特開2019-188146(P2019-188146A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2019-188146１種以上のシロキサンを重ね合わせ、且つプラズマと接触させることを含む、ガラス層を有する機能化された中空体の製造方法
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