公報発行日 2019年11月21
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【図1】図1は、第1の実施の形態に係る半導体装置の構成の概略を模式的に説明する斜視図(鳥瞰図)である。
【図2】図2は、第1の実施の形態に係る半導体装置の半導体ユニットを、金属ベースの主面に垂直な平面であって、図1中のA−A線を含む平面で断面した場合の断面図である。
【図3】図3は、図2中の左側上部を部分的に拡大した断面図である。
【図4】図4は、第1の実施の形態に係る半導体装置の製造方法の工程斜視図である(その1)。
【図5】図5は、第1の実施の形態に係る半導体装置の製造方法の工程断面図である。
【図6】図6は、第1の実施の形態に係る半導体装置の製造方法の工程断面図である(その2)。
【図7】図7は、第1の実施の形態に係る半導体装置の製造方法の工程平面図である。
【図8】図8は、第1の実施の形態に係る半導体装置の製造方法の工程断面図である(その3)。
【図9】図9は、第1の実施の形態に係る半導体装置の製造方法の工程平面図である(その4)。
【図10】図10は、図9中のC−C線方向から見た断面図である。
【図11】図11は、第1の実施の形態に係る半導体装置の製造方法の工程断面図である(その5)。
【図12】図12は、第1の実施の形態の第1変形例に係る半導体装置で用いられる絶縁樹脂枠を説明する平面図である。
【図13】図13は、図12中のD−D線方向から見た断面図である。
【図14】図14は、第1の実施の形態の第2変形例に係る半導体装置で用いられる絶縁樹脂枠を説明する平面図である。
【図15】図15は、第1の実施の形態の第3変形例に係る半導体装置で用いられる絶縁樹脂枠及び金属ベースを説明する断面図である。
【図16】図16は、第1の実施の形態の第4変形例に係る半導体装置で用いられる絶縁樹脂枠を説明する断面図である。
【図17】図17は、第1の実施の形態の第5変形例に係る半導体装置で用いられる絶縁樹脂枠を説明する分解斜視図である。
【図18】図18は、図19中のF−F線方向から見た断面図である。
【図19】図19は、第2の実施の形態に係る半導体装置の構成の概略を模式的に説明する断面図である。
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