特開2019-25812粉塵飛散防止装置並びにこの粉塵飛散防止装置を備えた基板加工装置

発明の名称　粉塵飛散防止装置並びにこの粉塵飛散防止装置を備えた基板加工装置

出願人　三星ダイヤモンド工業株式会社　（識別番号 390000608）

　　　　特許公開件数ランキング 3034 位（5件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1276 位（7件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2019-25812

公報発行日　2019年2月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2019-25812

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