【解決手段】インターポーザ300は、第1絶縁層310と、上面の一部が露出するように第1絶縁層310の下に積層された第2絶縁層320と、第1絶縁層310の上面に形成された第1パッド311と、第2絶縁層320の露出した上面に形成された第2パッド321と、第1パッド311と第2パッド321とが接続されるように第1絶縁層310の側面に沿って形成される第1接続パターン331と、を含む。
前記第1パッドと前記第1接続パターンとの間を接続するように前記第1絶縁層の上面に形成された第2接続パターンを含む請求項1から5のいずれか一項に記載のインターポーザ。
前記第2パッドと前記第1接続パターンとの間を接続するように前記第2絶縁層の上面に形成された第3接続パターンを含む請求項1から6のいずれか一項に記載のインターポーザ。
前記インターポーザは、前記第1パッドと前記第1接続パターンとの間を接続するように、前記第1絶縁層の上面に形成された第2接続パターンをさらに含む請求項15から19のいずれか一項に記載のプリント回路基板。
前記インターポーザは、前記第2パッドと前記第1接続パターンとの間を接続するように、前記第2絶縁層の上面に形成された第3接続パターンをさらに含む請求項15から20のいずれか一項に記載のプリント回路基板。
【発明を実施するための形態】
【0007】
本発明に係るインターポーザ及びこれを含むプリント回路基板の実施例を添付図面を参照して詳細に説明し、添付図面を参照して説明するに当たって、同一または対応する構成要素には同一の図面符合を付し、これに対する重複説明を省略する。
【0008】
また、以下で使用する第1、第2等の用語は、同一または相応する構成要素を区別するための識別記号に過ぎず、同一または相応する構成要素が第1、第2等の用語によって限定されることはない。
【0009】
また、「結合」とは、各構成要素間の接触関係において、各構成要素間に物理的に直接接触する場合のみを意味するものではなく、他の構成が各構成要素の間に介在され、その他の構成に構成要素がそれぞれ接触している場合まで包括する概念として使用する。
【0010】
プリント回路基板は、スマートフォン等様々な電子機器に装着される。プリント回路基板には電子機器に必要な部品が実装され、プリント回路基板により部品間の電気的接続が可能となり、これにより電子機器の機能が果たされることができる。このプリント回路基板は、メインボード(main board)として形成されることができる。
【0011】
図1は、本発明の実施例に係るプリント回路基板が装着された電子機器を示す図である。
図1に示すように、電子機器1には、メインボードであるプリント回路基板10、バッテリー(battery)20などが電子機器のハウジング内に装着されるが、ディスプレーの大きさが大きくなり、カメラが高解像度の機能を有するなど、電子機器1の仕様が高くなると、それによる電力消費量が増加するので、バッテリー20の容量及び大きさも大きくなる必要がある。バッテリー20の大きさが大きくなると、相対的にプリント回路基板10が占めることのできる面積が減少することになる。逆に、プリント回路基板10の占める面積を減少できれば、バッテリー20に割り当てられる面積が大きくなり、バッテリー20の大型化が可能となる。
【0012】
本発明の実施例に係るプリント回路基板10は、二つ以上の基板で構成された複層構造、スタック(stack)構造またはサンドイッチ(sandwich)構造を有し、これにより、電子機器内でのプリント回路基板10が占める面積を最小化し、さらにバッテリー20の占める面積を大きくすることができる。
【0013】
図2から
図10は、本発明の実施例に係るインターポーザを示す図であり、
図11から
図16は、本発明の実施例に係るプリント回路基板を示す図である。
【0014】
図11から
図16を参照すると、本発明の実施例に係るプリント回路基板は、第1基板100と、第2基板200と、インターポーザ300とを含む。第1基板100及び第2基板200は、電子素子が実装されてプリント回路基板としての実質的な役割を担い、インターポーザ300は、第1基板100及び第2基板200を支持するとともに第1基板100と第2基板200との電気的接続を担う。
【0015】
以下では、先ずインターポーザ300について説明する。
【0016】
図2から
図10を参照すると、インターポーザ300は、第1絶縁層310と、第2絶縁層320と、接続パターン330とを含む。
【0017】
第1絶縁層310及び第2絶縁層320は、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、BT樹脂等の絶縁物質で形成された層であって、具体的には、PPG(prepreg)、build up film(ex.Ajinomoto Build up Film)の材料で形成されることができる。この第1絶縁層310及び第2絶縁層320には、ガラス繊維等の補強材や無機フィラー(例えば、シリカ)が含有されることができる。
【0018】
第1絶縁層310と第2絶縁層320は上下に積層され、第1絶縁層310と第2絶縁層320とは接着部材Aにより付着されることができる。接着部材Aとしては、ダイアタッチフィルム(die attach film DAF)、テープ(tape)を用いることができる。
【0019】
一方、本明細書においては、第2絶縁層320が第1絶縁層310の下側に積層されたことを前提にして説明し、インターポーザ300の上側に第1基板100が位置し、インターポーザ300の下側に第2基板200が位置することに説明する。しかし、ここでの「上下」は、プリント回路基板においての構成間の位置関係を説明するために任意に設定したものである。
【0020】
第1絶縁層310の厚さは、第2絶縁層320の厚さよりも厚く形成されることができる。ここで、「厚さ」は、第1基板100と第2基板200とを接続する方向での厚さを意味する。第1絶縁層310の厚さは、第1基板100と第2基板200との間の距離に応じて(または第1電子素子E1及び第2電子素子E2の厚さに応じて)決定することができ、第2絶縁層320は第1絶縁層310よりも薄く形成され、後述する貫通ビア340の形成を容易にすることができる。
【0021】
第1絶縁層310は、上面と下面とを有する。
図10を参照すると、第1絶縁層310の横断面積は、第1絶縁層310の上面から下面に行くほど大きくなることができる。第1絶縁層310の側面の傾きは、第1絶縁層310の下面に対して45°以上90°未満であってもよい。第1絶縁層310において互いに向かい合う両側面の傾きはすべて第1絶縁層310の下面に対して45°以上90°未満であってもよいが、第1絶縁層310の一側面、特に後述する第1接続パターン331の形成される一側面の傾きのみ第1絶縁層310の下面に対して45°以上90°未満であってもよい。このように第1絶縁層310の側面が傾いている場合、第1接続パターン331の形成が容易になることができる。一方、第1絶縁層310の側面の傾きが第1絶縁層310の下面に対して垂直(90°)であってもよい。つまり、第1絶縁層310の側面の第1絶縁層310の下面に対する傾きは、45°以上90°以下であることができる。
【0022】
第2絶縁層320も上面と下面とを有する。第2絶縁層320は、第1絶縁層310の下に積層されるので第1絶縁層310の下面は第2絶縁層320の上面に接合される。
【0023】
ここで、第2絶縁層320の上面の一部は、第1絶縁層310によりカバーされず、露出する。
図1及び
図2に示すように、第2絶縁層320の横断面積が第1絶縁層310の横断面積よりも大きくてもよい。また、第1絶縁層310の一側面は第2絶縁層320の一側面と同一面上にあり、第2絶縁層320の他の側面は第1絶縁層310の他の側面よりも突出することができる。一方、第2絶縁層320の上面のうちの露出した領域の面積は、第1絶縁層310の上面の面積よりも小さいことが可能である。
【0024】
第1絶縁層310の上面には、第1パッド311が形成される。第1パッド311は、第1基板100に接合される。
【0025】
第2絶縁層320の上面には、第2パッド321が形成される。ただし、第2パッド321は第2絶縁層320の上面のうちの露出した領域に形成される。第1パッド311及び第2パッド321の大きさは制限されないが、第1絶縁層310の上面及び第2絶縁層320の露出した上面の面積に応じて決定されることができる。第1絶縁層310の上面の面積が第2絶縁層320の露出した上面の面積よりも大きい場合、第1パッド311の大きさが第2パッド321の大きさよりも大きいことが可能である。
【0026】
第2絶縁層320の下面には第3パッド322が形成されることができる。第3パッド322は第2パッド321に電気的に接続される。第3パッド322は第2基板200に接合されることができる。この場合、第3パッド322と第2基板200との間には低融点金属部材が介在されてもよい(図示せず)。
【0027】
一方、第3パッド322の大きさは第2パッド321の大きさと略同一であってもよい。
【0028】
図2及び
図3を参照すると、第2絶縁層320には貫通ビア340が形成されることができ、第2パッド321と第3パッド322とは貫通ビア340を介して接続されることができる。すなわち、貫通ビア340は、第2絶縁層320の露出した上面から第2絶縁層320の下面まで貫通し、貫通ビア340の両端に第2パッド321及び第3パッド322がそれぞれ形成されることができる。
図3に示すように、貫通ビア340の縦断面は、第2絶縁層320の上面から下面に行くほど幅が大きくなる正台形の形状を有することができる。したがって、第2絶縁層320の上面においての貫通ビア340の面積は、第2絶縁層320の下面においての貫通ビア340の面積よりも小さい。これとは異なって、貫通ビア340の縦断面は長方形の形状を有することができる。すなわち、貫通ビア340の横断面積は、第2絶縁層320の上面から下面に行くほど一定であることができる。
【0029】
図2及び
図3に示すように、第2絶縁層320の下面には、第4パッド323及び伝導パターン324が形成されることができる。第4パッド323と第3パッド322とは伝導パターン324により接続される。
【0030】
第4パッド323の位置は、第1パッド311の位置に対応して形成されることができ、具体的に、第4パッド323を第2絶縁層320の上面に投影したとき、投影された第4パッド323は第1絶縁層310の下面と重なり、さらに、第1パッド311及び第4パッド323を第2絶縁層320の上面に投影したとき、投影された第1パッド311及び第4パッド323が互いに重なることができる。
【0031】
第4パッド323の大きさは、第2パッド321、第3パッド322の大きさよりも大きいことが可能である。また、第4パッド323の大きさは、第1パッド311の大きさと略同一であってもよい。
【0032】
第4パッド323は、第2基板200に接合されることができる。この場合、第4パッド323と第2基板との間には低融点金属部材Sを介在してもよい。すなわち、
図4及び
図5に示すように、第4パッド323の下に低融点金属部材Sが形成されることができる。
【0033】
つまり、第3パッド322のみ存在し、第4パッド323がない場合は、第3パッド322が第2基板200に接合(第3パッド322の下に低融点金属部材が形成される)され、第3パッド322及び第4パッド323がすべて存在する場合は、第4パッド323が第2基板200に接合(第4パッド323の下に低融点金属部材Sが形成される)されることができる。
【0034】
図20は、第2絶縁層320の上面320a及び下面320c、そしてその間に介在された側面320bを模式的に示した図であって、第2絶縁層320の上面320a、側面320b及び下面320cを展開図のように広げたものである。
【0035】
図20の(a)は、第2パッド321と第3パッド322とが貫通ビア340を介して接続されており、第4パッド323はない例を示したものである。
図20の(b)は、第2パッド321と第3パッド322とが貫通ビア340を介して接続され、第4パッド323と第3パッド322とが伝導パターン324を介して接続された例を示したものである。(a)の場合は、第3パッド322に低融点金属部材が結合でき、(b)の場合は、第4パッド323に低融点金属部材が結合される。
【0036】
伝導パターン324は、導体で形成され、第3パッド322と第4パッド323とを電気的に接続する電気信号伝達路である。第3パッド322と第4パッド323とが離隔して形成される場合、伝導パターン324が要求される。
【0037】
接続パターン330は、上記第1パッド311と上記第2パッド321とが接続されるように、第1絶縁層310及び/または第2絶縁層320の表面に沿って形成される電気信号伝達路である。
【0038】
接続パターン330は、第1接続パターン331を含むことができる。第1接続パターン331は、第1絶縁層310の側面に形成されるパターンである。第1パッド311及び第2パッド321が第1絶縁層310の側面に非常に近く形成される場合は、接続パターン330が第1接続パターン331を含み、第1接続パターン331の両端に第1パッド311及び第2パッド321が直接接続することができる。
【0039】
第1接続パターン331は、第1基板100と第2基板200とを接続する方向に延長するので、第1基板100及び第2基板200に対して垂直に形成されることができるが、必ずしも垂直である必要はなく、必要によって斜めに形成されることができる。
【0040】
一方、接続パターン330は、第1接続パターン331だけでなく、第2接続パターン332及び/または第3接続パターン333をさらに含むことができる。第2接続パターン332は、第1絶縁層310の上面に形成され、第3接続パターン333は、第2絶縁層320の露出した上面に形成される。接続パターン330が、第1接続パターン331、第2接続パターン332及び第3接続パターン333をすべて含む場合は、第1パッド311−第2接続パターン332−第1接続パターン331−第3接続パターン333−第2パッド321の経路に電気信号が伝達されることができる。この経路は、途中で切れずに連続して形成される。
【0041】
図2及び
図4には、接続パターン330が、第1接続パターン331、第2接続パターン332及び第3接続パターン333をすべて含んでいる。しかし、接続パターン330は、上述したように、第1接続パターン331のみを含むことが可能であり、第1接続パターン331以外に第2接続パターン332または第3接続パターン333のうちのいずれか1つのみを含むことも可能である。
図6から
図9には、接続パターン330が第1接続パターン331及び第2接続パターン332のみを含んでいる。
【0042】
一方、
図21を参照すると、様々な接続パターン330が示されている。
図21には、第1絶縁層310の上面310a、側面310b及び第2絶縁層320の上面320aが広げられた展開図のように示されている。(a)は、接続パターン330が第1接続パターン331のみを含む場合を、(b)は、接続パターン330が第1接続パターン331及び第2接続パターン332を含む場合を、(c)は、接続パターン330が第1接続パターン331及び第3接続パターン333を含む場合を、(d)は、接続パターン330が第1接続パターン331、第2接続パターン332及び第3接続パターン333をすべて含む場合をそれぞれ示している。
【0043】
第1パッド311及び第2パッド321はそれぞれ複数形成されることができる。接続パターン330も複数形成されることができる。この場合、第1パッド311と第2パッド321の個数は同数であり、それぞれの接続パターン330は、第1パッド311と第2パッド321とを一対一で接続することが可能である。一方、この複数の接続パターン330は、互いに平行に配置されることができる。
【0044】
図6及び
図7に示すように、インターポーザ300は、複数のブロック(block)で構成可能であり、この複数のブロックは、第1基板100と第2基板200との間の縁に配置されることができる。この場合、複数のブロックにより内側に空間が形成される。
【0045】
図6に示すように、第2絶縁層320の露出した上面は、内側の上記空間に位置することができ、この場合、接続パターン330も第1絶縁層310の内側面に形成される。
【0046】
一方、
図7に示すように、第2絶縁層320の露出した上面が第1絶縁層310の外側に位置することができ、この場合、接続パターン330は第1絶縁層310の外側面に形成される。ただし、
図6と
図7とが結合し、複数のブロックのうちのいくつかは、第2絶縁層320の露出した上面が第1絶縁層310の内側にあり、複数のブロックのうちの残りは、第2絶縁層320の露出した上面が第1絶縁層310の外側にあることも可能である。
【0047】
図8及び
図9を参照すると、第1絶縁層310は第1キャビティC1を含むことができ、第2絶縁層320は第2キャビティC2を含むことができる。第1キャビティC1は、第1絶縁層310の内側に形成され、第2キャビティC2は、第2絶縁層320の内側に形成され、第1キャビティC1と第2キャビティC2とは互いに連通することができる。第1キャビティC1の大きさは、第2キャビティC2の大きさよりも大きいか、または同一であることができる。
【0048】
第1キャビティC1及び第2キャビティC2を含むインターポーザ300において、第1絶縁層310及び第2絶縁層320は、第1基板100と第2基板200との間の縁に配置されることができる。
【0049】
図8に示すように、第2絶縁層320の露出した上面は、第1キャビティC1を介して露出することができる。すなわち、第2絶縁層320は、第1絶縁層310の内側に突出し、第2絶縁層320の露出した上面が第1絶縁層310の内側に位置することができる。
【0050】
または、
図9に示すように、第2絶縁層320の露出した上面は、第1絶縁層310の外側に位置することができる。この場合、第2絶縁層320は、第1絶縁層310の外側に突出する。
【0051】
以下では、上述したインターポーザを含むプリント回路基板について説明する。
【0052】
図11から
図16を参照すると、本発明の実施例に係るプリント回路基板は、第1基板100と、第2基板200と、インターポーザ300とを含む。
【0053】
第1基板100及び第2基板200は、互いに上下に離隔して配置され、複層構造、スタック構造、サンドイッチ構造を形成する。具体的に、第1基板100の一面と第2基板200の一面とが対向するように、第1基板100と第2基板200とが離隔して配置される。
【0054】
第1基板100及び第2基板200のそれぞれは、板状であり、複数の絶縁材層と複数の回路層とで構成された多層基板であってもよく、回路層を基準にして8層または10層の多層基板であってもよい。
【0055】
第1基板100及び第2基板200の絶縁材層は、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、BT樹脂、LCP(Liquid Crystal Polymer)等の絶縁物質で形成された層である。回路層は、銅(Cu)のような金属等の伝導性物質で形成され、特定パターンを有するように設計される。回路層は、絶縁材層の片面または両面に形成され、互いに異なる層の回路層は、絶縁材層を貫通するビア導体を介して電気的に接続されることができる。
【0056】
第1基板100の一面には複数の第1電子素子E1が実装される。ここで、第1電子素子E1は、能動素子、受動素子、集積回路等を含むことができ、種類に制限はない。また、第1基板100の他面には複数の第3電子素子E3が実装されることができる。
【0057】
第1基板100の一面には第1端子110が備えられる。第1端子110は、回路層を介して第1電子素子E1及び/または第3電子素子E3に電気的に接続されることができる。特に、第1端子110と第3電子素子E3とは回路層だけではなく、第1基板100を貫通して形成されるビア導体を介して接続される。
【0058】
第1端子110は、第1基板100の一面側の最外層に位置した回路層の一部であってもよい。具体的に、第1端子110は、第1基板100の最外層の絶縁材層に形成され、ソルダーレジストでカバーされた回路層の一部であってソルダーレジストの開口を介して露出されたものであることができる。
【0059】
第1端子110は、低融点金属部材Sを介して第1パッド311と結合することができる。よって、第1端子110及び第1パッド311の位置は互いに対応することができ、第1端子110の個数と第1パッド311の個数は同数であってもよい。
【0060】
第2基板200の一面には複数の第2電子素子E2が実装される。ここで、第2電子素子E2は、能動素子、受動素子、集積回路などを含むことができ、種類に制限はない。
【0061】
また、第2基板200の一面には、第2端子210が備えられる。第2端子210は、回路層を介して第2電子素子E2に電気的に接続されることができる。
【0062】
第2端子210は、第2基板200の一面側の最外層に位置した回路層の一部であってもよい。具体的に、第2端子210は、第2基板200の最外層の絶縁材層に形成され、ソルダーレジストでカバーされた回路層の一部であってソルダーレジストの開口を介して露出されたものであることができる。
【0063】
第2端子210は、低融点金属部材Sを介して第3パッド322または第4パッド323と結合することができる。よって、第2端子210と第3パッド322(または第4パッド323)の位置は互いに対応することができ、第2端子210の個数と第3パッド322(または第4パッド323)の個数が互いに同数であってもよい。
【0064】
第1基板100の一面と第2基板200の一面とが互いに向かい合い、第1端子110と第2端子210とが互いに向かい合う。ここで、第1端子110と第2端子210の位置は互いに対応しており、具体的に、第1端子110と第2端子210とを連結する線(例えば、第1端子110及び第2端子210の各中心を結ぶ線)が、第1基板100及び第2基板200のそれぞれと垂直をなすことができる。ただし、第1端子110と第2端子210との位置が正確に一致せず、互いに連結できる範囲内で第1端子110と第2端子210との位置がずれてもよい。すなわち、第1端子110と第2端子210とを連結する線(例えば、第1端子110及び第2端子210の各中心を結ぶ線)が、第1基板100及び第2基板220に対して斜線となることができる。
【0065】
一方、第1端子110及び第2端子210のそれぞれは複数形成可能であり、複数の第1端子110と複数の第2端子210とは一つずつ互いに対応して形成されることができる。また、第1端子110及び第2端子210の個数により第1パッド311から第4パッド323の個数も決定できる。
【0066】
インターポーザ300は、第1基板100と第2基板200との間に介在される。すなわち、インターポーザ300は、第1基板100の一面及び第2基板200の一面両方ともに結合され、第1基板100と第2基板200との離隔状態は、インターポーザ300により維持できる。
【0067】
図11を参照すると、インターポーザ300は、複数のブロック(block)で構成されることができ、この複数のブロックは、第1基板100と第2基板200との間の縁に配置されることができる。この場合、複数のブロックにより内側に空間が形成される。
【0068】
図13に示すように、上記空間内に第1電子素子E1及び第2電子素子E2が挿入されることができる。
【0069】
図11に示すように、インターポーザ300において第2絶縁層320の露出した上面は、内側の上記空間に位置することができ、この場合、接続パターン330も第1絶縁層310の内側面に形成される。
【0070】
図12を参照すると、インターポーザ300において第1絶縁層310は、第1キャビティC1を含むことができ、第2絶縁層320は、第2キャビティC2を含むことができる。第1キャビティC1は、第1絶縁層310の内側に形成され、第2キャビティC2は、第2絶縁層320の内側に形成されて、第1キャビティC1と第2キャビティC2とは互いに連通することができる。第1キャビティC1の大きさは第2キャビティC2の大きさよりも大きいことが可能である。
【0071】
第1キャビティC1及び第2キャビティC2を含むインターポーザ300において、第1絶縁層310及び第2絶縁層320は、第1基板100と第2基板200との間の縁に配置されることができる。この場合、第1キャビティC1及び第2キャビティC2内に第1電子素子E1及び第2電子素子E2を挿入することができる(
図13参照)。
【0072】
図12に示すように、第2絶縁層320の露出した上面は第1キャビティC1を介して露出されることができる。すなわち、第2絶縁層320は、第1絶縁層310の内側に突出し、第2絶縁層320の露出した上面が第1絶縁層310の内側に位置することができる。
【0073】
図14を参照すると、インターポーザ300は、複数のブロック(block)で構成されることができ、この複数のブロックは、第1基板100と第2基板200との間の縁に配置されることができる。この場合、複数のブロックにより内側に空間が形成される。
【0074】
図16に示すように、上記空間内に第1電子素子E1及び第2電子素子E2が挿入されることができる。
【0075】
図14に示すように、インターポーザ300において第2絶縁層320の露出した上面は、第1絶縁層310の外側に位置することができ、この場合、接続パターン330も第1絶縁層310の外側面に形成される。
【0076】
図15を参照すると、インターポーザ300において第1絶縁層310は、第1キャビティC1を含むことができ、第2絶縁層320は、第2キャビティC2を含むことができる。第1キャビティC1は、第1絶縁層310の内側に形成され、第2キャビティC2は、第2絶縁層320の内側に形成されて、第1キャビティC1と第2キャビティC2とは互いに連通することができる。第1キャビティC1の大きさは第2キャビティC2の大きさと同一であることができる。
【0077】
第1キャビティC1及び第2キャビティC2を含むインターポーザ300において、第1絶縁層310及び第2絶縁層320は、第1基板100と第2基板200との間の縁に配置されることができる。この場合、第1キャビティC1及び第2キャビティC2内に第1電子素子E1及び第2電子素子E2を挿入することができる(
図16参照)。
【0078】
図15に示すように、第2絶縁層320の露出した上面は、第1絶縁層310の外側に位置することができる。この場合、第2絶縁層320は、第1絶縁層310の外側に突出する。
【0079】
以下では、インターポーザを形成する方法について説明する。
【0080】
図17から
図19は、本発明の実施例に係るインターポーザの製造方法を示す図である。
【0081】
図17の(a)及び(b)は、第1絶縁層310の形状を加工した後、加工された第1絶縁層310を第2絶縁層320に付着する段階である。第1絶縁層310と第2絶縁層320との付着は、DAF等の接着部材Aにより行われることができる。
【0082】
図17の(c)は、第1絶縁層310の表面及び第2絶縁層320の表面にドライフィルム等の感光性フィルムを付着する段階である。
【0083】
図17の(d)は、付着された感光性フィルムに露光を行う段階であり、ここで露光が行われた後に現像過程を行うことができる。ただし、感光性フィルムに露光を行う際には、感光性フィルムにマスク(mask)をカバーして必要な部分にのみ露光が行われるようにする。例えば、感光性フィルムがポジ型(positive type)である場合、露光された領域が現像により除去され、感光性フィルムがネガ型(negative type)である場合、露光されていない領域が現像により除去される。このような露光及び現像過程により感光性フィルムには開口が形成される。
【0084】
図17の(e)では、感光性フィルムに形成された開口内にメッキ層を形成し、第1パッド311、接続パターン330、第2パッド321を形成する。
【0085】
図17の(f)では、第2絶縁層320にビアホールVHを形成する。ビアホールVHは、第2パッド321と当接することができる。ビアホールVHは、レーザ加工、フォトリソグラフィ工程、ビットドリル等の方法により形成可能である。一方、
図17の(f)に示すように、第1絶縁層310と第2絶縁層320とを上下反転させ、第2絶縁層320の下面からビアホールVHを加工すると、第1絶縁層310と第2絶縁層320とを原位置に戻したとき、ビアホールVHの横断面積が第2絶縁層320の上面から下面に行くほど大きくなることができる。
【0086】
図17の(g)は、ビアホールVH内にメッキ層を形成して、第3パッド322、第4パッド323及び伝導パターン324を形成する段階である。第3パッド322、第4パッド323及び伝導パターン324を形成する際には、上述した感光性フィルムが同様に使用されることができる。
【0087】
図17の(h)は、第2絶縁層320を加工する段階である。第2絶縁層320は、必要な大きさに切断されることができる。
【0088】
上述した過程を経て製造されたインターポーザは、
図2に示されている。
【0089】
図18の(a)及び(b)は、第1絶縁層310の形状を加工した後、加工された第1絶縁層310を第2絶縁層320に付着する段階である。第1絶縁層310と第2絶縁層320との付着は、DAF等の接着部材Aにより行われることができる。一方、第1絶縁層310の内側に第1キャビティC1が形成された後に、第1キャビティC1を備えた第1絶縁層310を第2絶縁層320に付着することができる。
【0090】
図18の(c)は、第1絶縁層310の表面及び第2絶縁層320の表面に、ドライフィルム等の感光性フィルムを付着する段階である。
【0091】
図18の(d)は、付着された感光性フィルムに露光を行う段階であり、ここで露光が行われた後に、現像過程を行うことができる。ただし、感光性フィルムに露光を行う際には、感光性フィルムにマスク(mask)をカバーし、必要な部分にのみ露光が行われるようにする。例えば、感光性フィルムがポジ型(positive type)である場合は、露光された領域が現像により除去され、感光性フィルムがネガ型(negative type)である場合は、露光されていない領域が現像により除去される。この露光及び現像過程により感光性フィルムには開口が形成される。
【0092】
図18の(e)では、感光性フィルムに形成された開口内にメッキ層を形成して、第1パッド311、接続パターン330、第2パッド321を形成する。ここで接続パターン330は、第1絶縁層310の外側面には形成されず、第1絶縁層310の内側面に形成される。
【0093】
図18の(f)では、第2絶縁層320にビアホールVHを形成する。ビアホールVHは、第2パッド321と当接することができる。ビアホールVHは、レーザ加工、フォトリソグラフィ工程、ビットドリル等の方法で形成可能である。一方、
図18の(f)に示すように、第1絶縁層310と第2絶縁層320とを上下反転させ、第2絶縁層320の下面からビアホールVHを加工すると、第1絶縁層310と第2絶縁層320とを原位置に戻したとき、ビアホールVHの横断面積が第2絶縁層320の上面から下面に行くほど大きくなることができる。
【0094】
図18の(g)は、ビアホールVH内にメッキ層を形成し、第3パッド322、第4パッド323及び伝導パターン324を形成する段階である。第3パッド322、第4パッド323及び伝導パターン324を形成するとき、上述した感光性フィルムが同様に使用されることができる。
【0095】
図18の(h)は、第2絶縁層320を加工する段階である。第2絶縁層320の内側には第2キャビティC2が形成される。また第2絶縁層320の外郭も、必要によって切断されることができる。
【0096】
上述した過程を経て製造されたインターポーザは、
図8に示されている。
【0097】
図19の(a)及び(b)は、第1絶縁層310の形状を加工した後、加工された第1絶縁層310を第2絶縁層320に付着する段階である。第1絶縁層310と第2絶縁層320との付着は、DAF等の接着部材Aにより行われることができる。一方、第1絶縁層310の内側に第1キャビティC1を形成した後に、第1キャビティC1を備えた第1絶縁層310を第2絶縁層320に付着することができる。
【0098】
図19の(c)は、第1絶縁層310の表面及び第2絶縁層320の表面にドライフィルム等の感光性フィルムを付着する段階である。
【0099】
図19の(d)は、付着された感光性フィルムに露光を行う段階であり、ここで露光が行われた後に現像過程が行われることができる。ただし、感光性フィルムに露光を行う際には、感光性フィルムにマスク(mask)をカバーし、必要な部分にのみ露光が行われるようにする。例えば、感光性フィルムがポジ型(positive type)である場合は、露光された領域が現像により除去され、感光性フィルムがネガ型(negative type)である場合は、露光されていない領域が現像により除去される。この露光及び現像過程により感光性フィルムには開口が形成される。
【0100】
図19の(e)では、感光性フィルムに形成された開口内にメッキ層を形成して、第1パッド311、接続パターン330、第2パッド321を形成する。ここで接続パターン330は、第1絶縁層310の内側面には形成されず、第1絶縁層310の外側面に形成される。
【0101】
図19の(f)では、第2絶縁層320にビアホールVHが形成される。ビアホールVHは、第2パッド321と当接することができる。ビアホールVHは、レーザ加工、フォトリソグラフィ工程、ビットドリル等の方法で形成可能である。一方、
図19の(f)に示すように、第1絶縁層310と第2絶縁層320とを上下反転させ、第2絶縁層320の下面からビアホールVHを加工すると、第1絶縁層310と第2絶縁層320とを原位置に戻したとき、ビアホールVHの横断面積が第2絶縁層320の上面から下面に行くほど大きくなることができる。
【0102】
図19の(g)は、ビアホールVH内にメッキ層を形成し、第3パッド322、第4パッド323及び伝導パターン324を形成する段階である。第3パッド322、第4パッド323及び伝導パターン324を形成する際に、上述した感光性フィルムが同様に使用されることができる。
【0103】
図19の(h)は、第2絶縁層320を加工する段階である。第2絶縁層320の内側には第2キャビティC2が形成される。
【0104】
上述した過程を経て製造されたインターポーザは、
図9に示されている。
【0105】
以上、本発明の一実施例について説明したが、当該技術分野で通常の知識を有する者であれば特許請求の範囲に記載した本発明の思想から逸脱しない範囲内で、構成要素の付加、変更、削除または追加等により本発明を様々に修正及び変更することができ、これも本発明の権利範囲内に含まれるものといえよう。