技術分野
半導体装置の製造方法
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】外部接続端子を端子ケースに確実に固着することができる。 【解決手段】平板状であって、おもて面及び裏面を貫通する開口部41aが形成され、おもて面に窪みの端子パターンが形成された、半硬化状態の熱硬化性樹脂を含む平板状枠体40を成形する。その後、平板状枠体40の開口部41aを覆うように絶縁基板24を裏面に配置し、端子パターンに外部接続端子33〜36を配置し、加熱する。この結果、平板状枠体40から、絶縁基板24及び外部接続端子33〜36が固着された端子ケースを製造することができる。端子ケース30に含まれる外部接続端子33〜36は端子ケースに確実に固着されている。このため、外部接続端子33〜36に対してワイヤを接続する際には、外部接続端子33〜36がずれることがない。 【選択図】図8
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
しかし、のように成形された端子ケースでは、その材質である熱可塑性樹脂と金属により構成される外部接続端子とは化学的に結合しないため、外部接続端子は端子ケースに固着しない。そこで、熱可塑性樹脂に対して外部接続端子の表面に生成されている凹凸のアンカー効果により、外部接続端子と端子ケースとの密着性の維持が試みられる。しかし、このアンカー効果だけでは十分な密着性を得ることができない。このような状況において、外部接続端子にワイヤボンディングを行うと、超音波振動に伴って外部接続端子が揺さぶられ、ワイヤを確実に接合することができない。このようにして製造された半導体装置は、信頼性が低下してしまうおそれがある。
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、外部接続端子を端子ケースに確実に固着することができる半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の一観点によれば、基板及び外部接続端子を用意する用意工程と、平板状であって、おもて面及び裏面を貫通する開口部が形成され、前記おもて面に窪みのパターンが形成された、半硬化状態の熱硬化性樹脂を含む第1半硬化部材を成形する平板状枠体成形工程と、前記第1半硬化部材の前記開口部を覆うように前記基板を前記裏面に配置し、前記パターンに前記外部接続端子を配置し、加熱して、前記第1半硬化部材を硬化して、・・・ 続きを
知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
開示の技術によれば、外部接続端子を端子ケースに確実に固着して、半導体装置の信頼性の低下を抑制することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
知財ポータルサイト IP Force にログインして確認する (無料)
この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】 実施の形態における半導体装置の平面図である。
【図2】 実施の形態における半導体装置の断面図である。
【図3】 実施の形態における半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図4】 実施の形態における半導体装置の製造に用いられる下部本体部用の平板状枠体の平面図である。
【図5】 実施の形態における半導体装置の製造に用いられる下部本体部用の平板状枠体の断面図である。
【図6】 実施の形態における半導体装置の製造に用いられる上部枠体部用の平板状枠体の平面図である。
【図7】 実施の形態における半導体装置の製造に含まれる下部本体部用の平板状枠体に対する外部接続端子及び絶縁基板のセットを説明するための図(その1)である。
【図8】 実施の形態における半導体装置の製造に含まれる下部本体部用の平板状枠体に対する外部接続端子及び絶縁基板のセットを説明するための図(その2)である。
【図9】 実施の形態における半導体装置の製造に含まれる下部本体部用の平板状枠体に対する上部枠体部用の平板状枠体のセットを説明するための図(その1)である。
【図10】 実施の形態における半導体装置の製造に含まれる下部本体部用の平板状枠体に対する上部枠体部用の平板状枠体のセットを説明するための図(その2)である。
【図11】 実施の形態における半導体装置の製造に含まれる加熱による端子ケースの製造を説明するための図である。
10 半導体装置
20 半導体ユニット
21 第1半導体チップ
22 第2半導体チップ
23 回路パターン
24 絶縁基板
30 端子ケース
31 上部枠体部
32 下部本体部
32a 収納開口部
32b 第1端子領域
32c 第2端子領域
33,34,35,36 外部接続端子
37 制御IC
38 封止部材
40,50 平板状枠体
41 本体部
41a,52 開口部
41b,41c,41d,41e 端子パターン
42,43 半硬化端子支持部
42b,42c,42d,43e 端子支持パターン
51 枠体部
全ての図面はログインすると無料で閲覧できます。ログイン・ユーザー登録