特開2019-204829基板加熱保持装置および基板処理装置

発明の名称　基板加熱保持装置および基板処理装置

出願人　株式会社テックインテック　（識別番号 134028）

　　　　特許公開件数ランキング 5080 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2019-204829

公報発行日　2019年11月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2019-204829

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