特開2019-211629化学増幅型レジスト用光ルイス酸発生剤、および化学増幅型レジスト組成物

発明の名称　化学増幅型レジスト用光ルイス酸発生剤、および化学増幅型レジスト組成物

出願人　株式会社日本触媒　（識別番号 4628）

　　　　特許公開件数ランキング 324 位（101件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 238 位（130件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2019-211629

公報発行日　2019年12月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2019-211629

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