特開2019-208001基板収納容器管理システム、ロードポート、基板収納容器管理方法

発明の名称　基板収納容器管理システム、ロードポート、基板収納容器管理方法

出願人　シンフォニアテクノロジー株式会社　（識別番号 2059）

　　　　特許公開件数ランキング 520 位（51件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 545 位（40件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2019-208001

公報発行日　2019年12月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2019-208001

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