特開2019-194353シリコンヒドロハライド前駆体を用いたＳｉＮのプラズマエンハンスト原子層堆積（ＰＥＡＬＤ）

発明の名称　シリコンヒドロハライド前駆体を用いたＳｉＮのプラズマエンハンスト原子層堆積（ＰＥＡＬＤ）

出願人　エーエスエム　アイピー　ホールディング　ビー．ブイ．　（識別番号 512144771）

　　　　特許公開件数ランキング 15681 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 13301 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2019-194353

公報発行日　2019年11月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2019-194353

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