特開2019-194353(P2019-194353A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2019-194353シリコンヒドロハライド前駆体を用いたＳｉＮのプラズマエンハンスト原子層堆積（ＰＥＡＬＤ）
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