【図1a】本圧力センサ装置１００の上面の一例を示す図である。

【図1b】図１ａにおける領域Ａの拡大図である。

【図1c】図１ａにおけるａ−ａ'断面の一例を示す図である。

【図1d】図１ａにおける圧力センサ装置１００の斜視の一例を示す図である。

【図2a】比較例１の圧力センサ装置１５０の上面図である。

【図2b】図２ａにおけるａａ−ａａ'断面図である。

【図3a】本圧力センサ装置１００の上面の他の一例を示す図である。

【図3b】図３ａにおけるｂ−ｂ'断面の一例を示す図である。

【図3c】図３ｂにおける領域Ｂの拡大図である。

【図4a】本圧力センサ装置１００の上面の他の一例を示す図である。

【図4b】図４ａにおけるｃ−ｃ'断面の一例を示す図である。

【図5a】本圧力センサ装置１００の上面の他の一例を示す図である。

【図5b】図５ａにおけるｄ−ｄ'断面の一例を示す図である。

【図6a】比較例２の圧力センサ装置１６０の上面図である。

【図6b】図６ａにおけるｄｄ−ｄｄ'断面図である。

【図7a】本圧力センサ装置１００の上面の他の一例を示す図である。

【図7b】図７ａにおけるｅ−ｅ'断面の一例を示す図である。

【図8a】本圧力センサ装置１００の上面の他の一例を示す図である。

【図8b】図８ａにおけるｆ−ｆ'断面の一例を示す図である。

【図9a】図１ａの圧力センサ装置１００の出力変動の経時変化を示す図である。

【図9b】図１ａの圧力センサ装置１００の出力変動の経時変化を示す図である。

【図9c】図１ａの圧力センサ装置１００の出力変動の経時変化を示す図である。

【図10a】第２の圧力センサ装置２００の上面の一例を示す図である。

【図10b】図１０ａにおけるｇ−ｇ'断面の一例を示す図である。

【図11a】比較例３の圧力センサ装置２５０の上面を示す図である。

【図11b】図１１ａのｚ−ｚ'断面を示す図である。

【図11c】図１１ａのｚ−ｚ'断面において、センサケース１０を加熱した場合における断面を示す図である。

【図12a】第２の圧力センサ装置２００の上面の他の一例を示す図である。

【図12b】図１２ａにおけるｈ−ｈ'断面の一例を示す図である。

【図13a】第２の圧力センサ装置２００の上面の他の一例を示す図である。

【図13b】図１３ａにおけるｉ−ｉ'断面の一例を示す図である。

【図14a】第２の圧力センサ装置２００の上面の他の一例を示す図である。

【図14b】図１４ａにおけるｊ−ｊ'断面の一例を示す図である。

【図15a】第２の圧力センサ装置２００の上面の他の一例を示す図である。

【図15b】図１５ａにおけるｋ−ｋ'断面の一例を示す図である。

【図16a】第３の圧力センサ装置３００の上面の他の一例を示す図である。

【図16b】図１６ａにおけるｍ−ｍ'断面の一例を示す図である。

【図17a】比較例４の圧力センサ装置３５０の上面を示す図である。

【図17b】図１７ａにおけるｎ−ｎ'断面を示す図である。

【図18a】第３の圧力センサ装置３００の上面の他の一例を示す図である。

【図18b】図１８ａにおけるｐ−ｐ'断面を示す図である。