特開2020-145363レーザアニール装置

発明の名称　レーザアニール装置

出願人　株式会社ブイ・テクノロジー　（識別番号 500171707）

　　　　特許公開件数ランキング 4985 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2419 位（2件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2020-145363

公報発行日　2020年9月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2020-145363

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