特開2020-114940(P2020-114940A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2020-114940周期的堆積プロセスにより基材上に遷移金属含有膜を形成する方法
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  • 特開2020114940-周期的堆積プロセスにより基材上に遷移金属含有膜を形成する方法 図000006
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