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特開2020-136653イオン注入器へのアンチモン含有材料の貯蔵及び送達
発明の名称 イオン注入器へのアンチモン含有材料の貯蔵及び送達
出願人 プラクスエア・テクノロジー・インコーポレイテッド （識別番号 392032409）
特許公開件数ランキング 14682 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2020-136653
公報発行日 2020年8月31
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2020-136653
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