【図1】図１は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造方法の一例を示すフローチャートである。

【図2】図２は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その１）である。

【図3】図３は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その２）である。

【図4】図４は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その３）である。

【図5】図５は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その４）である。

【図6】図６は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その５）である。

【図7】図７は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その６）である。

【図8】図８は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その７）である。

【図9】図９は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その８）である。

【図10】図１０は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その９）である。

【図11】図１１は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その１０）である。

【図12】図１２は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その１１）である。

【図13】図１３は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その１２）である。

【図14】図１４は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その１３）である。

【図15】図１５は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その１４）である。

【図16】図１６は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その１５）である。

【図17】図１７は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その１６）である。

【図18】図１８は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その１７）である。

【図19】図１９は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その１８）である。

【図20】図２０は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その１９）である。

【図21】図２１は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造途中の各状態の一例を示す断面図（その２０）である。

【図22】図２２は、実施の形態にかかる二酸化ケイ素膜のスパッタリングに用いるメタルマスクの一例を示す図である。

【図23】図２３は、実施の形態にかかる窒化炭素膜のスパッタリングに用いるメタルマスクの一例を示す図である。

【図24】図２４は、実施の形態にかかるエピタキシャル基板の一例を示す図である。

【図25】図２５は、実施の形態にかかる炭化珪素基板の製造方法の他の一例を示すフローチャートである。

【図26】図２６は、実施の形態にかかる二酸化ケイ素膜のスパッタリングに用いるメタルマスクの他の一例を示す図である。

【図27】図２７は、実施の形態にかかる窒化炭素膜のスパッタリングに用いるメタルマスクの他の一例を示す図である。

【図28】図２８は、実施の形態にかかるエピタキシャル基板の他の一例を示す図である。

【図29】図２９は、従来の並列ｐｎ層を有する超接合構造を有する炭化珪素基板の製造途中の状態の一例を示す断面図である。