記粘着テープの貼り付け部分において前記粘着テープの幅方向にテンションを付与するテンション付与機構と、
を備え、
前記テンション付与機構は、
前記粘着テープのうち、前記粘着テープの長手方向に並ぶ少なくとも２つの領域であって、前の切断過程で前記所定の形状に切り抜かれた切除領域に近い第１領域、および前記第１領域よりも前記切除領域から離れた第２領域の各々に対して、それぞれ異なるテンションを前記粘着テープの幅方向に付与する
ことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。

【請求項8】

請求項７に記載の粘着テープ貼付け装置であって、
前記テンション付与機構は、
前記第１領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する第１把持機構と、
前記第２領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する第２把持機構と、
前記第１把持機構を第１の力で前記粘着テープの幅方向に引っ張る第１引張部材と、
前記第２把持機構を前記第１の力と異なる第２の力で前記粘着テープの幅方向に引っ張る第２引張部材とを備える
ことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。

【請求項9】

請求項７に記載の粘着テープ貼付け装置であって、
前記テンション付与機構は、
前記第１領域および前記第２領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する把持機構と、
前記把持機構のうち前記第１領域を把持する部分を第１の力で前記粘着テープの幅方向に引っ張る第１引張部材と、
前記把持機構のうち前記第２領域を把持する部分を前記第１の力と異なる第２の力で前記粘着テープの幅方向に引っ張る第２引張部材と、を備える
ことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。

【請求項10】

請求項７に記載の粘着テープ貼付け装置であって、
前記テンション付与機構は、
前記第１領域および前記第２領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する把持機構と、
前記把持機構を前記粘着テープの幅方向から前記粘着テープの長手方向へ傾斜させた方向へ引っ張る傾斜方向引張部材と、を備える
ことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。

【請求項11】

請求項７に記載の粘着テープ貼付け装置であって、
前記テンション付与機構は、
前記第１領域および前記第２領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する把持機構と、
前記把持機構において前記第１領域を把持する部分と前記第２領域を把持する部分とのうち前記第１領域を把持する部分の側に設けられており、前記把持機構を前記粘着テープの幅方向に引っ張る引張部材とを備える
ことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。

【請求項12】

請求項７ないし請求項１１のいずれかに記載の粘着テープ貼付け装置であって、
前記第１領域における前記粘着テープの幅方向の両端の位置と、前記第２領域における前記粘着テープの幅方向の両端の位置との各々を検知する両端検知機構と、
検知された前記両端の位置の各々に基づいて、前記第１領域に対して前記粘着テープの幅方向に付与するテンションと、前記第２領域に対して前記粘着テープの幅方向に付与するテンションとの各々を算出するテンション算出機構と、を備える
ことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、リングフレームの中央に載置された半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）の裏面と当該リングフレームとにわたって支持用の粘着テープを貼り付けて一体化させる操作を例とする、粘着テープ貼付け方法および粘着テープ貼付け装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ウエハの表面に回路パターンが形成された後、バックグラインド工程によってウエハの裏面を研削し、さらにダイシング工程によって当該ウエハを多数のチップ部品に分断する。この場合、ダイシング工程でウエハから分断されたチップ部品が飛散することを防ぐため、支持用の粘着テープをリングフレームとウエハの裏面とにわたって密着するように貼り付けて一体化させる方法が提案されている。

【0003】

このような貼付け工程を行う場合、帯状の粘着テープを繰り出し供給し、当該粘着テープをリングフレームとウエハの裏面とにわたって貼り付けた後、リングフレームに沿って円形に粘着テープを切断する。その結果、符号Ｌで示す方向へ繰り出されていた帯状の粘着テープＤＴは（図１６（ａ））、符号Ｃで示す部分において円形に切り抜かれることとなる（図１６（ｂ））。

【0004】

粘着テープＤＴを繰り出す際に粘着テープＤＴに皺や波打ちが発生する事態を防ぐため、粘着テープＤＴの長手方向（繰り出し方向Ｌ）へ均一にテンションが付与されている。しかし、粘着テープＤＴの一部が切り抜かれると、図１６（ｃ）に示すように、切り抜かれた部分である切除領域Ｃの近傍において、主として繰り出し方向Ｌへ延びるような皺Ｆが高頻度で発生する。特に粘着テープＤＴが柔らかい材質である場合、皺Ｆの発生が顕著となる。

【0005】

この原因としては、切除領域Ｃが形成されることによるテンションの不均一化などが考えられる。すなわち粘着テープＤＴにおいて、幅方向の両端側では粘着テープＤＴが連続している一方、幅方向の中央部では切除領域Ｃにより粘着テープＤＴが不連続となる。その結果、幅方向の両端側において比較的大きなテンションが繰り出し方向Ｌに付与され、両端側と中央部とのテンションの差によって皺Ｆが発生することとなる。

【0006】

そこで近年では、粘着テープＤＴが切り抜かれる度に、粘着テープＤＴの幅方向にテンションを加える粘着テープ貼付け方法が提案されている（例えば、特許文献１、２を参照）。すなわち図１６（ｄ）に示すように、粘着テープＤＴが切り抜かれた後、テンション機構１０１が備える板状のクランプ部材１０３によって、粘着テープＤＴの幅方向の両端を、繰り出し方向Ｌの所定長さにわたって把持する。

【0007】

そしてテンション機構１０１が備えるシリンダ１０５を介してクランプ部材１０３の各々を幅方向Ｒへ引っ張ることにより、粘着テープＤＴに対して幅方向Ｒへテンションを付与する。理想的には図１６（ｄ）に示すように、幅方向へテンションを付与することによって皺Ｆが完全に除去されて粘着テープＤＴは平坦となり、再度、粘着テープＤＴをウエハへ密着するように貼り付け可能となる。

【0008】

【特許文献1】特開２００８−２０５３６３号公報

【特許文献2】特開２０１３−１３５０５３号公報

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

しかしながら、上記従来装置では次のような問題がある。

【0010】

すなわち、従来の構成では理想と異なり、実際には粘着テープＤＴに発生する皺Ｆを確実に除くことが困難である。すなわち図１７（ｂ）に示すように、従来のテンション機構１０１によりテンションを付与しても、皺Ｆは減少するものの完全に除去されずに残存する事態が頻繁に発生する。また、従来のテンション機構１０１を用いてテンションを付与すると、図１７（ｃ）に示すように、幅方向Ｒに延びる皺Ｇが新たに発生するという別の問題も懸念される。

【0011】

皺が残存している部分の粘着テープＤＴは、ウエハに密着貼付けさせて切り抜く対象として不適切である。その結果、皺の部分を避けて次の切除領域Ｃを設定する必要があるので、切除領域Ｃのピッチが大きくなる。そのため、粘着テープＤＴの廃棄量が増大する。

【0012】

このような問題について、発明者は鋭意検討を重ねた結果、以下の結論に達した。すなわち、皺Ｆは繰り出し方向Ｌについて均一に発生するのではなく、図１７（ａ）に示すように、切除領域Ｃに近い領域Ｌ１において比較的多く発生する。一方、粘着テープＤＴの繰り出し方向Ｌについて、切除領域Ｃから遠い領域Ｌ２では発生する皺Ｆの数が比較的少ない。

【0013】

つまり、領域Ｌ１は皺Ｆに起因する幅方向Ｒへの収縮量が比較的大きく、領域Ｌ２では皺Ｆに起因する幅方向Ｒへの収縮量が比較的小さいと考えられる。すなわち、皺Ｆが発生している状態において、領域Ｌ１に作用しているテンションＴ１は領域Ｌ２に作用しているテンションＴ２より小さい。そのため、皺Ｆを確実に除去して粘着テープの全体を平坦化するためには、領域Ｌ２と比べて領域Ｌ１ではより大きな力のテンションを付与し、作用するテンションを全体的に均一化する必要がある。

【0014】

しかしながら従来の引張機構１０３では、切除領域Ｃに近い領域Ｌ１と切除領域Ｃから遠い領域Ｌ２との各々に対して、均一な力のテンションを付与していることが分かった。つまり、領域Ｌ２における皺Ｆを適切に除去できる大きさのテンションＪ１をテンション機構１０１が付与した場合、当該テンションＪ１は領域Ｌ１における皺Ｆを除去するには不十分である。その結果、図１７（ｂ）に示すように、領域Ｌ１において皺Ｆが依然として残ることとなる。

【0015】

一方、領域Ｌ１における皺Ｆを確実に除去すべく、より大きな引張力Ｊ２をテンション機構１０１が付与した場合、領域Ｌ１においては引張力Ｊ２の大きさは適切であり、皺Ｆが除去される。しかし領域Ｌ２では引張力Ｊ２は過度に大きな力であり、繰り出し方向に沿って走る皺Ｆは除去できるものの、幅方向Ｒへ過度な力が付与する結果、幅方向に延びる皺Ｇが新たに発生する場合がある（図１７（ｃ））。また、過度な力のテンションを付与することにより、領域Ｌ２などにおいて、粘着テープＤＴが幅方向に広がるように変形する事態や粘着テープＤＴに亀裂などの損傷が発生する事態も懸念される。

【0016】

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、粘着テープをワークに貼り付ける構成において、粘着テープがワークに応じた所定の形状に切り抜かれる際に発生する、領域ごとのテンションの違いをより確実に解消できる粘着テープ貼付け方法および粘着テープ貼付け装置を提供することを主たる目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0017】

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、帯状の粘着テープをワークに貼り付ける貼付け過程と、
前記ワークに貼り付けられた前記粘着テープを前記ワークに応じた所定の形状に切り抜く切断過程と、
前記粘着テープを前記ワークに貼り付けるときに、前記粘着テープの貼り付け部分において前記粘着テープの幅方向にテンションを付与するテンション付与過程と、
を備え、
前記テンション付与過程は、
前記粘着テープのうち、前記粘着テープの長手方向に並ぶ少なくとも２つの領域であって、前の切断過程で前記所定の形状に切り抜かれた切除領域に近い第１領域、および前記第１領域よりも前記切除領域から離れた第２領域の各々に対して、それぞれ異なるテンションを前記粘着テープの幅方向に付与する
ことを特徴とするものである。

【0018】

（作用・効果）この構成によれば、粘着テープをワークに貼り付けるときに、粘着テープの貼り付け部分において粘着テープの幅方向にテンションを付与するテンション付与過程を備えている。テンション付与過程において、粘着テープの長手方向に並ぶ第１領域および第２領域の各々に対して、それぞれ異なるテンションを粘着テープの幅方向に付与する。第１領域は、前の切断過程で所定の形状に切り抜かれた切除領域に近く、第２領域は第１領域よりも切除領域から離れている。

【0019】

そのため、第１領域と第２領域との各々に対して、それぞれ異なるテンションが作用している状態であっても、第１領域および第２領域の各々に対して、それぞれ異なるテンションを付与できる。その結果、テンション付与過程によって、第１領域と第２領域との各々に作用するテンションの大きさを確実に均一化できる。

【0020】

また、上述した発明において、前記テンション付与過程は、
第１把持機構を用いて前記第１領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持するとともに、第２把持機構を用いて前記第２領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する把持過程と、
前記第１把持機構を第１の力で前記粘着テープの幅方向に引っ張るとともに、前記第２把持機構を前記第１の力と異なる第２の力で前記粘着テープの幅方向に引っ張る引張過程とを備えることが好ましい。

【0021】

（作用・効果）この構成によれば、第１領域と第２領域とはそれぞれ異なる把持機構によって把持され、それぞれ異なる力で粘着テープの幅方向に引っ張られる。そのため、第１領域において粘着テープの幅方向に付与されるテンションと、第２領域において粘着テープの幅方向に付与されるテンションとが確実に異なるように制御できる。

【0022】

また、上述した発明において、前記テンション付与過程は、
把持機構を用いて前記第１領域および前記第２領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する把持過程と、
前記把持機構のうち前記第１領域を把持する部分を第１の力で前記粘着テープの幅方向に引っ張るとともに、前記把持機構のうち前記第２領域を把持する部分を前記第１の力と異なる第２の力で前記粘着テープの幅方向に引っ張る引張過程とを備えることが好ましい。

【0023】

（作用・効果）この構成によれば、把持機構を用いて前記第１領域および前記第２領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する。そして把持機構のうち第１領域を把持する部分を第１の力で粘着テープの幅方向に引っ張るとともに、把持機構のうち第２領域を把持する部分を第１の力と異なる第２の力で粘着テープの幅方向に引っ張る。この場合、把持機構を分離することなく、第１領域に付与されるテンションと第２領域に付与されるテンションとが確実に異なるように制御できる。

【0024】

また、上述した発明において、前記テンション付与過程は、
把持機構を用いて前記第１領域および前記第２領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する把持過程と、
前記把持機構を前記粘着テープの幅方向から前記粘着テープの長手方向へ傾斜させた方向に引っ張る傾斜方向引張過程と、を備えることが好ましい。

【0025】

（作用・効果）この構成によれば、把持機構を用いて前記第１領域および前記第２領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する。そして、粘着テープの幅方向から前記粘着テープの長手方向へ傾斜させた方向に把持機構を引っ張る。このような構成であっても第１領域に付与されるテンションと第２領域に付与されるテンションとが確実に異なるように制御できる。

【0026】

また、上述した発明において、前記テンション付与過程は、
把持機構を用いて前記第１領域および前記第２領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する把持過程と、
前記把持機構において前記第１領域を把持する部分と前記第２領域を把持する部分とのうち前記第１領域を把持する部分の側に設けられた引張部材によって前記把持機構を前記粘着テープの幅方向に引っ張る引張過程とを備えることが好ましい。

【0027】

（作用・効果）この構成によれば、把持機構を用いて第１領域および第２領域を粘着テープの幅方向の両側から把持する。そして把持機構において第１領域を把持する部分と第２領域を把持する部分とのうち第１領域を把持する部分の側に設けられている引張部材によって、把持機構を粘着テープの幅方向に引っ張る。この場合、引張部材が幅方向へ引っ張る力は第１領域の側においてより強く作用する。そのため、分離された複数の把持機構および複数の引張機構をいずれも備えることなく、第１領域に付与されるテンションと第２領域に付与されるテンションとが確実に異なるように制御できる。

【0028】

また、上述した発明において、前記第１領域における前記粘着テープの幅方向の両端の位置と、前記第２領域における前記粘着テープの幅方向の両端の位置との各々を検知する両端検知過程と、
検知された前記両端の位置の各々に基づいて、前記第１領域に対して前記粘着テープの幅方向に付与するテンションと、前記第２領域に対して前記粘着テープの幅方向に付与するテンションとの各々を算出するテンション算出過程と、を備えることが好ましい。

【0029】

（作用・効果）この構成によれば、第１領域における粘着テープの幅方向の両端の位置と、第２領域における粘着テープの幅方向の両端の位置との各々を検知する。そして検知された両端の位置の各々に基づいて、第１領域に対して付与するテンションと、第２領域に対して付与するテンションとの各々を算出する。この場合、両端の位置の変化を適宜検知することにより、第１領域に対して付与するテンションと、第２領域に対して付与するテンションとの各々が適切であるか否かを正確かつ精密に算出できる。そのため、より確実に第１領域に作用するテンションと第２領域に作用するテンションとを精密に均一化できる。

【0030】

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとってもよい。
すなわち、帯状の粘着テープをワークに貼り付ける貼付け機構と、
前記ワークに貼り付けられた前記粘着テープを前記ワークに応じた所定の形状に切り抜く切断機構と、
前記粘着テープを前記ワークに貼り付けるときに、前記粘着テープの貼り付け部分において前記粘着テープの幅方向にテンションを付与するテンション付与機構と、
を備え、
前記テンション付与機構は、
前記粘着テープのうち、前記粘着テープの長手方向に並ぶ少なくとも２つの領域であって、前の切断過程で前記所定の形状に切り抜かれた切除領域に近い第１領域、および前記第１領域よりも前記切除領域から離れた第２領域の各々に対して、それぞれ異なるテンションを前記粘着テープの幅方向に付与する
ことを特徴とするものである。

【0031】

（作用・効果）この構成によれば、粘着テープをワークに貼り付けるときに、粘着テープの貼り付け部分において粘着テープの幅方向にテンションを付与するテンション付与機構を備えている。テンション付与過程において、粘着テープの長手方向に並ぶ第１領域および第２領域の各々に対して、それぞれ異なるテンションを粘着テープの幅方向に付与する。第１領域は、前の切断過程で所定の形状に切り抜かれた切除領域に近く、第２領域は第１領域よりも切除領域から離れている。

【0032】

そのため、第１領域と第２領域との各々に対して、それぞれ異なるテンションが作用している状態であっても、第１領域および第２領域の各々に対して、それぞれ異なるテンションを付与できる。その結果、テンション付与過程によって、第１領域と第２領域との各々に作用するテンションの大きさを確実に均一化できる。

【0033】

また、上述した発明において、前記テンション付与機構は、
前記第１領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する第１把持機構と、
前記第２領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する第２把持機構と、
前記第１把持機構を第１の力で前記粘着テープの幅方向に引っ張る第１引張部材と、
前記第２把持機構を前記第１の力と異なる第２の力で前記粘着テープの幅方向に引っ張る第２引張部材とを備えることが好ましい。

【0034】

（作用・効果）この構成によれば、第１領域と第２領域とはそれぞれ異なる把持機構によって把持され、それぞれ異なる力で粘着テープの幅方向に引っ張られる。そのため、第１領域において粘着テープの幅方向に付与されるテンションと、第２領域において粘着テープの幅方向に付与されるテンションとが確実に異なるように制御できる。

【0035】

また、上述した発明において、前記テンション付与機構は、
前記第１領域および前記第２領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する把持機構と、
前記把持機構のうち前記第１領域を把持する部分を第１の力で前記粘着テープの幅方向に引っ張る第１引張部材と、
前記把持機構のうち前記第２領域を把持する部分を前記第１の力と異なる第２の力で前記粘着テープの幅方向に引っ張る第２引張部材と、を備えることが好ましい。

【0036】

（作用・効果）この構成によれば、単一の把持機構を用いて、第１領域に付与されるテンションと第２領域に付与されるテンションとが確実に異なるように制御できる。

【0037】

また、上述した発明において、前記テンション付与機構は、
前記第１領域および前記第２領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する把持機構と、
前記把持機構を前記粘着テープの幅方向から前記粘着テープの長手方向へ傾斜させた方向へ引っ張る傾斜方向引張部材と、を備えることが好ましい。

【0038】

（作用・効果）この構成によれば、単一の把持機構と単一の引張機構とを用いて、第１領域に付与されるテンションと第２領域に付与されるテンションとが確実に異なるように制御できる。

【0039】

また、上述した発明において、前記テンション付与機構は、
前記第１領域および前記第２領域を前記粘着テープの幅方向の両側から把持する把持機構と、
前記把持機構において前記第１領域を把持する部分と前記第２領域を把持する部分とのうち前記第１領域を把持する部分の側に設けられており、前記把持機構を前記粘着テープの幅方向に引っ張る引張部材とを備えることが好ましい。

【0040】

（作用・効果）この構成によれば、把持機構を用いて第１領域および第２領域を粘着テープの幅方向の両側から把持する。そして把持機構において第１領域を把持する部分と第２領域を把持する部分とのうち第１領域を把持する部分の側に設けられている引張部材によって、把持機構を粘着テープの幅方向に引っ張る。この場合、引張部材が幅方向へ引っ張る力は第１領域の側においてより強く作用するので、把持機構を分離することなく、第１領域に付与されるテンションと第２領域に付与されるテンションとが確実に異なるように制御できる。

【0041】

また、上述した発明において、前記第１領域における前記粘着テープの幅方向の両端の位置と、前記第２領域における前記粘着テープの幅方向の両端の位置との各々を検知する両端検知機構と、
検知された前記両端の位置の各々に基づいて、前記第１領域に対して前記粘着テープの幅方向に付与するテンションと、前記第２領域に対して前記粘着テープの幅方向に付与するテンションとの各々を算出するテンション算出機構と、を備えることが好ましい。

【0042】

（作用・効果）この構成によれば、両端の位置の変化を適宜検知することにより、第１領域に対して付与するテンションと、第２領域に対して付与するテンションとの各々が適切であるか否かを正確かつ精密に算出できる。そのため、より確実に第１領域に作用するテンションと第２領域に作用するテンションとを精密に均一化できる。

【発明の効果】

【0043】

本発明の粘着テープ貼付け方法および粘着テープ貼付け装置によれば、粘着テープをワークに貼り付けて当該ワークに応じた所定の形状に切り抜く構成において、粘着テープが切り抜かれる際に発生する領域ごとのテンションの違いをより確実に解消できる。

【図面の簡単な説明】

【0044】

【図1】実施例１に係る粘着テープ貼付け装置の基本構成を示す正面図である。

【図2】実施例１に係る第２テンション機構の構成を示す図である。（ａ）は第２テンション機構の平面図であり、（ｂ）は第２テンション機構の左側面図である。

【図3】実施例１に係る粘着テープ貼付け装置の動作を示す図である。（ａ）はマウントフレームを作製する工程の概要を示すフローチャートであり、（ｂ）はマウントフレームの構成を示す斜視図である。

【図4】実施例１に係るステップＳ３の動作を示す図である。（ａ）は粘着テープが貼り付けられる前の状態を示す図であり、（ｂ）は粘着テープがウエハおよびリングフレームに貼り付けられた後の状態を示す図である。

【図5】実施例１に係るステップＳ４の動作を示す図である。

【図6】実施例１に係るステップＳ５の動作を示す図である。

【図7】実施例１に係るステップＳ６の動作を示す図である。

【図8】実施例１に係るステップＳ７の動作を示す図である。（ａ）はステップＳ７の開始前における粘着テープの状態を示す平面図であり、（ｂ）はステップＳ７の実行後における粘着テープの状態を示す平面図である。

【図9】実施例１に係るステップＳ８の動作を示す図である。（ａ）は第２テンション機構が粘着テープを把持する状態を示す平面図であり、（ｂ）は第２テンション機構が粘着テープを把持する状態を示す左断面図である。

【図10】実施例１に係るステップＳ８の動作を示す図である。（ａ）は第２テンション機構がテンションを付与する状態を示す左断面図であり、（ｂ）は第２テンション機構がテンションを付与する状態を示す平面図である。

【図11】実施例１に係るステップＳ８を説明する概略図である。（ａ）は当初における粘着テープの幅を示す平面図であり、（ｂ）はステップＳ４の完了後における粘着テープの幅を示す概略平面図であり、（ｃ）はステップＳ８の完了後における粘着テープの幅を示す概略平面図である。

【図12】実施例２に係る第２テンション機構の構成を示す図である。（ａ）は第２テンション機構の平面図であり、（ｂ）は第２テンション機構の正面図である。

【図13】実施例２に係るステップＳ８の動作を示す図である。（ａ）は第２テンション機構が粘着テープを把持する状態を示す平面図であり、（ｂ）は第２テンション機構がテンションを付与する状態を示す平面図である。

【図14】変形例に係るステップＳ８の動作を示す図である。（ａ）は第１の変形例に係る第２テンション機構がテンションを付与する状態を示す平面図であり、（ｂ）は第２の変形例に係る第２テンション機構がテンションを付与する状態を示す平面図である。

【図15】変形例に係る粘着テープ貼付け装置を説明する図である。（ａ）は変形例において用いられるウエハの構成を示す斜視図であり、（ｂ）は変形例において好ましい保持テーブルおよびテープ切断ユニットの構成の一例を示す正面図であり、（ｃ）は変形例に係るステップＳ４の動作を説明する正面図であり、（ｄ）は変形例において粘着テープが切り抜かれる切断軌跡の一例を示す平面図であり、（ｅ）は変形例において粘着テープが切り抜かれる切断軌跡の異なる例を示す平面図であり、（ｆ）は変形例において好ましい保持テーブルの構成の異なる例を示す正面図である。

【図16】従来例に係る粘着テープ貼付け装置を説明する図である。（ａ）は粘着テープが切り抜かれる前の状態を示す図であり、（ｂ）は粘着テープが切り抜かれた後の状態を示す図であり、（ｃ）は粘着テープが切り抜かれて皺が発生した状態を示す図であり、（ｄ）は従来のテンション機構によって皺を除去する理想の状態を示す図である。

【図17】従来例に係る粘着テープ貼付け装置の問題点を説明する図である。（ａ）は形成される皺の偏りを示す図であり、（ｂ）は比較的弱いテンションを付与した場合の問題点を示す図であり、（ｃ）は比較的強いテンションを付与した場合の問題点を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【実施例1】

【0045】

以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。図１は、実施例１に係る粘着テープ貼付け装置１の基本構成を示す正面図である。なお粘着テープ貼付け装置１を示す図において、各種構成を支持する支持手段、および各種構成を駆動させる駆動手段などについては図示を省略している。

【0046】

実施例１に係る粘着テープ貼付け装置１は、半導体ウエハＷ（以下、単に「ウエハＷ」と略称する）の一方の面とリングフレームｆとにわたって支持用の粘着テープＤＴを貼り付けて、図３（ｂ）に示すようなマウントフレームＭＦを作製することを目的とする。なお、本実施例ではバックグラインド処理済のウエハＷを用いることとする。

【0047】

なお、本実施例において「上流」および「下流」とは粘着テープＤＴの繰り出し方向Ｌに沿うものとして定義される。すなわち「上流」とは粘着テープＤＴの繰り出し方向Ｌにおいて、後述するテープ供給部３に近い側を意味するものとする。

【0048】

＜全体構成の説明＞
本実施例に係る粘着テープ貼付け装置１は図１に示すように、テープ供給部３、第１テンション機構４、保持テーブル５、テープ貼付けユニット７、テープ切断ユニット９、テープ剥離ユニット１１、テープ回収部１３、セパレータ回収部１５、および第２テンション機構３７を備えている。

【0049】

テープ供給部３は、供給ボビン１９および剥離ローラ２１などを備えている。供給ボビン１９には原反ロール２０が装填されている。原反ロール２０には、支持用の粘着テープＤＴが、セパレータＳが添設された状態で巻回されている。

【0050】

供給ボビン１９は電磁ブレーキ２３に連動連結されて適度の回転抵抗がかけられている。電磁ブレーキ２３は、供給ボビン１９から過剰に粘着テープＤＴが繰り出し供給されることを防止する。

【0051】

剥離ローラ２１は、粘着テープＤＴからセパレータＳを剥離するとともに、剥離されたセパレータＳをセパレータ回収部１５へと案内する。

【0052】

第１テンション機構４は図１に示すように、揺動アーム２５を振動させるシリンダ２７を備えている。揺動アーム２５は、固定軸の支軸に遊点ローラ２８が軸支されており、自由端側にダンサローラ２９を備えている。第１テンション機構４は、シリンダ２７の作動に連動して揺動する揺動アーム２５の自由端側のダンサローラ２９が下降し、粘着テープＤＴを下方に押し下げて繰り出し方向Ｌへテンションを付与するように構成される。

【0053】

保持テーブル５は図１に示すように、ウエハ保持部３１とフレーム保持部３３と、基部１７とを備えている。ウエハ保持部３１は、回路形成面に保護用の粘着テープＰＴが貼り付けられているウエハＷを、当該回路形成面を下向きにした状態で載置して保持する。本実施例ではウエハ保持部３１として、ウエハＷを吸着保持するチャックテーブルを用いるが、ウエハ保持部３１の構成としてはこれに限られない。

【0054】

フレーム保持部３３は、ウエハ保持部３１を囲うように立設された環状の基台で構成されおり、リングフレームｆを載置して保持する。また、ウエハ保持部３１に載置されたウエハＷの上面と、フレーム保持部３３に載置されたリングフレームｆの上面とが面一となるように、ウエハ保持部３１およびフレーム保持部３３が構成される。基部１７はウエハ保持部３１およびフレーム保持部３３の各々の下部に接続されており、昇降移動を可能とするように構成されている。

【0055】

テープ貼付けユニット７は、保持テーブル５に載置されて吸着保持されたウエハＷの回路面に粘着テープＤＴを貼付ける。テープ貼付けユニット７は図１に示すように、図示しないレールに沿って左右水平に往復移動する可動台３４と、可動台３４に接続されたブラケットに軸支された貼付けローラ３５とを備えている。

【0056】

テープ切断ユニット９は、保持テーブル５の上方に配置されており、フレーム３８と、支軸３９と、支持アーム４１と、カッタ４３と、押圧ローラ４５とを備えている。

【0057】

支軸３９は、フレーム３８に沿って昇降移動を可能としており、保持テーブル５の中心上に位置する縦軸心Ｐ周りに駆動回転する。支持アーム４１は、支軸３９を中心に径方向に複数本延伸している。カッタ４３は支持アーム４１ａの先端に設けられており、リングフレームｆおよびウエハＷにわたって貼付けられた粘着テープＤＴをリングフレームｆに沿って切断する。押圧ローラ４５は支持アーム４１ｂの先端に設けられており、リングフレームｆ上のテープ切断部位を転動しながら押圧する。

【0058】

テープ剥離ユニット１１は、カッタ４３によって切り抜かれてウエハＷの表面に貼り付けられた粘着テープＤＴｗと、粘着テープＤＴｗが切り抜かれて不要となった粘着テープＤＴである、不要テープＤＴｎとを分離させる。テープ剥離ユニット１１は、第１テンション機構４と協働して粘着テープＤＴのテンションを維持するガイドローラ４６と、ニップローラ４７とを備えている。

【0059】

ニップローラ４７は、昇降移動を可能とするピンチローラ４７ａと、モータによって駆動する送りローラ４７ｂによって構成される。テープ剥離ユニット１１は、図示しないレールに沿って左右水平に往復移動が可能となるように構成されている。

【0060】

テープ回収部１３はテープ剥離ユニット１１の下流に配設されており、不要テープＤＴｎを巻き取る回収ボビン４９が巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。セパレータ回収部１５は、粘着テープＤＴから剥離されたセパレータＳを巻き取る回収ボビン５１が巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。回収ボビン４９および５１の各々は、図示しないモータによって正逆に回転駆動制御されるように構成されている。

【0061】

なお、粘着テープ貼付け装置１は、さらに制御部４０と入力部５０とを備えている。制御部４０はＣＰＵ（中央演算処理装置）などを備えており、粘着テープ貼付け装置１の各種動作を統括制御する。入力部５０の例としてはコンソールパネルやキーボードなどが挙げられ、オペレータは入力部５０を用いて各種指示を入力できる。入力部５０に入力された指示内容は制御部４０に送信され、制御部４０は当該指示に沿って各種統括制御を行うことができる。

【0062】

＜第２テンション機構の構成＞
ここで、第２テンション機構３７の構成について説明する。第２テンション機構３７は、粘着テープＤＴのうち所定の領域Ｈにおいて幅方向Ｒの両端を把持する。第２テンション機構３７は、独立して駆動制御される複数の引張機構で構成されている。本実施例では２つの引張機構、すなわち第１引張機構５３と第２引張機構５５によって構成されているものとする。第１引張機構５３と第２引張機構５５は、粘着テープＤＴの繰り出し方向Ｌに並列配置されている。第２テンション機構３７は、本発明におけるテンション付与機構に相当する。

【0063】

第１引張機構５３は図２（ａ）に示すように、第２引張機構５５の下流側に設けられており、保持テーブル５を挟んで対向配備された一対の把持ユニット５３Ａおよび５３Ｂによって構成される。第２引張機構５５は、保持テーブル５を挟んで対向配備された一対の把持ユニット５５Ａおよび５５Ｂによって構成される。

【0064】

把持ユニット５３Ａおよび５３Ｂは粘着テープＤＴの幅方向Ｒの両端をそれぞれ把持し、当該幅方向Ｒへ所定距離移動する。当該移動により、粘着テープＤＴのうち第１引張機構５３が把持している領域において、所定の大きさのテンションＰ１が幅方向Ｒへ付与される。また、把持ユニット５５Ａおよび５５Ｂも同様に、粘着テープＤＴの幅方向Ｒの両端をそれぞれ把持し、幅方向Ｒへ所定距離移動する。当該移動により、粘着テープＤＴのうち第２引張機構５５が把持している領域において、所定の大きさのテンションＰ２が幅方向Ｒへ付与される。

【0065】

把持ユニット５３Ａ、５３Ｂ、５５Ａ、および５５Ｂの構成は共通しており、いずれも把持部材６１とシリンダ６３とモータ６５とを備えている。把持部材６１は粘着テープＤＴを厚み方向（本実施例ではｙ方向）の両側から把持する。また把持部材６１は当該把持を適宜開放できるように構成される。

【0066】

シリンダ６３は把持部材６１に接続されており、モータ６５の正逆回転に連動して幅方向Ｒへ伸縮動作するように構成されている。すなわち、把持部材６１はシリンダ６３の伸縮動作に従って、粘着テープＤＴを把持した状態で幅方向Ｒへ移動可能となる。モータ６５の回転量および回転方向に従って、把持部材６１が幅方向Ｒへ移動する距離および方向が決定される。

【0067】

図２（ｂ）に示すように、把持部材６１は固定受け片６７と、可動片６８と、シリンダ６９と、モータ７０とを備えている。シリンダ６９は可動片６８に接続されており、モータ７０の正逆回転に連動して粘着テープＤＴの厚み方向に伸縮する。すなわち可動片６８はシリンダ６９の伸縮動作に従って、粘着テープＤＴの厚み方向に昇降移動する。把持部材６１は固定受け片６７と可動片６８とによって開閉動作が可能となるように構成されており、閉状態となることで粘着テープＤＴを安定に把持し、開状態となることで当該把持を解除する。

【0068】

把持ユニット５３Ａ、５３Ｂ、５５Ａ、および５５Ｂの各々に設けられているモータ６５の回転は、それぞれ制御部４０によって独立に制御される。特に把持ユニット５３Ａおよび５３Ｂの各々に設けられているモータ６５の回転と、把持ユニット５５Ａおよび５５Ｂの各々に設けられているモータ６５の回転とは独立して制御される。本実施例ではモータ６５の回転を独立して制御することにより、第１引張機構５３によって付与されるテンションＰ１の大きさと、第２引張機構５５によって付与されるテンションＰ２の大きさとがそれぞれ異なるように制御できる。

【0069】

実施例１において、把持ユニット５３Ａおよび５３Ｂの各々に設けられている把持部材６１は、本発明における第１把持機構に相当する。把持ユニット５５Ａおよび５５Ｂの各々に設けられている把持部材６１は、本発明における第２把持機構に相当する。把持ユニット５３Ａおよび５３Ｂの各々に設けられているシリンダ６３およびモータ６５は、本発明における第１引張部材に相当する。把持ユニット５５Ａおよび５５Ｂの各々に設けられているシリンダ６３およびモータ６５は、本発明における第２引張部材に相当する。

【0070】

また、粘着テープ貼付け装置１はセンサ７１を備えている。センサ７１は図１に示すように、繰り出し方向Ｌに並列配置されている、センサ７１ａおよびセンサ７１ｂによって構成される。センサ７１ａおよびセンサ７１ｂは、それぞれ１対のセンサによって構成される。

【0071】

センサ７１ａおよびセンサ７１ｂは、図１０（ａ）などに示すように、粘着テープＤＴの幅方向Ｒにおける両端の位置を検知する。すなわち、センサ７１ａは、粘着テープＤＴのうち第１引張機構５３が把持する領域について、粘着テープＤＴの幅方向Ｒにおける両端の位置を検知する。センサ７１ｂは、粘着テープＤＴのうち第２引張機構５５が把持する領域について、粘着テープＤＴの幅方向Ｒにおける両端の位置を検知する。

【0072】

センサ７１の構成としては光学センサや感圧センサなど、粘着テープＤＴの端部の位置を検知できる構成を適宜用いてよい。制御部４０はセンサ７１が検知する粘着テープＤＴの端部の位置に基づいて、第１引張機構５３によって付与されるテンションＰ１と、第２引張機構５５によって付与されるテンションＰ２とを算出する。算出する方法の詳細は後述する。センサ７１は本発明における両端検知機構に相当し、制御部４０は本発明におけるテンション算出機構に相当する。

【0073】

＜テープ貼付け動作の概要＞
ここで、粘着テープ貼付け装置１を用いてマウントフレームＭＦを作製するための一連の基本動作を説明する。図３は、支持用の粘着テープＤＴをウエハＷおよびリングフレームｆにわたって貼り付ける工程を説明するフローチャートである。

【0074】

このとき、保持テーブル５、テープ貼付けユニット７、テープ切断ユニット９、およびテープ剥離ユニット１１の各々は図４（ａ）に示す初期位置に移動している。すなわち、テープ貼付けユニット７は保持テーブル５の右側に移動しており、テープ剥離ユニット１１は保持テーブル５の左側に移動している。また、テープ切断ユニット９は保持テーブル５の上方で待機している。保持テーブル５は、リングフレームｆおよびウエハＷを載置しても粘着テープＤＴと干渉しないように、基部１７が下方へ移動している。

【0075】

なお、テープ供給部３において、ボビン１９に装填されている原反ロール２０からセパレータＳが添設された粘着テープＤＴが下流へと繰り出し供給され、剥離ローラ２１によって粘着テープＤＴおよびセパレータＳに剥離される。そして粘着テープＤＴはテープ貼付けユニット７およびテープ剥離ユニット１１に案内されている。また、第１テンション機構４、ガイドローラ４６、およびニップローラ４７によって、粘着テープＤＴに対して繰り出し方向Ｌへ適度にテンションが付与されている。

【0076】

貼付け指令が出されると、所定のウエハ収納部に収納されているウエハＷは、アライメントステージで位置合わせされた後、図示しないウエハ搬送機構によって保持テーブル５のウエハ保持部３１に載置される。ウエハ保持部３１に載置されたウエハＷは旋回され、ウエハＷの中心がウエハ保持部３１の中心の上にあるように位置合わせされた状態で吸着保持される。（ステップＳ１）。

【0077】

次に、所定のフレーム収納部に収納されているリングフレームｆが、アライメントステージで位置合わせされた後、図示しないフレーム搬送機構によってフレーム保持部３３に載置される。フレーム保持部３３に載置されたリングフレームｆは、その上面がウエハＷの上面と面一になる（ステップＳ２）。

【0078】

次に、図４（ｂ）に示すように、保持テーブル５の基部１７は上昇移動し、ウエハＷおよびリングフレームｆの上面は粘着テープＤＴと略同じ高さとなる。そして、テープ貼付けユニット７の貼付けローラ３５は粘着テープＤＴを下方に押圧しながらウエハＷ上を前方（図４では左方向）に転動し、点線で示す初期位置から実線で示す終端位置へと移動する。これによって、粘着テープＤＴがウエハＷの裏面全体とリングフレームｆとにわたって密着するように貼り付けられ、マウントフレームＭＦが作製される（ステップＳ３）。

【0079】

ウエハＷおよびリングフレームｆに粘着テープＤＴが貼り付けられた後、テープ切断ユニット９が作動し、粘着テープＤＴの切断が開始される。すなわち図５に示すように、上方に待機していたテープ切断ユニット９が作動することによって、支軸３９は所定の高さまで下降し、カッタ４３が粘着テープＤＴに突き刺される。

【0080】

この状態で支軸３９を縦軸心Ｐの軸回りに回転させる。当該回転により、支持アーム４１が縦軸心Ｐを旋回中心として旋回する。カッタ４３は支持アーム４１の旋回に従ってリングフレームｆの上を転動し、粘着テープＤＴをリングフレームｆに沿って円形に切断する（ステップＳ４）。このとき、転動するカッタ４３の後方を押圧ローラ４５が転動する。すなわち、カッタ４３が粘着テープＤＴを切断した部分は、押圧ローラ４５によって押圧されるので、当該切断部分がリングフレームｆの上面から浮き上がることを防止できる。

【0081】

リングフレームｆに沿った粘着テープＤＴの切断が終了すると、テープ切断ユニット９は元の待機位置まで上昇される。そして、テープ貼付けユニット７は終端位置から初期位置へと復帰する。テープ貼付けユニット７が初期位置へ復帰するとともに、図６に示すように、テープ剥離ユニット１１が前方（図６では右方向）へ移動する。すなわちテープ剥離ユニット１１は、ピンチローラ４７をやや上昇させつつ、図６において点線で示す初期位置から実線で示す終端位置へ右方向に移動する。

【0082】

テープ剥離ユニット１１は終端位置へ移動しつつ、粘着テープＤＴのうち、ウエハＷ上で切り抜き切断されて残った不要テープＤＴｎを巻き上げて剥離する（ステップＳ５）。なお、粘着テープＤＴのうち、ウエハＷの表面に貼り付けられている部分については符号ＤＴｗを付して不要テープＤＴｎと区別する。

【0083】

このとき、リングフレームｆおよびウエハＷから剥離された粘着テープＤＴは、図８（ａ）に示すように、カッタ４３によって切断された部分Ｃ（切除領域Ｃ）が円形に切り抜かれている。そして切除領域Ｃが形成されることにより、特に切除領域Ｃの上流近傍において、繰り出し方向Ｌへ延びる皺Ｆが粘着テープＤＴに高頻度で発生する。本実施例では繰り出し方向Ｌに並ぶ２つの領域Ｌ１およびＬ２において皺Ｆが発生しているものとする。

【0084】

皺Ｆが発生することにより、平面視における粘着テープＤＴの幅は、粘着テープＤＴが平坦であった場合の幅Ｍと比べて狭くなる。このとき、切除領域Ｃに近い領域Ｌ１の方が、領域Ｌ１よりやや上流の領域Ｌ２と比べて皺Ｆの発生が多い。すなわち、皺Ｆの発生が多い領域Ｌ１における粘着テープＤＴの幅Ｍ１は、皺Ｆの発生が少ない領域Ｌ２における粘着テープＤＴの幅Ｍ２よりも実際には狭くなっている（図１１（ｂ））。またこのとき、皺Ｆの発生が多い領域Ｌ１に作用している幅方向の張力Ｔ１は、皺Ｆの発生が少ない領域Ｌ２に作用している幅方向の張力Ｔ２より小さくなっている。実施例１において、領域Ｌ１は本発明における第１領域に相当し、領域Ｌ２は本発明における第２領域に相当する。

【0085】

テープ剥離ユニット１１が剥離作業の終端位置に達し、ステップＳ５までの各処理が終了すると、図７に示すように、保持テーブル５を下降させて粘着テープＤＴから退避させるとともに、テープ剥離ユニット１１を初期位置へと復帰させる。保持テーブル５が図７において実線で示される初期位置まで下降すると、保持テーブル５における吸着が解除される。吸着解除の後、粘着テープＤＴｗが貼り付けられたマウントフレームＭＦは、マウントフレーム搬送機構によって搬送されて図示しないマウントフレーム回収部に回収される（ステップＳ６）。

【0086】

マウントフレームＭＦが回収されると、一定量の不要テープＤＴｎが巻き取られてテープ回収部１３へ案内されていくとともに、一定量の粘着テープＤＴがテープ供給部３から繰り出される（ステップＳ７）。一定量の粘着テープＤＴが繰り出されることにより、図８（ｂ）に示すように、ウエハ保持部３１の上方に位置されていた切除領域Ｃは、下流方向へ所定距離の分、移動する。

【0087】

粘着テープＤＴを繰り出させ、ウエハ保持部３１の上方に位置していた切除領域Ｃを下流方向へ移動させた後、ステップＳ８に係る粘着テープＤＴの矯正工程を行い、粘着テープＤＴに形成された皺Ｆを除去する。以下、ステップＳ８の工程について説明する。

【0088】

ステップＳ８を開始すると、まず第１引張機構５３および第２引張機構５５の各々について、把持部材６１を駆動させて粘着テープＤＴを把持させる。すなわち図９（ａ）に示すように、把持ユニット５３Ａおよび５３Ｂの各々を幅方向Ｒの内側へ適宜移動させる。当該移動によって、固定受け片６７と可動部６８との間に粘着テープＤＴの幅方向の端部がそれぞれ入り込む。

【0089】

そして、粘着テープＤＴの幅方向の端部が入り込んだ状態で、制御部４０はモータ７０を回転させる。モータ７０の回転によって、図９（ｂ）に示すように、シリンダ６９が下方へ伸張する。シリンダ６９の伸張により、可動部６８は下方へ移動する。その結果、固定受け片６７と可動部６８との間隔が短くなり、固定受け片６７と可動部６８とによって領域Ｌ１における粘着テープＤＴの端部が把持される。

【0090】

なお、図９（ｂ）は第１引張機構５３を構成する把持ユニット５３Ａおよび５３Ｂの動作を示しているが、第２引張機構５５を構成する把持ユニット５５Ａおよび５５Ｂの動作も同様である。

【0091】

図９（ａ）に示すように。第１引張機構５３および第２引張機構５５は、切除領域Ｃの上流近傍において粘着テープＤＴの両端を把持する。第１引張機構５３の把持ユニット５３Ａおよび５３Ｂは、より切除領域Ｃに近い領域Ｌ１における、粘着テープＤＴの幅方向Ｒの両端を把持する。第２引張機構５５の把持ユニット５５Ａおよび５５Ｂは、領域Ｌ１よりやや上流側の領域Ｌ２における、粘着テープＤＴの幅方向Ｒの両端を把持する。

【0092】

第１引張機構５３および第２引張機構５５の各々により、粘着テープＤＴの幅方向の両端が把持されると、制御部４０はモータ６５の各々を回転させる。モータ６５の各々が回転することにより、図１０（ａ）に示すように、把持ユニット５３Ａの把持部材６１と、把持ユニット５３Ｂの把持部材６１とは幅方向Ｒにおいて外側へと互いに反対方向へ移動する。

【0093】

把持部材６１の各々が幅方向Ｒへ移動することにより、把持部材６１の各々が把持している粘着テープＤＴは幅方向の両外側へと引っ張られる。粘着テープＤＴが引っ張られることにより、繰り出し方向Ｌのテンションが付与されている粘着テープＤＴに対して、幅方向Ｒのテンションがさらに付与される。その結果、粘着テープＤＴに発生していた皺Ｆが除去され、粘着テープＤＴは平坦となる。

【0094】

図１０（ａ）は、第１引張機構５３を構成する把持ユニット５３Ａおよび５３Ｂの動作を示している。なお、第２引張機構５５を構成する把持ユニット５５Ａおよび５５Ｂについても、把持部材６１をそれぞれ幅方向Ｒにおいて外側へと互いに反対方向へ移動させることにより、粘着テープＤＴに幅方向Ｒのテンションを付与させる。

【0095】

本発明の特徴として、制御部４０は第１引張機構５３に設けられるモータ６５の各々の回転と、第２引張機構５５に設けられるモータ６５の各々の回転とを独立に制御する。具体的には、把持ユニット５５Ａおよび５５Ｂが幅方向Ｒへ移動する距離に比べて、把持ユニット５３Ａおよび５３Ｂが幅方向Ｒへ移動する距離の方を長くする。その結果、第２引張機構５５が把持して引っ張る領域Ｌ２に付与されるテンションＰ２に比べて、第１引張機構５３が把持して引っ張る領域Ｌ１に付与されるテンションＰ１の方が大きくなる。

【0096】

上述しているように、皺Ｆが発生している時点において、皺Ｆの発生が多い領域Ｌ１における粘着テープＤＴの幅は、皺Ｆの発生が少ない領域Ｌ２における粘着テープＤＴの幅よりも実際には狭くなっている（図１１（ｂ）を参照）。そのため、第１引張機構５３の移動距離を第２引張機構５５の移動距離より長くなるようにモータ６５の各々を独立制御する。そして当該独立制御を行うことにより、領域Ｌ１における粘着テープＤＴの幅と領域Ｌ２における粘着テープＤＴの幅とが同じ長さとなるように、第２テンション機構３７はそれぞれ異なるテンションＰ１およびＰ２を幅方向Ｒに付与できる。

【0097】

比較的大きなテンションＰ１の付与により、領域Ｌ１に発生していた多数の皺Ｆは確実に除去される。そして比較的小さなテンションＰ２の付与により、領域Ｌ２に発生している比較的少数の皺Ｆも確実に除去されるとともに、領域Ｌ２において新たな皺が発生することを防止できる。

【0098】

言い換えると、比較的小さい張力Ｔ１が作用していた領域Ｌ１には比較的大きなテンションＰ１が付与され、比較的大きな張力Ｔ２が作用していた領域Ｌ２には比較的小さなテンションＰ２が付与される。そのため、第２テンション機構３７がそれぞれ異なるテンションＰ１およびＰ２を付与することにより、領域Ｌ１に作用する張力の大きさＴ１と領域Ｌ２に作用する張力Ｔ２とを略同じにできる（図１１（ｃ）を参照）。

【0099】

従って、第２テンション機構３７によって、粘着テープＤＴは、領域Ｌ１およびＬ２のいずれにおいても高い精度で平坦化される。その結果、切除領域Ｃの近傍領域である領域Ｌ１およびＬ２を、次の貼付け過程においてリングフレームｆおよびウエハＷに貼り付ける領域、すなわち次の切除領域Ｃとして用いることができる。第２テンション機構３７によって粘着テープＤＴを平坦化することにより、ステップＳ８の工程は完了する。以上のステップＳ１ないしＳ８からなる一連の工程により、１サイクルの粘着テープ貼付け処理が完了する。

【0100】

以後、規定数のマウントフレームＭＦが作製されるまで、ステップＳ１からステップＳ８までの工程が繰り返される。なお、第２テンション機構３７が粘着テープＤＴに幅方向ＲのテンションＰ１およびＰ２を付与している状態は、次のサイクルの粘着テープ貼付け処理において、粘着テープＤＴの貼付け工程（ステップＳ３）が実行されるまで維持されることが好ましい。

【0101】

ここで、テンションＰ１およびテンションＰ２をそれぞれ算出する工程の一例について説明する。本実施例ではセンサ７１を用いて、ステップＳ８における第１引張機構５３および第２引張機構５５の移動距離をそれぞれ算出することにより、テンションＰ１およびテンションＰ２の各々が定められる。

【0102】

すなわち、粘着テープＤＴが平坦である場合、粘着テープＤＴの幅方向Ｒの両端はいずれも繰り出し方向Ｌへ平行に延びる。そのため、平面視における粘着テープＤＴの幅は、どの領域であっても同じ長さＭである（図１１（ａ））。しかし、切除領域Ｃの形成によって皺Ｆが発生した場合、皺Ｆの発生量に応じて幅Ｖの長さが短くなる。従って、平面視において、皺Ｆが比較的多い領域Ｌ１における幅の長さＭ１は、領域Ｌ２における幅の長さＭ２よりも短くなる（図１１（ｂ））。

【0103】

そこで、センサ７１を用いて平面視における粘着テープＤＴの両端の位置を常時検知し、領域Ｌ１における幅の長さと領域Ｌ２における幅の長さとがいずれも同じ長さとなるように、第１引張機構５３および第２引張機構５５の移動距離を定める。

【0104】

領域Ｌ１における粘着テープＤＴの幅は、センサ７１ａにより適時検知される。領域Ｌ２における粘着テープＤＴの幅は、センサ７１ｂにより適時検知される。そのため、制御部４０はセンサ７１ａおよびセンサ７１ｂが検知した情報に基づいて、領域Ｌ１における粘着テープＤＴの幅と領域Ｌ２における粘着テープＤＴの幅が等しくなるように、テンションＰ１の大きさとテンションＰ２の大きさとをそれぞれ正確に算出できる。

【0105】

具体的には、ＭとＭ１との差はＭとＭ２との差よりも大きいので、第１引張機構５３の移動距離は第２引張機構５５の移動距離よりも長くなるように算出される。粘着テープＤＴの幅方向へ付与されるテンションの大きさは、粘着テープＤＴを把持して幅方向Ｒへ移動する第１引張機構５３または第２引張機構５５の移動距離によって変化する。第１引張機構５３および第２引張機構５５がそれぞれ算出された距離を移動する結果、平面視における粘着テープＤＴの幅の長さは、領域Ｌ１およびＬ２の各々において、皺Ｆが発生する前の長さＭと同じとなる（図１１（ｃ））。

【0106】

このように、センサ７１を用いて粘着テープＤＴの端部を検知する方法によって、ステップＳ８における第１引張機構５３の移動距離および第２引張機構５５の移動距離を正確に算出できる。さらに、粘着テープＤＴに付与するテンションＰ１およびＰ２を過度に大きくする事態を回避できる。

【0107】

なお、特に粘着テープＤＴが柔らかい材料で構成される場合、粘着テープＤＴの伸縮率を考慮して第１引張機構５３および第２引張機構５５の移動距離を定めることが好ましい。この場合、テンションＰ１およびＰ２を付与した後における粘着テープＤＴの幅方向の長さは、当該伸縮率に応じてＭより長くなる。

【0108】

＜実施例の構成による効果＞
従来の粘着テープ貼付け装置において粘着テープの幅方向にテンションを付与する場合、クランプ部材などで粘着テープの両端における一定の領域を把持する。そして当該把持された領域の全てにわたって均一のテンションが幅方向に付与させる。具体的には図１５（ｄ）に示すように、従来の引張機構１０１は、粘着テープＤＴを把持している領域Ｌ１および領域Ｌ２のいずれも均一の力をかけて引っ張る。

【0109】

そのため、従来の方法では粘着テープが切り抜かれた領域（切除領域）に近い領域と、当該切除領域から遠い領域の各々に対してテンションが均等に付与される。切除領域に近く皺が多い領域Ｌ１に作用しているテンションは比較的低く、切除領域から遠く皺が少ない領域Ｌ２に作用しているテンションは比較的高い。

【0110】

つまり、従来の引張機構１０１で粘着テープＤＴを引っ張った後も、領域Ｌ１に作用しているテンションと領域Ｌ２に作用しているテンションとの間には大きな差がある。その結果、テンションを幅方向に付与しても粘着テープに発生する皺を確実に除去できないので、切除領域として設定できる部分のピッチが大きくなる。

【0111】

一方、本実施例に係る粘着テープ貼付け装置において、第２テンション機構３７は第１引張機構５３および第２引張機構５５を備えている。そして粘着テープＤＴのうち、切除領域Ｃから比較的近い領域Ｌ１においては第１引張機構５３を用いて比較的大きいテンションＰ１を幅方向に付与し、切除領域Ｃから比較的遠い領域Ｌ２においては第１引張機構５３を用いて比較的小さいテンションＰ２を幅方向に付与する。すなわち、第１引張機構５３による粘着テープＤＴの拡張力と、第２引張機構５５による粘着テープＤＴの拡張力とを独立して制御する。

【0112】

繰り出し方向Ｌへ帯状に延びる粘着テープＤＴのうち、皺Ｆの発生が比較的多い領域Ｌ１においては、第１引張機構５３によって比較的大きなテンションＰ１が付与される。そのため、粘着テープＤＴは十分に大きな力で幅方向Ｒの両端側へ引っ張られるので、比較的多く発生していた皺Ｆは確実に除去される。その結果、領域Ｌ１において粘着テープＤＴの面を確実に平坦にすることができる（図１０（ｂ））。

【0113】

一方、皺Ｆの発生が比較的少ない領域Ｌ２においては、第２引張機構５５によって比較的小さいテンションＰ２が付与される。領域Ｌ２において発生している皺Ｆは少ないので、領域Ｌ２において皺Ｆの除去に要する力の大きさは比較的小さい。そのため領域Ｌ２においても皺Ｆを確実に除去できる。

【0114】

さらに、テンションＰ１と比べてテンションＰ２を小さくすることにより、領域Ｌ２において、皺Ｆが除去されたにも関わらず過度に大きなテンションが幅方向に付与され続けるという事態を防止できる。従って、過度に大きなテンションが付与されることに起因して、領域Ｌ２において幅方向Ｒに延びる皺Ｇが新たに発生するという問題を回避できる（図１５（ｄ）を参照）。

【0115】

このように、本実施例に係る第２テンション機構３７を用いて粘着テープＤＴを幅方向に拡張（矯正）を行った結果、拡張後において粘着テープＤＴの幅方向に作用するテンションは、第２テンション機構３７が把持している領域にわたって、より均一となる。すなわちステップＳ８の工程を完了することにより、第２テンション機構３７が把持している領域のうち、切除領域Ｃに近い領域Ｌ１と切除領域Ｃから遠い領域Ｌ２との各々において、幅方向Ｒに作用するテンションが略同じとなる。

【0116】

従って、皺が発生し易い領域である、切除領域Ｃの上流近傍領域であっても第２テンション機構３７を用いて粘着テープＤＴを確実に平坦化できる。その結果、当該上流近傍領域を、次のサイクルにおいてワークへ貼り付けて切り抜く領域として用いることができる。従って、切除領域Ｃのピッチを短くして粘着テープＤＴの廃棄量を低減することが可能となる。

【実施例2】

【0117】

次に、本発明の実施例２を説明する。なお、実施例１に係る粘着テープ貼付け装置と同一構成については同一符号を付すに留め、異なる構成部分である第２テンション機構の構成について詳述する。

【0118】

実施例１に係る第２テンション機構３７は、繰り出し方向Ｌに並列する独立した複数の引張機構である第１引張機構５３と第２引張機構５５とを備える。すなわち第２テンション機構３７は複数対の把持ユニットを備えている。一方、実施例２に係る第２テンション機構８０は、図１２に示すように、粘着テープＤＴのうち、所定の領域Ｈを把持する一対の把持ユニット８１Ａおよび８１Ｂで構成される。把持ユニット８１Ａおよび８１Ｂは、保持テーブル５を挟んで対向配備されている。把持ユニット８１Ａおよび８１Ｂは粘着テープＤＴの幅方向Ｒの両端をそれぞれ把持し、当該幅方向Ｒへ所定距離移動する。

【0119】

把持ユニット８１Ａおよび８１Ｂの各々は、把持部材８２と、第１シリンダ８３と、第２シリンダ８４とを備えている。把持部材８２は、所定の領域Ｈにわたって粘着テープＤＴの幅方向Ｒの端部を把持する。

【0120】

第１シリンダ８３および第２シリンダ８４の各々は、把持部材８２に接続されている。第１シリンダ８３および第２シリンダ８４は粘着テープＤＴの繰り出し方向Ｌに並列するように配設されており、第１シリンダ８３は第２シリンダ８４よりも繰り出し方向Ｌの下流側に配設されている。第１シリンダ８３および第２シリンダ８４は、繰り出し方向Ｌにおける把持部材８２の中心線Ｑを挟んで対称となる位置に配設されることが好ましい。

【0121】

第１シリンダ８３には第１モータ８６が接続されており、第２シリンダ８４には第２モータ８７が接続されている。第１シリンダ８３は第１モータ８６の正逆回転に連動して幅方向Ｒへ伸縮動作し、第２シリンダ８４は第２モータ８７の正逆回転に連動して幅方向Ｒへ伸縮動作する。そして第１シリンダ８３および第２シリンダ８４の伸縮動作に従って、把持部材８２は粘着テープＤＴを把持した状態で幅方向Ｒへ移動可能となる。第１モータ８６および第２モータ８７の各々が回転する量と方向とに応じて、把持部材８２が幅方向Ｒへ移動する距離および方向が決定される。

【0122】

把持部材８２が粘着テープＤＴの所定領域Ｈを把持した状態で第１シリンダ８３および第２シリンダ８４を伸縮させることにより、所定領域Ｈのうち下流側では第１シリンダ８３の伸縮量に応じた大きさのテンションＰ１が幅方向Ｒに付加される。そして所定領域Ｈのうち上流側では、第２シリンダ８４の伸縮量に応じた大きさのテンションＰ２が幅方向Ｒに付加される。

【0123】

本発明の特徴として、制御部４０は、第１モータ８６の回転と第２モータ８７の回転とをそれぞれ独立に制御する。すなわち第１シリンダ８３の伸縮動作と第２シリンダ８４の伸縮動作も独立制御される。そのため、所定領域Ｈのうち下流側に付与されるテンションＰ１の大きさと、所定領域Ｈのうち上流側に付与されるテンションＰ２の大きさとを独立して調節できる。

【0124】

実施例２において、把持部材８２は、本発明における把持機構に相当する。第１シリンダ８３および第１モータ８６は、本発明における第１引張部材に相当する。第２シリンダ８４および第２モータ８７は、本発明における第２引張部材に相当する。

【0125】

実施例２において、粘着テープＤＴをワーク（リングフレームｆおよびウエハＷ）に貼り付ける工程は、ステップＳ８を除いて図３に示す実施例１の工程と共通する。実施例２に係るステップＳ８では、まず図１３（ａ）に示すように、把持ユニット８１Ａおよび８１Ｂの各々を幅方向Ｒの内側へ適宜移動させる。

【0126】

次に、固定受け片６７と可動部６８との間に粘着テープＤＴの幅方向の端部が入り込んだ状態で、制御部４０はモータ７０を回転させる。モータ７０の回転によって、シリンダ６９が下方へ伸張し、固定受け片６７と可動部６８とによって粘着テープＤＴの端部が把持される（図９（ｂ）を参照）。

【0127】

モータ７０の駆動により、幅方向Ｒにおける粘着テープＤＴの両端が、領域Ｌ１およびＬ２を含む所定の領域Ｈにわたって把持される。このとき、図１３（ａ）に示すように、把持部材８２のうち下流側の部分は、切除領域Ｃに近い領域Ｌ１における粘着テープＤＴの両端を把持しており、当該下流側の部分には第１シリンダ８３が接続されている。一方、把持部材８２のうち上流側の部分は、領域Ｌ１より上流側の領域Ｌ２における粘着テープＤＴの両端を把持しており、当該上流側の部分には第２シリンダ８４が接続されている。

【0128】

把持部材８２の各々により粘着テープＤＴが把持されると、制御部４０は第１モータ８６および第２モータ８７の各々を回転させる。第１モータ８６および第２モータ８７の各々が回転することにより、図１３（ｂ）に示すように、把持ユニット８１Ａおよび８１Ｂの把持部材８２は、それぞれ幅方向Ｒにおいて互いに反対方向へ移動する。

【0129】

このとき、制御部４０は第１モータ８６および第２モータ８７の各々を独立して制御する。具体的には、第１モータ８６の回転量の方が第２モータ８７の回転量よりも大きくなるように制御される。

【0130】

当該制御により、第１シリンダ８３の伸縮量は比較的大きいため、把持部材８２のうち第１シリンダ８３が接続している下流側部分は、幅方向Ｒへの移動距離が比較的長くなる。一方、第２シリンダ８４の伸縮量が比較的小さいため、把持部材８２のうち第２シリンダ８４が接続している上流側部分は、幅方向Ｒへの移動距離が比較的短くなる。

【0131】

把持部材８２のうち上流側部分の移動距離と下流側部分の移動距離とが異なるよう制御される結果、図１３（ｂ）に示すように、粘着テープＤＴのうち領域Ｌ１および領域Ｌ２に対して、それぞれ異なる大きさのテンションが幅方向Ｒへ付与される。すなわち、把持部材８２のうち下流側の部分が把持している領域Ｌ１においては、第１シリンダ８３の伸縮量の影響をうけて比較的大きなテンションＰ１が幅方向Ｒへ付与される。一方、把持部材８２のうち上流側の部分が把持している領域Ｌ２においては、第２シリンダ８４の伸縮量の影響をうけて比較的小さなテンションＰ２が幅方向Ｒへ付与される。

【0132】

繰り出し方向Ｌにおいてそれぞれ異なる領域Ｌ１およびＬ２に対して、それぞれ異なる大きさであるテンションＰ１およびＰ２を付与することにより、粘着テープＤＴに発生していた皺Ｆは確実に除去され、粘着テープＤＴは平坦となる。すなわち皺Ｆが多く発生している領域Ｌ１では、より大きいテンションＰ１が付与されるので、皺Ｆを確実に除去できる。一方、皺Ｆの発生が少ない領域Ｌ２では比較的小さいテンションＰ２が付与されるので、皺Ｆを十分に除去できるとともに、過度なテンションの付与による皺の発生を防止できる。

【0133】

このように、実施例２に係る第２テンション機構では、把持ユニット８１Ａおよび８１Ｂの各々において、第１シリンダ８３および第２シリンダ８４を用いて、単一の把持部材８２を繰り出し方向Ｌに並ぶ複数の箇所で引っ張る構成となっている。そして各箇所で引っ張る力を独立に制御することにより、それぞれの箇所で付与されるテンションＰ１およびＰ２について、それぞれ異なる大きさとなるように調整する。

【0134】

第２テンション機構８０が幅方向へテンションＰ１およびＰ２を付与する結果、実施例１と同様に実施例２の構成においても、粘着テープＤＴは繰り出し方向Ｌの広い範囲にわたって精度良く平坦化できる。

【0135】

ステップＳ８の開始前において、領域Ｌ１に作用していた幅方向の張力Ｔ１と、領域Ｌ２に作用する幅方向の張力Ｔ２との差は、ステップＳ８に係るテープの矯正工程によって解消される。すなわち、比較的小さい張力Ｔ１にテンションＰ１が付与され、比較的大きい張力Ｔ２にテンションＰ２が付与される。従って、テンション付与後（ステップＳ８の完了後）において、粘着テープＤＴにおける幅方向の張力のばらつきを小さくできる。その結果、切除領域Ｃの近傍である領域Ｌ１およびＬ２を次のワークに貼り付ける領域として利用できるので、粘着テープＤＴの廃棄量を低減できる。

【0136】

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

【0137】

（１）実施例１において、第２テンション機構３７は粘着テープＤＴの繰り出し方向Ｌに並列する２つの独立した引張機構、すなわち第１引張機構５３および第２引張機構５５を備える構成を例示したが、３つ以上の引張機構を備える構成であってもよい。同様に、実施例２に係る把持部材８２には、繰り出し方向Ｌに並ぶ３つ以上のシリンダが接続され、各々のシリンダが異なる大きさの力で幅方向Ｒへ引っ張る構成であってもよい。

【0138】

（２）各実施例および各変形例において、幅方向のテンションを付与する対象となる粘着テープＤＴの例として、半導体ウエハをリングフレームとにわたって支持する支持用粘着テープ（ダイシングテープ）を例に挙げて説明したがこれに限られない。すなわちダイシングテープの他、半導体ウエハの回路面を保護する保護用の粘着テープ（保護テープ）や、保護テープ剥離用の粘着テープなど、長尺状の粘着テープであれば本発明に係る粘着テープ貼付け装置の構成を適用できる。

【0139】

（３）本発明は、粘着テープＤＴにおいて繰り出し方向Ｌに並ぶ複数の領域に対して、粘着テープＤＴの幅方向にそれぞれ異なるテンションを付与できる構成であれば、第２テンション機構の構成は各実施例に限定されることなく、適宜変更してよい。繰り出し方向Ｌに並ぶ複数の領域Ｌ１およびＬ２の各々に対して、幅方向Ｒにそれぞれ異なるテンションを付与する構成の他の例としては、以下のようなものが挙げられる。

【0140】

変形例に係る第２テンション機構９０は、図１４（ａ）に示すように、粘着テープＤＴのうち、所定の領域Ｈを把持する一対の把持ユニット９０Ａおよび９０Ｂで構成される。把持ユニット９０Ａおよび９０Ｂの各々は、把持部材９１とシリンダ９２とモータ９３とを備えている。把持部材９１は、所定の領域Ｈにわたって粘着テープＤＴを把持する。シリンダ９２は、把持部材９１のうち下流寄りの部分に接続されている。シリンダ９２はモータ９３の回転に従って幅方向Ｒへ伸縮し、把持部材９１を幅方向Ｒへ移動させる。

【0141】

領域Ｌ１はシリンダ９２が把持部材９１に接続されている部分に比較的近く、領域Ｌ２はシリンダ９２が把持部材９１に接続されている部分から比較的遠い。すなわち、領域Ｌ２と比べて領域Ｌ１にはシリンダ９２の伸縮によって発生する力がより効率良く伝達される。そのため、シリンダ９２が伸縮して把持部材９１を移動させると、領域Ｌ１にはより大きなテンションＰ１が付与される一方、領域Ｌ２に付与されるテンションＰ２の大きさは比較的小さくなる。

【0142】

このように、分離している複数の把持部材６１を繰り出し方向Ｌに並列させる実施例１の構成や、単一の把持部材８２を複数箇所で引っ張る実施例２の構成に限られない。本変形例のように、単一の把持部材９１を単一の箇所で引っ張る構成であっても、各実施例と同様に、繰り出し方向Ｌについてそれぞれ異なるテンションＰ１およびＰ２を幅方向Ｒへ付与できる。

【0143】

他の変形例としては、図１４（ｂ）に示すように、一対の把持ユニット９５Ａおよび９５Ｂについて、繰り出し方向Ｌの上流側へと幅方向Ｒから傾斜している、方向Ｄに伸縮移動するシリンダ９７が把持部材９６に接続される構成であってもよい。モータ９８の回転に従ってシリンダ９７が方向Ｄに伸縮することによっても、領域Ｌ１およびＬ２に対して、それぞれ異なる大きさのテンションＰ１およびＰ２を幅方向に付与できる。シリンダ９７およびモータ９８は、本発明における傾斜方向引張部材に相当する。

【0144】

各実施例および変形例では、ステップＳ８において、センサ７１を用いて各領域における粘着テープＤＴの幅方向Ｒの端部を検知し、領域Ｌ１に付与するテンションＰ１の大きさと、領域Ｌ２に付与するテンションＰ２の大きさとを算出する。これは、領域Ｌ１に付与するテンションＰ１の大きさと、領域Ｌ２に付与するテンションＰ２の大きさとを算出する構成の一例であって、センサ７１を用いる構成に限られない。

【0145】

他の一例として、皺Ｆを確実に除去して粘着テープＤＴを全体的に平坦化できるような、第１引張機構５３および第２引張機構５５の各々が幅方向Ｒへ移動する距離をシミュレーションによって予め求め、当該算出結果に基づいてテンションＰ１およびＰ２を算出してもよい。またセンサ７１で粘着テープＤＴの面をモニタし、皺や波打ちが無くなることによってテンションＰ１およびＰ２の付与を完了させてもよい。

【0146】

（４）実施例および各変形例において、リングフレームｆおよびウエハＷをワークとして、当該ワークに粘着テープＤＴを貼り付ける粘着テープ貼付け装置を例示したが、粘着テープを貼り付ける対象となるワークは、リングフレームｆおよびウエハＷに限られない。他の例として、ウエハＷをワークとしてもよい。すなわち、回路保護用の粘着テープＴをウエハの回路面に貼り付けた後、当該粘着テープＴを所定の形状（円形など）に切り抜く構成が挙げられる。また、リングフレームｆをワークとする構成などにも本発明の構成を適用できる。

【0147】

ここで実施例とはワークが異なる場合の変形例について、図面を用いて説明する。当該変形例において、図１５（ａ）に示すように、ワークとして位置決め用のノッチＮが形成されたウエハＷａを用いることとする。なおウエハＷａに形成されているノッチＮはＶ字状であるが、ノッチＮの形状はＶ字状に限ることはなく、例えばＵ字状あってもよい。またウエハＷａとしてオリエンテーションフラットが形成されているものを用いてもよいし、各実施例のようにノッチ等が形成されていない円形のウエハＷを用いてもよい。

【0148】

ウエハＷａをワークとする変形例において各実施例とは異なる構成を、保持テーブル５ａおよびテープ切断ユニット９ａとして異なる符号を付して図１５（ｂ）に示す。保持テーブル５ａはフレーム保持部３３が省略されており、ウエハＷａを載置するウエハ保持部３１ａを備えている。ウエハ保持部３１ａの径は、ウエハＷａの径より短くなるように構成されている。

【0149】

テープ切断ユニット９ａは、駆動昇降可能な可動台１０の下部に、保持テーブル５ａの中心上に位置する縦軸心Ｐ周りに駆動旋回可能に支持アーム１２が装備される。また、この支持アーム１２の遊端側に、刃先を下向きにしたカッタ１４が装着されている。つまり、本変形例では支持アーム１２が縦軸心Ｐを旋回中心として旋回することにより、カッタ１４がウエハＷの外周に沿って移動して粘着テープＴを切り抜くよう構成されている。

【0150】

ここで（４）に係る変形例において、ワークであるウエハＷａに対して粘着テープＴを貼り付ける工程を説明する。まずステップＳ１においてウエハＷａがノッチＮに基づいて回転方向の位置が決定され、ウエハ保持部３１ａに載置される。なお、リングフレームｆは用いられないので、ステップＳ２の工程は省略されている。そしてステップＳ３において、テープ貼付けユニット７を用いて粘着テープＴがウエハＷａの表面全体にわたって貼り付けられる（図４（ｂ）を参照）。

【0151】

本変形例に係るステップＳ４の動作について、図１５（ｃ）に示す。すなわち、上方に待機していたテープ切断ユニット９ａが下降され、カッタ１４が粘着テープＴに突き刺される。カッタ１４が粘着テープＴに突き刺されると、支持アーム１２が縦軸心Ｐを旋回中心として旋回する。これに伴ってカッタ１４がウエハＷａの外周縁に沿って旋回移動する。

【0152】

当該旋回移動により、図１５（ｄ）に示すように、粘着テープＴは切断軌跡Ｋに沿って円形に切り抜かれる。このように、粘着テープＴをウエハＷａに応じた所定の形状に切断することによりステップＳ４の工程は完了する。ステップＳ５〜Ｓ８の各工程は、各実施例と同様であるので以降の説明は省略する。

【0153】

なお、ワークに応じた所定の形状に粘着テープＴを切り抜く構成であれば、粘着テープＴの切断軌跡Ｋは円形に限ることはない。一例として図１５（ｅ）に示すように、切断軌跡ＫはノッチＮの部分に相当する粘着テープＴも切断する軌跡、すなわちウエハＷａの外形に沿った形状であってもよい。さらに、ワークに応じた所定の形状に粘着テープＴを切り抜く構成であれば、保持テーブル５ａおよびテープ切断ユニット９ａの構成は適宜変更してよい。例えば、カッタ１４はウエハＷａの外周縁に沿って旋回移動する構成に限られない。

【0154】

すなわち、図１５（ｆ）に示すように、ウエハ保持部３１ａの径がウエハＷａの径より大きい場合、粘着テープＴに突き刺されたカッタ１４がウエハ保持部３１ａの外周縁に沿って旋回移動することが好ましい。この場合、粘着テープＴはウエハＷａに応じて、ウエハＷａの径よりやや大きい円形状に切断される。

【0155】

（５）各実施例および各変形例において、ワークは円形状または略円形状に限ることはない。一例として、矩形状や多角形状の基板をワークとして粘着テープＴを貼り付ける構成などにも本発明に係る構成を適用できる。

【0156】

（６）各実施例および各変形例において、テンションＰ１およびテンションＰ２の大きさを独立に制御する構成として、モータ６５を例とする各種モータの回転を独立に制御することにより各々の把持ユニットの位置を独立に調整する構成を例示している。しかし、テンションＰ１およびテンションＰ２の大きさを独立して制御する構成であれば、モータで制御する構成に限ることはない。

【0157】

テンションＰ１およびテンションＰ２の大きさを独立に制御する構成の他の例としては、シリンダ６３の各々を独立して制御する構成が挙げられる。すなわち、切除領域Ｃに近い領域Ｌ１を把持する把持ユニット５３Ａおよび５３Ｂに設けられるシリンダ６３に対しては比較的高い圧力のエアー（一例として０．４ＭＰａ程度）を供給することにより、比較的強い力で領域Ｌ１を引っ張らせる。一方、領域Ｌ２を把持する把持ユニット５５Ａおよび５５Ｂに設けられるシリンダ６３に対しては比較的低い圧力のエアー（一例として０．２ＭＰａ程度）を供給することにより、比較的弱い力で領域Ｌ２を引っ張らせる。

【0158】

このように、シリンダ６３を制御して領域Ｌ１が引っ張られる力と領域Ｌ２が引っ張られる力とがそれぞれ独立に制御されることによっても、テンションＰ１とテンションＰ２の大きさを異ならせることができる。このような構成ではモータ６５を例とする各種モータを削除することができる。

【0159】

（７）各実施例および各変形例において、保持テーブル５が昇降移動することによって粘着テープＤＴの貼付けを行う構成を例示しているが、保持テーブル５が昇降移動可能とする構成に限られない。すなわち他の例として、テープ貼付けユニット７およびテープ剥離ユニット１１が昇降移動することによって粘着テープＤＴの貼付けを行う構成であってもよい。

【符号の説明】

【0160】

１ … 粘着テープ貼付け装置
３ … テープ供給部
４ … 第１テンション機構
５ … 保持テーブル
７ … テープ貼付けユニット
９ … テープ切断ユニット
１１ … テープ剥離ユニット
１３ … テープ回収部
１５ … セパレータ回収部
２７ … シリンダ
２８ … 遊点ローラ
２９ … ダンサローラ
３１ … ウエハ保持部
３３ … フレーム保持部
３７ … 第２テンション機構
４０ … 制御部
４３ … カッタ
４５ … 押圧ローラ
４７ … ニップローラ
５０ … 入力部
５３ … 第１引張機構
５１ … 第２引張機構
６１ … 把持部材
６３ … シリンダ
６５ … モータ
７１ … センサ
ＤＴ … 粘着テープ
Ｓ … セパレータ
Ｃ … 切除領域
Ｆ、Ｇ… 皺

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】