特開2019-190836IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

磁性体の磁気異方性評価装置および磁気異方性評価方法に関し、詳しくは、トルク曲線を用いて磁気異方性を評価する技術

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】磁性薄膜における磁気異方性評価を正確に行う手段を提供する。
【解決手段】本発明の磁気異方性評価方法は、平坦な平面を有する薄膜の磁性体のホール抵抗を測定するステップと、前記磁性体に磁界を印加するステップと、前記磁性体のホール抵抗の印加磁界角度依存性から、磁気トルク曲線を演算するステップ、及び前記演算した磁気トルク曲線から磁気異方性定数を演算するするステップと、
を備えたことを特徴とする。
【選択図】図3

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかし、上述の磁気トルクを測定する方法では、試料基板や測定ホルダからの反磁界の影響や測定ノイズの影響があり、磁気トルクを精度よく測定することが困難であった。結果として、磁気異方性の評価に大きな誤差を生じる場合があった。 本発明は上述の問題に鑑みなされたものであって、その目的とするところは、磁性薄膜における磁気異方性評価を正確に行うことを可能とする磁気異方性評価装置および磁気異方性評価方法提供することである。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の課題を解決するための手段の一例は、平坦な平面を有する薄膜の磁性体のホール抵抗を測定する機構と、前記磁性体に磁界を印加する機構と、前記磁性体のホール抵抗の印加磁界角度依存性から、磁気トルク曲線を演算する第1の演算と、前記演算した磁気トルク曲線から磁気異方性定数を演算するための第2の演算する機構と、を備えたことを特徴とする磁気異方性評価装置である。
【発明の効果】
の磁気異方性評価装置および磁気異方性評価方法を採用することによって、試料基板や測定ホルダからの反磁界の影響や測定ノイズを低減することができるため、従来の方法では評価が困難な磁性体の磁気異方性を正確に評価することが可能になる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

知財ポータルサイト IP Force にログインして確認する (無料)

この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本実施の形態における磁気異方性評価装置を示す図である。

【図2】本実施の形態におけるサンプルホルダ、試料およびホールセンサの配置の図である。

【図3】本実施の形態における演算の方法を示すフローチャートである。

【図4】本発明の実施例1におけるホール抵抗の磁界角度依存性の測定結果を示すグラフである。

【図5】本発明の実施例1におけるホール抵抗の磁界強度依存性の測定結果を示すグラフである。

【図6】本発明の実施例2におけるホール抵抗の磁界角度依存性の測定結果を示すグラフである。

【図7】本発明の比較例における磁気トルク曲線を示すグラフである。

選択図 図3出願人が指定した本件の代表的な図

1 サンプルホルダ   2 ホールセンサ   3 試料   4 磁化容易軸   5 磁化方向   6 磁界方向   7a、7b 電流端子   8a、8b 電圧端子   9 サンプルロッド   10 物理特性測定装置   11 コントローラ   12 演算装置   13 直流電源   14 電圧測定器   15 電磁石   100 磁気異方性評価装置

全ての図面はログインすると無料で閲覧できます。ログイン・ユーザー登録

[広告欄]

ログインすれば広告は減ります

ログインすれば広告は減ります