特開 2019-197811 個片体形成装置および個片体形成方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2019-197811(P2019-197811A)

(43)【公開日】2019年11月14日

(54)【発明の名称】個片体形成装置および個片体形成方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20191018BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20191018BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/78 V

   H01L21/68 N

   H01L21/78 M

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】17

(21)【出願番号】特願2018-90983(P2018-90983)

(22)【出願日】2018年5月9日

(71)【出願人】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【テーマコード（参考）】

5F063

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F063AA02

5F063AA18

5F063BA42

5F063BA48

5F063BB16

5F063CB07

5F063CB28

5F063DD27

5F063DD58

5F063DD81

5F063DD83

5F063DD85

5F063DG23

5F063DG26

5F063DG27

5F063DG36

5F063EE07

5F063EE08

5F063EE22

5F063EE27

5F063EE31

5F063EE41

5F063EE42

5F063EE43

5F063EE44

5F063EE45

5F063EE50

5F063FF01

5F063FF05

5F063FF42

5F131AA02

5F131BA52

5F131BA53

5F131CA09

5F131CA18

5F131DB02

5F131DB22

5F131DB52

5F131DB62

5F131DB72

5F131DB76

5F131DB87

5F131DB92

5F131EA07

5F131EB01

5F131EC33

5F131EC34

5F131EC37

5F131EC63

5F131EC73

(57)【要約】

【課題】接着シートに張力を極力付与することなく被着体を個片化して個片体を形成する技術を提供する。
【解決手段】個片体形成装置ＥＡは、膨張性微粒子ＳＧが添加されている接着シートＡＳを被着体ＷＦに貼付するシート貼付手段１０と、被着体ＷＦに改質部ＭＴを形成し、個片化予定領域ＷＦＰを被着体ＷＦに形成する改質部形成手段２０と、被着体ＷＦに外力を付与し、当該被着体ＷＦを個片化して個片体ＣＰを形成する個片化手段３０とを備え、シート貼付手段１０は、第１膨張性微粒子ＳＧ１が添加された第１接着シートＡＳ１を被着体ＷＦに貼付する第１シート貼付手段１０Ａと、第２膨張性微粒子ＳＧ２が添加された第２接着シートＡＳ２を第１接着シートＡＳ１に重ねて貼付する第２シート貼付手段１０Ｂとを有し、個片化手段３０は、第１エネルギーＩＲを付与する第１個片化手段３０Ａと、第２エネルギーＵＶを付与する第２個片化手段３０Ｂとを備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被着体を個片化して個片体を形成する個片体形成装置において、
所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性微粒子が添加されている接着シートを前記被着体に貼付するシート貼付手段と、
前記被着体に改質部を形成し、当該改質部で囲繞または当該改質部と前記被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域を前記被着体に形成する改質部形成手段と、
前記被着体に外力を付与し、前記改質部を起点として当該被着体に亀裂を形成し、当該被着体を個片化して前記個片体を形成する個片化手段とを備え、
前記シート貼付手段は、第１エネルギーで膨張する第１膨張性微粒子が添加されている第１接着シートを前記被着体に貼付する第１シート貼付手段と、第２エネルギーで膨張する第２膨張性微粒子が添加されている第２接着シートを前記被着体に貼付されている前記第１接着シートに貼付する第２シート貼付手段とを有し、
前記個片化手段は、前記第１エネルギーを付与する第１個片化手段と、前記第２エネルギーを付与する第２個片化手段とを備え、前記第１個片化手段が前記第１接着シートに対して部分的に前記第１エネルギーを付与し、当該第１エネルギーが付与された第１接着シート部分に添加されている前記第１膨張性微粒子を膨張させ、当該第１接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させるとともに、前記第２個片化手段が前記第２接着シートに対して部分的に前記第２エネルギーを付与し、当該第２エネルギーが付与された第２接着シート部分に添加されている前記第２膨張性微粒子を膨張させ、前記第１接着シートを介して当該第２接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させ、前記個片体を形成することを特徴とする個片体形成装置。

【請求項2】

被着体を個片化して個片体を形成する個片体形成装置において、
前記被着体には、改質部が形成され、当該改質部で囲繞または当該改質部と前記被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域が予め形成されており、
所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性微粒子が添加されている接着シートを前記被着体に貼付するシート貼付手段と、
前記被着体に外力を付与し、前記改質部を起点として当該被着体に亀裂を形成し、当該被着体を個片化して前記個片体を形成する個片化手段とを備え、
前記シート貼付手段は、第１エネルギーで膨張する第１膨張性微粒子が添加されている第１接着シートを前記被着体に貼付する第１シート貼付手段と、第２エネルギーで膨張する第２膨張性微粒子が添加されている第２接着シートを前記被着体に貼付されている前記第１接着シートに貼付する第２シート貼付手段とを有し、
前記個片化手段は、前記第１エネルギーを付与する第１個片化手段と、前記第２エネルギーを付与する第２個片化手段とを備え、前記第１個片化手段が前記第１接着シートに対して部分的に前記第１エネルギーを付与し、当該第１エネルギーが付与された第１接着シート部分に添加されている前記第１膨張性微粒子を膨張させ、当該第１接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させるとともに、前記第２個片化手段が前記第２接着シートに対して部分的に前記第２エネルギーを付与し、当該第２エネルギーが付与された第２接着シート部分に添加されている前記第２膨張性微粒子を膨張させ、前記第１接着シートを介して当該第２接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させ、前記個片体を形成することを特徴とする個片体形成装置。

【請求項3】

前記被着体と個片化手段とを相対移動させる移動手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の個片体形成装置。

【請求項4】

前記改質部は、第１方向に沿う第１改質部と、当該第１方向に交差する第２方向に沿う第２改質部とを含み、
前記個片化手段は、前記第１エネルギーを付与した位置に、当該第１エネルギーの付与領域が所定の方向に延びる第１ライン状付与領域を形成し、さらに、前記第２エネルギーを付与した位置に、当該第２エネルギーの付与領域が所定の方向に延びる第２ライン状付与領域を形成し、
前記移動手段は、前記第１ライン状付与領域を前記第１方向と平行となるように移動させ、さらに、前記第２ライン状付与領域を前記第２方向と平行となるように移動させることを特徴とする請求項３に記載の個片体形成装置。

【請求項5】

前記個片化手段によって変位される前の被着体部分が変位することを抑制する変位抑制手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の個片体形成装置。

【請求項6】

被着体を個片化して個片体を形成する個片体形成方法において、
所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性微粒子が添加されている接着シートを前記被着体に貼付するシート貼付工程と、
前記被着体に改質部を形成し、当該改質部で囲繞または当該改質部と前記被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域を前記被着体に形成する改質部形成工程と、
前記被着体に外力を付与し、前記改質部を起点として当該被着体に亀裂を形成し、当該被着体を個片化して前記個片体を形成する個片化工程とを実施し、
前記シート貼付工程では、第１エネルギーで膨張する第１膨張性微粒子が添加されている第１接着シートを前記被着体に貼付する第１シート貼付工程と、第２エネルギーで膨張する第２膨張性微粒子が添加されている第２接着シートを前記被着体に貼付されている前記第１接着シートに貼付する第２シート貼付工程とを実施し、
前記個片化工程では、前記第１エネルギーを付与する第１個片化工程と、前記第２エネルギーを付与する第２個片化工程とを実施し、前記第１個片化工程では、前記第１接着シートに対して部分的に前記第１エネルギーを付与し、当該第１エネルギーが付与された第１接着シート部分に添加されている前記第１膨張性微粒子を膨張させ、当該第１接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させ、前記第２個片化工程では、前記第２接着シートに対して部分的に前記第２エネルギーを付与し、当該第２エネルギーが付与された第２接着シート部分に添加されている前記第２膨張性微粒子を膨張させ、前記第１接着シートを介して当該第２接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させ、前記個片体を形成することを特徴とする個片体形成方法。

【請求項7】

被着体を個片化して個片体を形成する個片体形成方法において、
前記被着体には、改質部が形成され、当該改質部で囲繞または当該改質部と前記被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域が予め形成されており、
所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性微粒子が添加されている接着シートを前記被着体に貼付するシート貼付工程と、
前記被着体に外力を付与し、前記改質部を起点として当該被着体に亀裂を形成し、当該被着体を個片化して前記個片体を形成する個片化工程とを実施し、
前記シート貼付工程では、第１エネルギーで膨張する第１膨張性微粒子が添加されている第１接着シートを前記被着体に貼付する第１シート貼付工程と、第２エネルギーで膨張する第２膨張性微粒子が添加されている第２接着シートを前記被着体に貼付されている前記第１接着シートに貼付する第２シート貼付工程とを実施し、
前記個片化工程では、前記第１エネルギーを付与する第１個片化工程と、前記第２エネルギーを付与する第２個片化工程とを実施し、前記第１個片化工程では、前記第１接着シートに対して部分的に前記第１エネルギーを付与し、当該第１エネルギーが付与された第１接着シート部分に添加されている前記第１膨張性微粒子を膨張させ、当該第１接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させ、前記第２個片化工程では、前記第２接着シートに対して部分的に前記第２エネルギーを付与し、当該第２エネルギーが付与された第２接着シート部分に添加されている前記第２膨張性微粒子を膨張させ、前記第１接着シートを介して当該第２接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させ、前記個片体を形成することを特徴とする個片体形成方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、個片体形成装置および個片体形成方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、被着体に形成した改質部を起点とし、当該被着体を個片化して個片体を形成する個片体形成装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００７−２１４４５７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載された従来のウェーハ加工装置（個片体形成装置）では、ウェーハＷ（被着体）に貼付したダイシングテープ２２（接着シート）を引っ張ることで当該被着体に張力を付与し、改質領域Ｋ（改質部）を起点にした個片化を行ってチップＴ（個片体）を形成するため、接着シートが破損したり、当該接着シートがフレームＦや接着シート保持手段等から外れたりするといった不具合が起り、個片体を形成できなくなるという不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、接着シートに張力を極力付与することなく被着体を個片化して個片体を形成することができる個片体形成装置および個片体形成方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、接着シートに添加されている膨張性微粒子を膨張させることで、個片化予定領域を変位させて個片体を形成するので、接着シートに張力を極力付与することなく被着体を個片化して個片体を形成することができる。
また、移動手段を備えれば、変位させたい個片化予定領域に個片化手段を移動させて個片体を形成することができる。
さらに、移動手段が、第１ライン状付与領域を第１方向と平行となるように移動させ、さらに、第２ライン状付与領域を第２方向と平行となるように移動させるように構成すれば、例えば、第１方向に沿う２つの辺と、第２方向に沿う２つの辺とで囲まれた四角形の個片体を形成することができる。
また、変位抑制手段を備えれば、変位する個片化予定領域と共に、隣接する個片化予定領域も一緒に変位し、改質部を起点とした亀裂の形成ができなくなることを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の実施形態に係る個片体形成装置の説明図。

【図2】（Ａ）〜（Ｄ）は、上記個片体形成装置の動作説明図。

【図3】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の変形例の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、図１（Ａ）に示すＹ軸と平行な矢印ＢＤ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

本発明の個片体形成装置ＥＡは、被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦを個片化して個片体としての半導体チップ（以下、単に「チップ」ともいう）ＣＰを形成する装置であって、所定のエネルギーＥＧが付与されることで膨張する膨張性微粒子ＳＧが添加されている接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付するシート貼付手段１０と、ウエハＷＦに改質部ＭＴを形成し、当該改質部ＭＴで囲繞された個片化予定領域ＷＦＰをウエハＷＦに形成する改質部形成手段２０と、ウエハＷＦに外力を付与し、改質部ＭＴを起点として当該ウエハＷＦに亀裂ＣＫを形成し、当該ウエハＷＦを個片化してチップＣＰを形成する個片化手段３０と、ウエハＷＦと個片化手段３０とを相対移動させる移動手段４０と、個片化手段３０によって変位される前のウエハＷＦ部分が変位することを抑制する変位抑制手段５０と、ウエハＷＦを搬送するウエハ搬送手段６０とを備えている。

【0011】

シート貼付手段１０は、第１エネルギーとしての赤外線ＩＲで膨張する第１膨張性微粒子ＳＧ１が添加されている第１接着シートＡＳ１をウエハＷＦに貼付する第１シート貼付手段１０Ａと、第２エネルギーとしての紫外線ＵＶで膨張する第２膨張性微粒子ＳＧ２が添加されている第２接着シートＡＳ２をウエハＷＦに貼付されている第１接着シートＡＳ１に貼付する第２シート貼付手段１０Ｂと、第１、第２シート貼付手段１０Ａ、１０ＢとウエハＷＦとを相対移動させるシート貼付用移動手段１０Ｃとを備えている。
なお、第１接着シートＡＳ１は、第１基材ＢＳ１と第１接着剤層ＡＬ１とを備え、第１剥離シートＲＬ１に仮着されることで第１原反ＲＳ１とされ、第１接着剤層ＡＬ１のみに第１膨張性微粒子ＳＧ１が添加されたものが採用されている。また、第２接着シートＡＳ２は、第２基材ＢＳ２と第２接着剤層ＡＬ２とを備え、第２剥離シートＲＬ２に仮着されることで第２原反ＲＳ２とされ、第２接着剤層ＡＬ２のみに第２膨張性微粒子ＳＧ２が添加されたものが採用されている。

【0012】

第１シート貼付手段１０Ａは、第１原反ＲＳ１を支持する支持ローラ１１と、第１原反ＲＳ１を案内するガイドローラ１２と、剥離縁１３Ａで第１剥離シートＲＬ１を折り曲げて当該第１剥離シートＲＬ１から第１接着シートＡＳ１を剥離する剥離手段としての剥離板１３と、ウエハＷＦに第１接着シートＡＳ１を押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで第１剥離シートＲＬ１を挟み込む駆動ローラ１５と、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する第１剥離シートＲＬ１に常に所定の張力を付与して当該第１剥離シートＲＬ１を回収する回収手段としての回収ローラ１６とを備えている。
第２シート貼付手段１０Ｂは、第２原反ＲＳ２から第２接着シートＡＳ２を剥離して当該第２接着シートＡＳ２をウエハＷＦに貼付された第１接着シートＡＳ１に押圧して貼付するものであり、その構成は、第１シート貼付手段１０Ａと同等なので、その説明は省略する。
シート貼付用移動手段１０Ｃは、駆動機器としてのリニアモータ１７のスライダ１７Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面１８Ａを有するウエハ搬送テーブル１８と、ウエハ搬送テーブル１８内に配置され、リフト台１９Ａを昇降させる駆動機器としての直動モータ１９とを備えている。なお、リフト台１９Ａは、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面１９Ｂを備えている。

【0013】

改質部形成手段２０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム２１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット２１と、多関節ロボット２１の先端アーム２１Ａが嵌り込み、当該多関節ロボット２１に保持されるレーザ保持部２２Ａを有するレーザ用ブラケット２２と、レーザ用ブラケット２２に支持され、ウエハＷＦにレーザＬＳを照射し、改質部ＭＴを形成するレーザ照射機２３とを備え、第１方向としてのＹ軸方向に沿う第１改質部ＭＴＹと、Ｙ軸方向に交差する第２方向としてのＸ軸方向に沿う第２改質部ＭＴＸとを形成し、第１改質部ＭＴＹと第２改質部ＭＴＸとで囲繞された個片化予定領域ＷＦＰを形成するように構成されている。なお、多関節ロボット２１は、例えば、特開２０１６−８１９７４に例示されている多関節ロボット１１１等が例示できる。

【0014】

個片化手段３０は、赤外線ＩＲを付与する第１個片化手段３０Ａと、紫外線ＵＶを付与する第２個片化手段３０Ｂと、赤外線ＩＲおよび紫外線ＵＶを透過可能な支持テーブル３４とを備えている。なお、支持テーブル３４は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面３４Ａを備えている。
第１個片化手段３０Ａは、移動手段４０に支持された第１光源ボックス３１Ａと、第１光源ボックス３１Ａ内に支持され、赤外線ＩＲを発光する第１発光源３２Ａと、当該第１発光源３２Ａで発光した赤外線ＩＲを集光させる第１集光板３３Ａとを備え、第１接着シートＡＳ１に対して部分的に赤外線ＩＲを付与し、当該赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている第１膨張性微粒子ＳＧ１を膨張させ、当該第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに貼付されている個片化予定領域ＷＦＰを変位させる構成となっている。
第２個片化手段３０Ｂは、移動手段４０に支持された第２光源ボックス３１Ｂと、第２光源ボックス３１Ｂ内に支持され、紫外線ＵＶを発光する第２発光源３２Ｂと、当該第２発光源３２Ｂで発光した紫外線ＵＶを集光させる第２集光板３３Ｂとを備え、第２接着シートＡＳ２に対して部分的に紫外線ＵＶを付与し、当該紫外線ＵＶが付与された第２接着シート部分ＡＳ２Ｐに添加されている第２膨張性微粒子ＳＧ２を膨張させ、第１接着シートＡＳ１を介して当該第２接着シート部分ＡＳ２Ｐに貼付されている個片化予定領域ＷＦＰを変位させる構成となっている。
なお、個片化手段３０は、赤外線ＩＲを付与した位置に、当該赤外線ＩＲの付与領域が所定の方向に延びる第１ライン状付与領域ＬＧ１を形成し、さらに、紫外線ＵＶを付与した位置に、当該紫外線ＵＶの付与領域が所定の方向に延びる第２ライン状付与領域ＬＧ２を形成する構成となっている。

【0015】

移動手段４０は、駆動機器としての回動モータ４１と、その出力軸４１Ａに支持され、第１、第２光源ボックス３１Ａ、３１Ｂをそのスライダ４２Ａで支持する駆動機器としてのリニアモータ４２とを備え、個片化手段３０が形成した第１ライン状付与領域ＬＧ１をＹ軸方向と平行となるように移動させ、さらに、第２ライン状付与領域ＬＧ２をＸ軸方向と平行となるように移動させる構成となっている。

【0016】

変位抑制手段５０は、改質部形成手段２０と共用される多関節ロボット２１と、多関節ロボット２１の先端アーム２１Ａが嵌り込み、当該多関節ロボット２１に保持される押え板保持部５１Ａを有する押え板５１とを備えている。

【0017】

ウエハ搬送手段６０は、改質部形成手段２０および変位抑制手段５０と共用される多関節ロボット２１と、多関節ロボット２１の先端アーム２１Ａが嵌り込み、当該多関節ロボット２１に保持される吸着アーム保持部６１Ａを有し、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持手段としての吸着アーム６１とを備えている。

【0018】

以上の個片体形成装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置された個片体形成装置ＥＡに対し、当該個片体形成装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が図１（Ｂ）のように第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２をそれぞれ第１、第２シート貼付手段１０Ａ、１０Ｂにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して運転開始の信号を入力する。すると、第１、第２シート貼付手段１０Ａ、１０Ｂが各回動モータ１５Ａを駆動し、第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２を繰り出して先頭の第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２の繰出方向先端部が各剥離板１３の剥離縁１３Ａで第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２から所定長さ剥離されると、各回動モータ１５Ａの駆動を停止する。一方、個片体形成装置ＥＡに運転開始の信号が入力されると、ウエハ搬送手段６０が多関節ロボット２１を駆動し、先端アーム２１Ａを吸着アーム保持部６１Ａに嵌め込んで多関節ロボット２１で吸着アーム６１を保持する。

【0019】

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）、（Ｂ）中実線で示すように、ウエハＷＦをウエハ搬送テーブル１８上に載置すると、シート貼付手段１０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面１８Ａ、１９ＢでのウエハＷＦの吸着保持を開始する。その後、シート貼付手段１０がリニアモータ１７を駆動し、ウエハ搬送テーブル１８を左方へ移動させ、ウエハＷＦが第１シート貼付手段１０Ａに対する所定の位置に到達すると、当該第１シート貼付手段１０Ａが回動モータ１５Ａを駆動し、ウエハＷＦの移動速度に合わせて第１原反ＲＳ１を繰り出す。これにより、第１接着シートＡＳ１は、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、剥離板１３の剥離縁１３Ａで第１剥離シートＲＬ１から剥離されつつ、押圧ローラ１４によってウエハＷＦの上面に押圧されて貼付される。第１接着シートＡＳ１全体がウエハＷＦに貼付された後、次の第１接着シートＡＳ１の繰出方向先端部が剥離板１３の剥離縁１３Ａで第１剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、第１シート貼付手段１０Ａが回動モータ１５Ａの駆動を停止する。

【0020】

その後もウエハ搬送テーブル１８の左方への移動が続行され、ウエハＷＦが第２シート貼付手段１０Ｂに対する所定の位置に到達すると、当該第２シート貼付手段１０Ｂが回動モータ１５Ａを駆動し、ウエハＷＦの移動速度に合わせて第２原反ＲＳ２を繰り出す。これにより、第２接着シートＡＳ２は、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、剥離板１３の剥離縁１３Ａで第２剥離シートＲＬ２から剥離されつつ、ウエハＷＦに貼付されている第１接着シートＡＳ１の上面に押圧ローラ１４によって押圧されて貼付される。第２接着シートＡＳ２全体がウエハＷＦに貼付されている第１接着シートＡＳ１に貼付された後、次の第２接着シートＡＳ２の繰出方向先端部が剥離板１３の剥離縁１３Ａで第２剥離シートＲＬ２から所定長さ剥離されると、第２シート貼付手段１０Ｂが回動モータ１５Ａの駆動を停止する。

【0021】

次に、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２全体が貼付されたウエハＷＦが第２シート貼付手段１０Ｂの押圧ローラ１４の左方の所定位置に到達すると、シート貼付手段１０がリニアモータ１７の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面１８ＡでのウエハＷＦの吸着保持を解除する。そして、シート貼付手段１０が直動モータ１９を駆動し、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、リフト台１９Ａを上昇させてウエハＷＦを支持面１８Ａから離間させると、ウエハ搬送手段６０が多関節ロボット２１を駆動し、ウエハＷＦの下面に吸着アーム６１を当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、吸着アーム６１でのウエハＷＦの吸着保持を開始する。次いで、シート貼付手段１０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面１９ＢでのウエハＷＦの吸着保持を解除すると、ウエハ搬送手段６０が多関節ロボット２１を駆動し、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が貼付されたウエハＷＦを支持面１９Ｂから離間させた後、シート貼付手段１０がリニアモータ１７および直動モータ１９を駆動し、ウエハ搬送テーブル１８およびリフト台１９Ａを初期位置に復帰させる。

【0022】

その後、ウエハ搬送手段６０が多関節ロボット２１を駆動し、吸着アーム６１を天地反転させ、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が貼付されたウエハＷＦの第２接着シートＡＳ２側を支持テーブル３４上に載置すると、個片化手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面３４ＡでのウエハＷＦの吸着保持を開始する。次に、ウエハ搬送手段６０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着アーム６１でのウエハＷＦの吸着保持を解除した後、多関節ロボット２１を駆動し、吸着アーム６１を初期位置に復帰させ、先端アーム２１Ａを吸着アーム保持部６１Ａから抜き取り、当該先端アーム２１Ａをレーザ保持部２２Ａに嵌め込んで多関節ロボット２１でレーザ照射機２３を保持する。そして、改質部形成手段２０が多関節ロボット２１およびレーザ照射機２３を駆動し、レーザ照射機２３を前後方向に移動させ、図２（Ａ）に示すように、ウエハＷＦに第１改質部ＭＴＹを形成した後、レーザ照射機２３を左右方向に移動させ、図２（Ｂ）に示すように、ウエハＷＦに第２改質部ＭＴＸを形成し、個片化予定領域ＷＦＰを形成する。次いで、改質部形成手段２０が多関節ロボット２１を駆動し、レーザ照射機２３を初期位置に復帰させた後、先端アーム２１Ａをレーザ保持部２２Ａから抜き取り、当該先端アーム２１Ａを押え板保持部５１Ａに嵌め込んで多関節ロボット２１で押え板５１を保持する。

【0023】

その後、個片化手段３０および移動手段４０が第１発光源３２Ａおよびリニアモータ４２を駆動し、Ｙ軸方向に延びる第１ライン状付与領域ＬＧ１を形成した後、図２（Ｃ）に示すように、第１光源ボックス３１Ａを左方から右方に向けて移動させ、第１ライン状付与領域ＬＧ１をＹ軸方向と平行な状態で移動させる。すると、赤外線ＩＲが付与された第１接着シート部分ＡＳ１Ｐに添加されている第１膨張性微粒子ＳＧ１が同図に示すように次々に膨張し、第１接着剤層ＡＬ１に無数の凸部ＣＶが形成される。これにより、ウエハＷＦは、左方から右方に向けて次々に部分的に持ち上げられて変位し、第１改質部ＭＴＹが起点となってＹ軸方向に延びる亀裂ＣＫＹが形成され、Ｙ軸方向に延びる短冊状のウエハＷＦＳとなる。なお、上記のようにして亀裂ＣＫＹを形成する際、変位抑制手段５０が多関節ロボット２１を駆動し、変位させたくない個片化予定領域ＷＦＰ上に押え板５１を配置させ、改質部ＭＴを起点とした亀裂ＣＫの形成ができなくなることを防止する。

【0024】

次に、第１光源ボックス３１ＡがウエハＷＦの右端部の右方所定位置に到達すると、個片化手段３０および移動手段４０が第１発光源３２Ａおよびリニアモータ４２の駆動を停止した後、移動手段４０が回動モータ４１を駆動し、個片化手段３０をＸＹ平面内で上面視反時計回転方向に９０度回転移動させる。そして、個片化手段３０および移動手段４０が第２発光源３２Ｂおよびリニアモータ４２を駆動し、Ｘ軸方向に延びる第２ライン状付与領域ＬＧ２を形成した後、図２（Ｄ）に示すように、第２光源ボックス３１Ｂを後方から前方に向けて移動させ、第２ライン状付与領域ＬＧ２をＸ軸方向と平行な状態で移動させる。すると、紫外線ＵＶが付与された第２接着シート部分ＡＳ２Ｐに添加されている第２膨張性微粒子ＳＧ２が同図に示すように次々に膨張し、第２接着剤層ＡＬ２に無数の凸部ＣＶが形成される。これにより、短冊状のウエハＷＦＳは、後方から前方に向けて次々に部分的に持ち上げられて変位し、第２改質部ＭＴＸが起点となってＸ軸方向に延びる亀裂ＣＫＸが形成され、当該亀裂ＣＫＸと先に形成されていた亀裂ＣＫＹとで複数のチップＣＰとなる。このときも、変位抑制手段５０が多関節ロボット２１を駆動し、変位させたくない個片化予定領域ＷＦＰを押え板５１で押さえておく。

【0025】

次いで、第２光源ボックス３１ＢがウエハＷＦの前端部の前方所定位置に到達すると、個片化手段３０が第２発光源３２Ｂの駆動を停止した後、移動手段４０が回動モータ４１およびリニアモータ４２を駆動し、第１、第２光源ボックス３１Ａ、３１Ｂを初期位置に復帰させる。その後、変位抑制手段５０が多関節ロボット２１を駆動し、押え板５１を初期位置に復帰させた後、先端アーム２１Ａを押え板保持部５１Ａから抜き取り、当該先端アーム２１Ａを含む各アームを初期位置に復帰させる。次に、ピックアップ装置や保持装置等の図示しないチップ搬送手段や使用者が、全てのチップＣＰまたは所定数のチップＣＰを第１接着シートＡＳ１から取り外し、当該チップＣＰを別の工程に搬送すると、個片化手段３０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面３４Ａでの第２接着シートＡＳ２の吸着保持を解除した後、使用者または図示しない除去手段が支持テーブル３４上から第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を除去し、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0026】

以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳに添加されている膨張性微粒子ＳＧを膨張させることで、個片化予定領域ＷＦＰを変位させてチップＣＰを形成するので、接着シートＡＳに張力を極力付与することなくウエハＷＦを個片化してチップＣＰを形成することができる。

【0027】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、改質部形成手段は、被着体に改質部を形成し、当該改質部で囲繞または当該改質部と被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域を被着体に形成可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0028】

シート貼付手段１０は、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２に仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２とされた第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２に仮着された第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２としてもよいし、支持ローラ１１やガイドローラ１２等の各ローラの代わりに、板状部材やシャフト部材等で第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２や第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２を支持したり案内したりしてもよいし、第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２を巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、回収手段は、巻回することなく例えばファンフォールド折りにして第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２を回収してもよいし、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して回収してもよいし、剥離板１３で剥離された第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を接着面の反対から保持部材で保持し、保持した第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２をウエハＷＦに押圧して貼付する駆動機器を備えた第１、第２シート貼付手段１０Ａ、１０Ｂを採用してもよいし、第１、第２シート貼付手段１０Ａ、１０Ｂに対してウエハＷＦを往復移動させ、１つのウエハＷＦに対して第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２のうち少なくとも一方を複数枚貼付してもよいし、ウエハＷＦを移動させずにまたは移動させつつ、第１、第２シート貼付手段１０Ａ、１０Ｂを移動させ、当該ウエハに接着シートＡＳを貼付してもよいし、支持面１８Ａ、１９Ｂに保持手段がなくてもよいし、天地反転して配置したり横向きに配置したりして、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２をウエハＷＦに貼付してもよいし、リニアモータ１７およびウエハ搬送テーブル１８の代わりに、多関節ロボット２１でウエハＷＦを保持して移動させることで当該ウエハＷＦに第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を貼付してもよいし、第１、第２シート貼付手段１０Ａ、１０Ｂが全く同じ構成でもよいし、相互に異なる構成でもよいし、押圧ローラ１４をウエハＷＦに離間接近させる押圧部材接離手段としての駆動機器を採用し、ウエハＷＦにストレスがかかったり損傷したりすることを防止するようにしてもよいし、他の装置でウエハＷＦを移動させる場合、シート貼付用移動手段１０Ｃが備わっていなくてもよい。

【0029】

改質部形成手段２０は、レーザ照射機２３を移動させずにまたは移動させつつ、ウエハＷＦを移動させて当該ウエハＷＦに改質部ＭＴを形成してもよいし、Ｘ軸またはＹ軸と平行な１本または複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、Ｘ軸またはＹ軸と平行でない１本または複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に等間隔または不等間隔な複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に平行または平行でない複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に交差しない複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に直交または斜交する複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、第１、第２方向以外に、その他の１または２以上の方向それぞれに１本または複数本の改質部ＭＴを形成してもよいし、曲線状または折線状の１本または複数本の改質部ＭＴを形成してもよく、そのような改質部ＭＴによって形成される個片化予定領域ＷＦＰやチップＣＰの形状は、円形、楕円形、三角形または四角形以上の多角形等、どのような形状でもよい。
改質部形成手段２０は、レーザ光、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等の付与によって、ウエハＷＦの特性、特質、性質、材質、組成、構成、寸法等を変更することで、ウエハＷＦを脆弱化、粉砕化、液化または空洞化して改質部ＭＴを形成してもよく、このような改質部ＭＴは、膨張性微粒子ＳＧの膨張を外力とし、被着体を個片化して個片体を形成することができればどのようなものでもよい。
改質部形成手段２０は、変位抑制手段５０やウエハ搬送手段６０と共用することのない駆動機器でレーザ照射機２３を保持して移動させる構成でもよいし、ウエハＷＦに改質部ＭＴが形成され、当該改質部ＭＴで囲繞または当該改質部ＭＴとウエハＷＦの外縁とで囲繞された個片化予定領域ＷＦＰが予め形成されている場合、本発明の個片体形成装置ＥＡに備わっていなくてもよいし、備わっていてもよい。

【0030】

個片化手段３０は、図３（Ａ）に示すように、第１接着シートＡＳ１または第２接着シートＡＳ２全体に一括で赤外線ＩＲまたは紫外線ＵＶを付与可能な第１、第２発光源３５Ａ、３５Ｂと、当該第１、第２発光源３５Ａ、３５Ｂで発光した赤外線ＩＲまたは紫外線ＵＶを反射させる反射板３６と、反射板３６の上部の開口部３６Ａを開閉可能な開閉板３７とで構成してもよい。この場合、第１発光源３５Ａを駆動して赤外線ＩＲを発光し、開口部３６Ａを開閉板３７で全閉にした状態から当該開閉板３７を左方から右方に向けて徐々に移動させ、図３（Ａ−１）に示すように、左方から右方に向けて次々に亀裂ＣＫＹを形成し、Ｙ軸方向に延びる短冊状のウエハＷＦＳを形成する。次いで、第１発光源３５Ａの駆動を停止して開口部３６Ａを開閉板３７で全閉にした後、個片化手段３０をＸＹ平面内で上面視反時計回転方向に９０度回転移動させる。その後、第２発光源３５Ｂを駆動して紫外線ＵＶを発光し、開閉板３７を後方から前方に向けて徐々に移動させ、図３（Ａ−２）に示すように、後方から前方に向けて次々に亀裂ＣＫＸを形成し、亀裂ＣＫＸと亀裂ＣＫＹとでチップＣＰを形成してもよい。
個片化手段３０は、開閉板３７の代わりに、図３（Ｂ−１）、（Ｂ−２）に示すように、第１、第２発光源３５Ａ、３５Ｂが発光した赤外線ＩＲまたは紫外線ＵＶで第１、第２ライン状付与領域ＬＧ１、ＬＧ２を形成するスリット３８Ａを備えた移動板３８を採用してもよいし、スリット３８Ａには、赤外線ＩＲまたは紫外線ＵＶを集光させたり平行光としたりするレンズを設けてもよいし、開閉板３７や移動板３８を例えば支持テーブル３４側に設けてもよい。
個片化手段３０は、第１、第２集光板３３Ａ、３３Ｂや反射板３６がなくてもよいし、第１、第２集光板３３Ａ、３３Ｂの代わりにまたは第１、第２集光板３３Ａ、３３Ｂと併用し、赤外線ＩＲまたは紫外線ＵＶを集光させたり平行光としたりするレンズを設けてもよいし、第１、第２膨張性微粒子ＳＧ１、ＳＧ２の特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して、第１接着シートＡＳ１や第２接着シートＡＳ２に赤外線ＩＲまたは紫外線ＵＶを照射する時間を任意に決定することができるし、第１、第２発光源３２Ａ、３２Ｂ、３５Ａ、３５Ｂとして、ＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何を採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用したりしてもよいし、エネルギーとしてレーザ光、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等を付与するものを採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用したりしてもよく、第１、第２膨張性微粒子ＳＧ１、ＳＧ２の特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して任意の構成を採用することができるし、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が貼付されたウエハＷＦの当該ウエハＷＦ側を支持テーブル３４上に載置し、支持テーブル３４の反対側から赤外線ＩＲや紫外線ＵＶを照射してもよいし、被着体が所定のエネルギーを透過可能なものの場合、当該所定のエネルギーを被着体側から付与してもよいし、接着シートＡＳ側から付与してもよいし、被着体側と接着シートＡＳ側との両方から付与してもよい。
個片化手段３０は、前記実施形態では、第１、第２ライン状付与領域ＬＧ１、ＬＧ２を形成して第１接着シートＡＳ１や第２接着シートＡＳ２に対して部分的に赤外線ＩＲまたは紫外線ＵＶを付与したが、赤外線ＩＲまたは紫外線ＵＶの付与領域が点状となる点状付与領域を形成し、第１接着シートＡＳ１や第２接着シートＡＳ２に対して部分的に赤外線ＩＲまたは紫外線ＵＶを付与したり、個片化予定領域ＷＦＰの平面形状に対応した面状付与領域または、個片化予定領域ＷＦＰの平面形状に対応していない面状付与領域を形成して第１接着シートＡＳ１や第２接着シートＡＳ２に対して部分的に赤外線ＩＲまたは紫外線ＵＶを付与したりしてもよいし、例えば、任意の位置の個片化予定領域ＷＦＰの１つまたは複数の区画に対応する第１接着シート部分ＡＳ１Ｐや第２接着シート部分ＡＳ２Ｐだけに赤外線ＩＲまたは紫外線ＵＶを付与し、当該第１接着シート部分ＡＳ１Ｐや第２接着シート部分ＡＳ２Ｐに貼付されている１つまたは複数の区画からなる個片化予定領域ＷＦＰを変位させてチップＣＰを形成してもよい。
支持テーブル３４は、保持手段がなくてもよいし、被着体が所定のエネルギーを透過不可能なものであれば、当該所定のエネルギーを透過可能なもので構成すればよいし、被着体が所定のエネルギーを透過可能なものであれば、当該所定のエネルギーを透過不可能なもので構成してもよいし、透過可能なもので構成してもよいし、多関節ロボット２１でウエハＷＦを保持する場合や、他の装置でウエハＷＦを支持する場合、本発明の個片体形成装置ＥＡに備わっていなくてもよい。

【0031】

移動手段４０は、図３（Ｃ）に示すように、第１改質部ＭＴＹおよび第２改質部ＭＴＸに斜交する第１ライン状付与領域ＬＧ１および第２ライン状付与領域ＬＧ２（不図示）をウエハＷＦの一端から他端に向けて同時に移動させることで、第１、第２改質部ＭＴＹ、ＭＴＸの両方を起点として亀裂ＣＫＹ、ＣＫＸを同時に形成し、チップＣＰを形成してもよい（図３（Ｃ）には、ウエハＷＦに貼付されている第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は不図示）。なお、この場合の斜交角度は、例えば、Ｘ軸やＹ軸に対して１度、５度、１０度、４５度、６０度、８９度等、どのような角度でもよい。
移動手段４０は、１つの駆動機器（例えばリニアモータ）の別々の出力部（例えばスライダ）で第１、第２光源ボックス３１Ａ、３１Ｂを個別に支持してもよいし、別々の駆動機器のそれぞれの出力部で第１、第２光源ボックス３１Ａ、３１Ｂを個別に支持してもよいし、個片化手段３０を移動させずにまたは移動させつつ、ウエハＷＦを移動させ、個片化手段３０に対してウエハＷＦをＸＹ平面内で上面視反時計回転方向に９０度回転移動させたり、第１ライン状付与領域ＬＧ１をＹ軸方向と平行となるように移動させたり、第２ライン状付与領域ＬＧ２をＸ軸方向と平行となるように移動させたりしてもよいし、第１、第２ライン状付与領域ＬＧ１、ＬＧ２をＸ軸やＹ軸方向と平行とならないように移動させてもよいし、個片化手段３０およびウエハＷＦの少なくとも一方を右方から左方に向けて移動させてもよいし、個片化手段３０およびウエハＷＦの少なくとも一方を前方から後方に向けて移動させてもよいし、個片化手段３０およびウエハＷＦの少なくとも一方をその他の方向から別の方向に向けて移動させてもよいし、個片化手段３０およびウエハＷＦの少なくとも一方をＸＹ平面内で上面視時計回転方向に９０度回転移動させてもよいし、個片化手段３０およびウエハＷＦの少なくとも一方をＸＹ平面内で９０度以下または９０度以上回転移動させてもよいし、本発明の個片体形成装置ＥＡを構成する構成物として備わっていてもよいし、他の装置で個片化手段３０およびウエハＷＦの少なくとも一方を移動させる場合、本発明の個片体形成装置ＥＡに備わっていなくてもよいし、例えば、ウエハＷＦの１箇所だけに個片化予定領域ＷＦＰが形成されており、個片化手段３０がこの個片化予定領域ＷＦＰの平面形状に対応または対応していない面状付与領域を形成し、接着シートＡＳに対して部分的に赤外線ＩＲや紫外線ＵＶを付与して１つのチップＣＰを形成する場合等においても、本発明の個片体形成装置ＥＡに備わっていなくてもよい。

【0032】

変位抑制手段５０は、変位させたくない個片化予定領域ＷＦＰ上に押え板５１を当接させてもよいし、当接させなくてもよいし、気体の吹き付けにより、個片化手段３０によって変位される前のウエハＷＦが変位することを抑制したり、プーリとベルトとで個片化手段３０によって変位される前のウエハＷＦが変位することを抑制したりする他の構成を採用してもよいし、改質部形成手段２０やウエハ搬送手段６０と共用することのない駆動機器で押え板５１を保持して移動させる構成でもよいし、押え板５１を一方向（例えば左右方向）に移動させる駆動機器と、他の押え板を他方向（例えば前後方向）に移動させる別の駆動機器とを採用してもよいし、本発明の個片体形成装置ＥＡに備わっていなくてもよい。

【0033】

ウエハ搬送手段６０は、改質部形成手段２０や変位抑制手段５０と共用することのない駆動機器で吸着アーム６１を保持して移動させる構成でもよいし、接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦを他の装置で移動させる場合、本発明の個片体形成装置ＥＡに備わっていなくてもよい。

【0034】

シート貼付手段１０は、第１エネルギーとしての８０℃の熱エネルギーで膨張する第１膨張性微粒子ＳＧ１が添加されている第１接着シートＡＳ１を、ウエハＷＦに貼付する第１シート貼付手段１０Ａと、第２エネルギーとしての１２０℃の熱エネルギーで膨張する第２膨張性微粒子ＳＧ２が添加されている第２接着シートＡＳ２を、ウエハＷＦに貼付された第１接着シートＡＳ１に貼付する第２シート貼付手段１０Ｂとを採用してもよい。この場合、上記実施形態と同様の動作で、個片化手段３０が第１個片化手段３０Ａで８０℃の熱エネルギーを付与し、第１改質部ＭＴＹを起点として亀裂ＣＫＹを形成した後、第２個片化手段３０Ｂで１２０℃の熱エネルギーを付与して第２改質部ＭＴＸを起点として亀裂ＣＫＸを形成してチップＣＰを形成することができる。なお、第１エネルギーや第２エネルギーは、何度の熱エネルギーでもよいし、膨張性微粒子ＳＧが、第１、第２エネルギー以外の他の温度の熱エネルギーで膨張する他の膨張性微粒子を有する場合、個片化手段３０は、他の温度の熱エネルギーを付与する他の個片化手段を増設することができる。
所定のエネルギーＥＧとしての第１エネルギーと第２エネルギーとの組み合わせは、赤外線、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２に添加されている第１、第２膨張性微粒子ＳＧ１、ＳＧ２の組み合わせによってどのような組み合わせでもよいし、第１、第２エネルギー以外の他のエネルギーで膨張する他の膨張性微粒子が添加されている接着シートＡＳが採用された場合、当該他のエネルギーを付与する他の個片化手段を増設することができる。
さらに、前記実施形態では、ウエハＷＦの一端から他端に向けて徐々に第１、第２ライン状付与領域ＬＧ１、ＬＧ２を移動させたが、改質部ＭＴが形成されている位置のみに第１、第２ライン状付与領域ＬＧ１、ＬＧ２が位置するように個片化手段３０を移動させ、改質部ＭＴを起点として亀裂ＣＫを形成したり、第１、第２発光源３２Ａ、３２Ｂ、３５Ａ、３５Ｂを消灯させておき、改質部ＭＴが形成されている位置に第１、第２ライン状付与領域ＬＧ１、ＬＧ２が位置するように個片化手段３０やスリット３８Ａを移動させてから第１、第２発光源３２Ａ、３２Ｂ、３５Ａ、３５Ｂを駆動し、改質部ＭＴを起点として亀裂ＣＫを形成したりしてもよい。
また、接着シートＡＳとして、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱を所定のエネルギーとして膨張する膨張性微粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよく、個片化手段３０は、それら膨張性微粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該膨張性微粒子ＳＧを膨張させ、被着体を個片化して個片体を形成できればよい。
個片体形成装置ＥＡは、第１接着シートＡＳ１からチップＣＰを取り外すことなく、搬送手段や使用者が第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２ごとチップＣＰを別の工程に搬送するものでもよい。

【0035】

接着シートＡＳは、当該接着シートＡＳを構成する基材（第１基材ＢＳ１、第２基材ＢＳ２）のみに膨張性微粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層（第１接着剤層ＡＬ１、第２接着剤層ＡＬ２）と基材との両方に膨張性微粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層と基材との中間に中間層が存在し、当該中間層、接着剤層および基材のうち少なくとも１つまたは少なくとも２つに膨張性微粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、ウエハＷＦにおける回路が形成された面に貼付されてもよいし、回路が形成されていない面に貼付されてもよいし、ウエハＷＦの両面に貼付されてもよく、このように、ウエハＷＦの両面に接着シートＡＳが貼付される場合、それら接着シートＡＳは、同一のものでもよいし、同一でないものでもよいし、一方の接着シートには、膨張性微粒子ＳＧが添加されていなくてもよいし、支持面１８Ａ、１９Ｂに当接する面に予め接着シートＡＳまたは接着シートＡＳとは異なる接着シートが貼付されていてもよい。なお、個片化手段３０でチップＣＰを形成する際、邪魔な接着シートは、当該個片化手段３０で外力を付与する前に、公知のシート剥離手段でウエハＷＦから剥離してもよい。
個片体は、チップＣＰに限らず、例えば、短冊状のウエハＷＦＳでもよく、この場合の個片化予定領域は、第１改質部ＭＴＹとウエハＷＦの外縁とで囲繞された領域となり、移動手段４０は、個片化手段３０が形成した第１、第２ライン状付与領域ＬＧ１、ＬＧ２を１つの方向（例えばＹ軸、Ｘ軸またはその他の方向）に移動させるだけでよい。
被着体が予め短冊状のウエハＷＦＳのようなものであれば、移動手段４０は、個片化手段３０が形成した第１、第２ライン状付与領域ＬＧ１、ＬＧ２を１つの方向（例えばＹ軸、Ｘ軸またはその他の方向）にだけ移動させてチップＣＰを形成してもよい。
個片化予定領域は、改質部ＭＴとウエハＷＦの外縁とで囲繞されたものでもよく、このような個片化予定領域から形成される個片体は、例えば、Ｘ軸と平行な１つの辺とＹ軸と平行な１つの辺とウエハＷＦの外縁とで形成される略扇状のものや、Ｘ軸と平行な２つの辺とＹ軸と平行な１つの辺とウエハＷＦの外縁とで形成される形状のもの等、どのような形状のものでもよい。
膨張性微粒子ＳＧは、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱によって容易にガス化して膨張する物質が弾性を有する殻内に内包された微粒子等が例示でき、特願２０１７−７３２３６、特開２０１３−１５９７４３、特開２０１２−１６７１５１、特開２００１−１２３００２等で開示されている熱発泡性微粒子や、特開２０１３−４７３２１、特開２００７−２５４５８０、特開２０１１−２１２５２８、特開２００３−２６１８４２等で開示されている膨張性微粒子等、何ら限定されるものではなく、例えば、熱分解して、水、炭酸ガス、窒素を発生させて膨張性微粒子と類似の効果を奏する発泡剤を採用してもよいし、特開２０１６−５３１１５、特開平７−２７８３３３で開示されている紫外線により気体を発生するアゾ化合物等の気体発生剤で殻を膨張させるものでもよいし、例えば、加熱によって膨張するゴムや樹脂等でもよいし、その他、重曹、炭酸水素ナトリウム、ベーキングパウダ等でもよい。
ウエハＷＦは、一方の面および他方の面のうち少なくとも一方に所定の回路が形成されていてもよいし、それら両方に回路が形成されていなくてもよい。
接着シートＡＳは、無数の凸部ＣＶが形成されることで、チップＣＰとの接着領域が減少して当該チップＣＰとの接着力が減少してもよいし、チップＣＰとの接着力が減少しなくてもよく、チップＣＰとの接着力を減少させて当該チップＣＰの取り外しを容易にするために、例えば、赤外線、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の接着力低減エネルギーによって、接着剤層ＡＬの接着力が低減するものを採用してもよい。この場合、接着力低減エネルギーを照射する接着力低減エネルギー付与手段を採用し、チップＣＰを接着シートＡＳから取り外す前段で、当該接着シートＡＳに接着力低減エネルギーを照射するようにすればよい。

【0036】

本発明の個片体形成装置ＥＡは、ウエハＷＦを所定の厚みにまで研削（研磨）する公知の研削（研磨）手段が備わっていてもよいし、チップＣＰを接着シートＡＳから取り外す公知のピックアップ手段が備わっていてもよいし、接着シートＡＳから取り外したチップＣＰを基板や載置台等の他の部材に接着する公知の接着手段が備わっていてもよい。

【0037】

本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層ＡＬだけの単層のもの、基材ＢＳと接着剤層ＡＬとの間に中間層を有するもの、基材ＢＳの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材ＢＳを接着剤層ＡＬから剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0038】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0039】

ＥＡ…個片体形成装置
１０…シート貼付手段
１０Ａ…第１シート貼付手段
１０Ｂ…第２シート貼付手段
２０…改質部形成手段
３０…個片化手段
３０Ａ…第１個片化手段
３０Ｂ…第２個片化手段
４０…移動手段
５０…変位抑制手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳ１…第１接着シート
ＡＳ２…第２接着シート
ＡＳ１Ｐ…第１接着シート部分
ＡＳ２Ｐ…第２接着シート部分
ＣＫ…亀裂
ＣＰ…半導体チップ（個片体）
ＥＧ…所定のエネルギー
ＩＲ…赤外線（第１エネルギー）
ＬＧ１…第１ライン状付与領域
ＬＧ２…第２ライン状付与領域
ＭＴ…改質部
ＭＴＸ…第２改質部
ＭＴＹ…第１改質部
ＳＧ…膨張性微粒子
ＳＧ１…第１膨張性微粒子
ＳＧ２…第２膨張性微粒子
ＵＶ…赤外線（第２エネルギー）
ＷＦ…半導体ウエハ（被着体）
ＷＦＰ…個片化予定領域

【図1】

【図2】

【図3】