特開2019-212868IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

被洗浄物の洗浄方法

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】 プリント配線板製造途中の積層体を水洗液で洗浄する際、水洗液の流れ等に左右されず、積層体に付着した微粒子を確実に除去することができる被洗浄物の洗浄方法を提供する。
【解決手段】 基板上に少なくとも１層の導体回路を有するプリント配線板の製造工程において、プリント配線板製造途中の積層体に付着した微粒子を洗浄、除去する被洗浄物の洗浄方法であって、被洗浄物である前記積層体を浸漬した溶液から引き上げた後、前記被洗浄物を水洗槽に貯留された水洗液に浸漬し、浸漬前に前記被洗浄物に付着していた微粒子のζ電位に対応する電位差の電圧を、前記水洗槽と該水洗槽に設けられた微粒子除去用電極板との間に印加し、前記微粒子除去用電極板に前記微粒子を付着させることにより微粒子を除去することを特徴とする被洗浄物の洗浄方法。
【選択図】 図３

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、微粒子は、その種類によってζ電位等が異なり、単に電場を掛けたのみでは、良好に泳動しないものが存在する。また、水洗槽内での水洗液の流れは水洗槽の形状等に左右され易く、不均一となり易く、水洗槽内で浮遊する微粒子を効率よく、全て循環ポンプ中に移動させることは難しく、フィルタによる微粒子の除去は不充分になり易い。さらに、フィルタにより微粒子を除去しようとした場合、微粒子に起因してフィルタが微粒子で詰まり易く、効率よく微粒子を取り除くのが難しいという問題があった。 本発明は、のような問題点に鑑みてなされたものであり、プリント配線板製造途中の積層体を水洗液で洗浄する際、水洗液の流れ等に左右されず、積層体に付着した微粒子を確実に除去することができる被洗浄物の洗浄方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

目的を達成するための本発明の被洗浄物の洗浄方法は、基板上に少なくとも１層の導体回路を有するプリント配線板の製造工程において、プリント配線板製造途中の積層体に付着した微粒子を洗浄、除去する被洗浄物の洗浄方法であって、被洗浄物である積層体（以下、本明細書では、積層体は、ベースとなる基板に絶縁層と導体層とを交互に積み重ねていく過程における完成前のプリント配線板の全てをいうものとする）を浸漬・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】図１（ａ）は、本発明の被洗浄物の洗浄方法に用いられる水洗槽の一実施形態を模式的に示す平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す水洗槽の側面図である。

【図2】図２（ａ）〜（ｅ）は、微粒子除去用電極板に印加される電圧のパターンを模式的に示す説明図である。

【図3】図３（ａ）は、本発明の被洗浄物の洗浄方法に用いられる水洗槽の他の実施形態を模式的に示す平面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）に示す水洗槽の側面図である。

選択図 図3出願人が指定した本件の代表的な図

１０、２０ 水洗槽　　 １１、２１ 槽本体　　 １２、２２ａ、２２ｂ 微粒子除去用電極板　　 １３、２３ 積層板収容ラック　　 １４、１５、２４、２５ 配線　　 １６、２６ 撹拌機　　 １６ａ、２６ａ 攪拌羽根　　 １７、２７ 水洗液　　 １８、２８ 電圧印加装置

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