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公報発行日 2020年9月10
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【図1】第1の光モジュールの構成を示すブロック図である。
【図2】第1の光モジュールに含まれる光半導体チップの構造を示す下面図である。
【図3A】第1の光モジュールの構造を示す平面図である。
【図3B】第1の光モジュールの構造を示す断面図である。
【図3C】第1の実施形態における、配線基板、導電材及びアンダーフィルの関係を示す図である。
【図4A】第1の光モジュールの製造方法における、光半導体チップを配線基板に実装する方法を示す断面図(その1)である。
【図4B】第1の光モジュールの製造方法における、光半導体チップを配線基板に実装する方法を示す断面図(その2)である。
【図4C】第1の光モジュールの製造方法における、光半導体チップを配線基板に実装する方法を示す断面図(その3)である。
【図4D】第1の光モジュールの製造方法における、光半導体チップを配線基板に実装する方法を示す断面図(その4)である。
【図4E】第1の光モジュールの製造方法における、光半導体チップを配線基板に実装する方法を示す断面図(その5)である。
【図4F】第1の光モジュールの製造方法における、光半導体チップを配線基板に実装する方法を示す断面図(その6)である。
【図4G】第1の光モジュールの製造方法における、光半導体チップを配線基板に実装する方法を示す断面図(その7)である。
【図4H】第1の光モジュールの製造方法における、光半導体チップを配線基板に実装する方法を示す断面図(その8)である。
【図5A】第2の光モジュールの構造を示す断面図である。
【図5B】第2の実施形態における、配線基板、導電材及びアンダーフィルの関係を示す図である。
【図6A】第2の光モジュールの製造方法における、光半導体チップを配線基板に実装する方法を示す断面図(その1)である。
【図6B】第2の光モジュールの製造方法における、光半導体チップを配線基板に実装する方法を示す断面図(その2)である。
【図6C】第2の光モジュールの製造方法における、光半導体チップを配線基板に実装する方法を示す断面図(その3)である。
【図6D】第2の光モジュールの製造方法における、光半導体チップを配線基板に実装する方法を示す断面図(その4)である。
【図6E】第2の光モジュールの製造方法における、光半導体チップを配線基板に実装する方法を示す断面図(その5)である。
【図7】第2の実施形態の変形例における、配線基板、導電材及びアンダーフィルの関係を示す図である。
【図8】第1の実施形態の第1の変形例における、配線基板、導電材及びアンダーフィルの関係を示す図である。
【図9】第1の実施形態の第2の変形例における、配線基板、導電材及びアンダーフィルの関係を示す図である。
【図10】第1の実施形態の第3の変形例における、光半導体チップの構造を示す下面図である。
【図11】第1の実施形態の第3の変形例に係る光モジュールの構造を示す平面図である。
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