技術分野
電子ビームなどの照射状況を観察する観察装置及び観察方法
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】ビーム照射時に対象物から飛散物が発生しても、安定して照射状況を観察できる観察装置及び観察方法を提供する。 【解決手段】電子ビームBを粉末材料Aへ照射した場合の照射状況を観察する観察装置10であって、粉末材料Aにおける電子ビームBの照射位置を観察するための観察部11と、粉末材料Aにおける電子ビームBの照射位置の像を反射させて観察部11へ導く反射面12aを有する反射部12とを備え、反射面12aが粉末材料Aと同一材料又は同一の光学特性を持つ材料により形成されている。 【選択図】図1
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
このような観察装置及び観察方法においては、電子ビームの照射時に被溶接部から発生する金属蒸気などの飛散物がミラーなどに付着し、電子ビームの照射状況がすぐに観察できなくなるおそれがある。シャッタ機構を設けたとしても、電子ビームの照射状況を観察する時にはシャッタ機構を開く必要があり、飛散物がミラーなどに付着することを防ぐのは難しい。
そこで、ビーム照射時に対象物から発せられる飛散物が付着しても、安定して照射状況を観察できる観察装置及び観察方法の開発が望まれている。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の一態様に係る観察装置は、エネルギビームを対象物へ照射した場合の照射状況を観察する観察装置において、対象物におけるエネルギビームの照射位置を観察するための観察部と、対象物におけるエネルギビームの照射位置の像を反射させて観察部へ導く反射面を有する反射部とを備え、反射面は、対象物と同一材料又は同一の光学特性を持つ材料により形成されている。この観察装置によれば、対象物におけるエネルギビームの・・・ 続きを
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【発明の効果】
本発明によれば、ビーム照射時に対象物から発せられる飛散物がミラーに付着しても、安定して正確に照射状況の観察を行うことができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】 本発明の観察装置の構成概要図である。
【図2】 本発明の観察装置の変形例を示す図である。
1 三次元造形装置
2 ビーム出射部
3 造形部
4 制御部
10 観察装置
11 観察部
12 反射部
12a 反射面
13 遮蔽部
14 表示部
21 電子銃部
22 収差コイル
23 フォーカスコイル
24 偏向コイル
31 プレート
32 昇降機
33 リコータ
34 ホッパ
A 粉末材料
B 電子ビーム
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