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特開2019-29652負バイアスを用いてＰＥＡＬＤによって膜を堆積する方法
発明の名称 負バイアスを用いてＰＥＡＬＤによって膜を堆積する方法
出願人 エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． （識別番号 512144771）
特許公開件数ランキング 15681 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 13301 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2019-29652
公報発行日 2019年2月21
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2019-29652
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