特開 2020-184621 電磁波シールド材及び電磁波シールド材の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2020-184621(P2020-184621A)

(43)【公開日】2020年11月12日

(54)【発明の名称】電磁波シールド材及び電磁波シールド材の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H05K 9/00 20060101AFI20201016BHJP

   H01F 1/26 20060101ALI20201016BHJP

   H01F 1/375 20060101ALI20201016BHJP

   B32B 15/08 20060101ALI20201016BHJP

   B32B 5/18 20060101ALI20201016BHJP

   B32B 7/025 20190101ALI20201016BHJP

   C23C 4/08 20160101ALI20201016BHJP

【ＦＩ】

   H05K9/00 W

   H01F1/26

   H01F1/375

   B32B15/08 E

   B32B15/08 N

   B32B5/18 101

   B32B7/025

   C23C4/08

【審査請求】未請求

【請求項の数】14

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2020-77852(P2020-77852)

(22)【出願日】2020年4月24日

(31)【優先権主張番号】特願2019-86852(P2019-86852)

(32)【優先日】2019年4月26日

(33)【優先権主張国】JP

(71)【出願人】

【識別番号】000119232

【氏名又は名称】株式会社イノアックコーポレーション

(74)【代理人】

【識別番号】100112472

【弁理士】

【氏名又は名称】松浦 弘

(74)【代理人】

【識別番号】100202223

【弁理士】

【氏名又は名称】軸見 可奈子

(72)【発明者】

【氏名】横田 佳弘

(72)【発明者】

【氏名】植村 浩行

【テーマコード（参考）】

4F100

4K031

5E041

5E321

【Ｆターム（参考）】

4F100AB01B

4F100AB02C

4F100AB02D

4F100AB10B

4F100AB16B

4F100AB16C

4F100AB16D

4F100AB17B

4F100AB17C

4F100AB17D

4F100AK03A

4F100AL09A

4F100AT00A

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4F100BA04

4F100BA07

4F100BA10C

4F100CB05C

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4F100DE01B

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4F100DJ01A

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4F100EJ943

4F100GB41

4F100JD08

4F100JG01C

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4F100JG06D

4F100JL13C

4F100JL13D

4K031AA08

4K031AB02

4K031AB07

4K031CB31

4K031DA01

4K031DA03

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4K031DA05

4K031DA06

4K031FA09

5E041AA11

5E041AB12

5E041BB03

5E041CA06

5E041CA13

5E321AA23

5E321BB23

5E321BB25

5E321BB32

5E321BB44

5E321CC16

5E321GG05

(57)【要約】

【課題】電磁波シールド材の金属溶射層を構成する金属粒子の脱落を抑えること。
【解決手段】電磁波シールド材１０は、シート状基材１１と、シート状基材１１に積層された金属溶射層２１と、を有している。そして、電磁波シールド材１０は、金属溶射層２１にシート状基材１１と反対側から積層され、金属溶射層２１を構成する金属粒子２２同士の間に入り込んでいる外側粘着材層３１を有する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

シート状基材と、
前記シート状基材に積層された金属溶射層と、
前記金属溶射層に前記シート状基材と反対側から積層され、前記金属溶射層を構成する金属粒子同士の間に入り込んでいる第１粘弾性層と、を有する、電磁波シールド材。

【請求項2】

前記第１粘弾性層は、前記電磁波シールド材の最外層であり、自着性粘着材からなる、請求項１に記載の電磁波シールド材。

【請求項3】

前記第１粘弾性層は、導電性材料の粉粒体を含有している、請求項１又は２に記載の電磁波シールド材。

【請求項4】

前記第１粘弾性層は、前記電磁波シールド材の最外層である、請求項３に記載の電磁波シールド材。

【請求項5】

前記第１粘弾性層は、磁性材料の粉粒体を含有している、請求項１から４の何れか１の請求項に記載の電磁波シールド材。

【請求項6】

前記シート状基材と前記金属溶射層の間に配置されて、前記金属溶射層を構成する金属粒子同士の間に入り込んでいる第２粘弾性層を有する、請求項１から５の何れか１の請求項に記載の電磁波シールド材。

【請求項7】

前記第１粘弾性層と前記第２粘弾性層は、互いに粘着する材料からなる、請求項６に記載の電磁波シールド材。

【請求項8】

前記第２粘弾性層は、導電性材料の粉粒体を含有している、請求項６又は７に記載の電磁波シールド材。

【請求項9】

前記第２粘弾性層は、磁性材料の粉粒体を含有している、請求項６から８の何れか１の請求項に記載の電磁波シールド材。

【請求項10】

前記シート状基材は、発泡シートからなる、請求項１から９のうち何れか１の請求項に記載の電磁波シールド材。

【請求項11】

前記シート状基材に対して前記第１粘弾性層と反対側から、保護層が積層されている、請求項１０に記載の電磁波シールド材。

【請求項12】

シート状基材に積層された金属溶射層に、流動性を有する粘着材を塗布することで前記金属溶射層に第１粘弾性層を積層する、電磁波シールド材の製造方法。

【請求項13】

前記金属溶射層を、前記シート状基材に積層された第２粘弾性層に、直に積層し、
前記金属溶射層を積層するときに、溶射される金属の熱により前記第２粘弾性層を軟化させる、請求項１２に記載の電磁波シールド材の製造方法。

【請求項14】

前記シート状基材に前記金属溶射層が積層された積層シートを、巻取ローラで巻き取ることを含み、
前記積層シートの巻き取りを、前記金属溶射層上に前記第１粘弾性層を形成した後に行う、請求項１２又は１３に記載の電磁波シールド材の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、金属溶射層を含む電磁波シールド材及びその製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、電磁波シールド材として、樹脂等からなるシート状基材に、金属溶射により金属溶射層が積層されてなるものがある（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平６−３２６４９２号公報（段落［０００４］、［０００８］及び図１等）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述した電磁波シールド材に対して、金属溶射層を構成する金属粒子の脱落を抑えることが望まれている。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記課題を解決するためになされた請求項１の発明は、シート状基材と、前記シート状基材に積層された金属溶射層と、前記金属溶射層に前記シート状基材と反対側から積層され、前記金属溶射層を構成する金属粒子同士の間に入り込んでいる第１粘弾性層と、を有する、電磁波シールド材である。

【0006】

請求項２の発明は、前記第１粘弾性層は、前記電磁波シールド材の最外層であり、自着性粘着材からなる、請求項１に記載の電磁波シールド材である。

【0007】

請求項３の発明は、前記第１粘弾性層は、導電性材料の粉粒体を含有している、請求項１又は２に記載の電磁波シールド材である。

【0008】

請求項４の発明は、前記第１粘弾性層は、前記電磁波シールド材の最外層である、請求項３に記載の電磁波シールド材である。

【0009】

請求項５の発明は、前記第１粘弾性層は、磁性材料の粉粒体を含有している、請求項１から４の何れか１の請求項に記載の電磁波シールド材である。

【0010】

請求項６の発明は、前記シート状基材と前記金属溶射層の間に配置されて、前記金属溶射層を構成する金属粒子同士の間に入り込んでいる第２粘弾性層を有する、請求項１から５の何れか１の請求項に記載の電磁波シールド材である。

【0011】

請求項７の発明は、前記第１粘弾性層と前記第２粘弾性層は、互いに粘着する材料からなる、請求項６に記載の電磁波シールド材である。

【0012】

請求項８の発明は、前記第２粘弾性層は、導電性材料の粉粒体を含有している、請求項６又は７に記載の電磁波シールド材である。

【0013】

請求項９の発明は、前記第２粘弾性層は、磁性材料の粉粒体を含有している、請求項６から８の何れか１の請求項に記載の電磁波シールド材である。

【0014】

請求項１０の発明は、前記シート状基材は、発泡シートからなる、請求項１から９のうち何れか１の請求項に記載の電磁波シールド材である。

【0015】

請求項１１の発明は、前記シート状基材に対して前記第１粘弾性層と反対側から、保護層が積層されている、請求項１０に記載の電磁波シールド材である。

【0016】

請求項１２の発明は、シート状基材に積層された金属溶射層に、流動性を有する粘着材を塗布することで前記金属溶射層に第１粘弾性層を積層する、電磁波シールド材の製造方法である。

【0017】

請求項１３の発明は、前記金属溶射層を、前記シート状基材に積層された第２粘弾性層に、直に積層し、前記金属溶射層を積層するときに、溶射される金属の熱により前記第２粘弾性層を軟化させる、請求項１２に記載の電磁波シールド材の製造方法である。

【0018】

請求項１４の発明は、前記シート状基材に前記金属溶射層が積層された積層シートを、巻取ローラで巻き取ることを含み、前記積層シートの巻き取りを、前記金属溶射層上に前記第１粘弾性層を形成した後に行う、請求項１２又は１３に記載の電磁波シールド材の製造方法である。

【発明の効果】

【0019】

請求項１の電磁波シールド材及び請求項１２の製造方法により製造された電磁波シールド材では、第１粘弾性層により金属溶射層を構成する金属粒子の脱落を抑えることが可能となる。また、電磁波シールド材が曲げられた場合でも、第１粘弾性層が設けられることにより、金属溶射層にクラックが発生することを抑制可能となる。請求項１２の発明のように、金属溶射層に流動性を有する粘着材が塗布されることで第１粘弾性層が形成される場合、金属溶射層を構成する金属粒子間の隙間に第１粘弾性層の粘着材を入り込ませることが容易となる。

【0020】

第１粘弾性層を電磁波シールド材の最外層とし、第１粘弾性層を粘着材で構成すれば、第１粘弾性層により電磁波シールド材を被着体に貼り付けることができる。電磁波シールド材の最外層としての第１粘弾性層が自着性を有するものであれば（請求項２の発明）、電磁波シールド材を曲げたり丸めたりする等して第１粘弾性層同士を貼り合わせることができると共に、第１粘弾性層が第１粘弾性層と異なる材料からなるものに貼り付き難くなるので、電磁波シールド材が取り扱い易くなる。

【0021】

請求項３の発明では、第１粘弾性層が導電性材料の粉粒体を含有しているので、電磁波シールド材の電磁波シールドの効果を高めることが可能となる。また、請求項４の発明では、第１粘弾性層が電磁波シールド材の最外層となっているので、導電性材料を有する第１粘弾性層のグラウンド（アース）接続が容易となる。

【0022】

請求項５の発明では、第１粘弾性層が磁性材料の粉粒体を含有しているので、電磁波シールド材の電磁波シールドの効果を高めることが可能となる。

【0023】

請求項６の発明では、第２粘弾性層が、シート状基材と金属溶射層の間に配置される。第２粘弾性層には、金属溶射層が直に積層されていると共に、第２粘弾性層は、金属溶射層を構成する金属粒子同士の間に入り込んでいる。また、請求項１３の発明では、溶射される金属の熱により第２粘弾性層を軟化させるので、金属粒子を第２粘弾性層に埋め込むことができる。請求項６，１３の発明によれば、投錨効果によって金属溶射層と第２粘弾性層の密着性が向上し、金属溶射層が剥離したり、金属溶射層にクラックが発生したりすることが抑制される。しかも、金属溶射層は、第１粘弾性層と第２粘弾性層に表裏の両面から密着されることとなるので、電磁波シールド材が表裏のどちら側に曲げられても、金属溶射層にクラックが発生することを抑制できる。

【0024】

請求項７の発明では、第１粘弾性層と第２粘弾性層が、互いに粘着する材料からなる。従って、金属溶射層の金属粒子間の隙間が金属溶射層の厚み方向全体に繋がっている場合に、その隙間を通して第１粘弾性層と第２粘弾性層とを粘着させることができる。これにより、第１粘弾性層及び第２粘弾性層と、金属溶射層との密着性を強くすることが可能となり、金属溶射層の一部が脱落したり剥離したりすることを一層抑えることが可能となる。

【0025】

電磁波シールド材に第２粘弾性層が設けられる場合には、第２粘弾性層が導電性材料の粉粒体を含有する構成であってもよいし（請求項８の発明）、第２粘弾性層が磁性材料の粉粒体を含有する構成であってもよい（請求項９の発明）。これらの構成によれば、電磁波シールド材の電磁波シールドの効果を高めることが可能となる。

【0026】

請求項１０の発明では、シート状基材が発泡シートからなるので、電磁波シールド材のフレキシブル性を高めることができる。シート状基材が発泡シートからなる場合、請求項１１の発明のように、シート状基材に第１粘弾性層と反対側から保護層を積層すれば、シート状基材の傷つきを防止することが可能となる。

【0027】

請求項１４の発明では、シート状基材に金属溶射層が積層された積層シートを、巻取ローラで巻き取る。そして、この積層シートの巻き取りを、金属溶射層上に第１粘弾性層を積層した後に行う。これにより、積層シートの巻取の際に、金属溶射層の金属粒子が脱落したり、金属溶射層にクラックが生じたりすることを抑えることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0028】

【図1】本開示の一実施形態に係る電磁波シールド材の（Ａ）側断面図、（Ｂ）金属溶射層の拡大側断面図

【図2】電磁波シールド材の製造に用いられる送給ラインの側面図

【図3】他の実施形態に係る電磁波シールド材の（Ａ）側断面図、（Ｂ）金属溶射層の拡大側断面図

【図4】各実施例の電磁波シールド材の伝送減衰率のグラフ

【発明を実施するための形態】

【0029】

図１（Ａ）に示されるように、本実施形態の電磁波シールド材１０は、シート状基材１１を含む積層構造をなしている。シート状基材１１は、発泡シートからなる。発泡シートを構成する樹脂としては、例えば、ポリオレフィン系樹脂（ポリエチレン樹脂やポリプロピレン樹脂等）、ポリウレタン系樹脂、アクリル系樹脂、又は、これらのブレンド等が挙げられる。なお、シート状基材１１を構成する発泡シートは、連続気泡構造でも独立気泡構造でもよいが、連続気泡構造であることが、シート状基材１１の柔軟性の点から好ましい。本実施形態では、シート状基材１１及び電磁波シールド材１０は、フレキシブルになっている。

【0030】

シート状基材１１の表裏の一方の面には、保護層４１が積層されている。保護層４１を構成する材料としては、非発泡体のフィルムや、紙等が挙げられる。このようなフィルムの材料としては、例えば、ポリオレフィン系樹脂やポリオレフィン系熱可塑性エラストマー等が挙げられる。本実施形態では、保護層４１により、シート状基材１１の一方の面側からの傷つきを防止することができる。

【0031】

シート状基材１１のうち他方の面には、内側粘弾性層が積層されている。内側粘弾性層は、粘着材、エラストマー（ゴムもしくは熱可塑性エラストマー）、又はゲル体等の粘弾性体からなる。なお、ここでの粘着材には、自己粘着性（自着性）を有するものも含まれる。ここで、自己粘着性（自着性）とは、同種の材料からなるもの同士では粘着するが（即ち、くっつくが）、異種の材料からなるものに対しては粘着し難い（即ち、くっつき難い）性質のことを意味する。

【0032】

本実施形態では、内側粘弾性層として、内側粘着材層３２が設けられ、この内側粘着材層３２は、自着性を有する粘着材（自着性粘着材）からなる。なお、内側粘着材層３２（内側粘弾性層）を構成する粘着材は、自着性のものでなくてもよく、同種の材料のもの同士だけでなく異種の材料のものに対しても粘着し易い性質を有するもの（通常の粘着材）であってもよい。内側粘着材層３２を構成する粘着材の融点は、７０〜１２０℃であることが好ましく、７０〜１００℃であることがより好ましい。

【0033】

内側粘着材層３２を構成する自着性粘着材の材料としては、例えば、天然ゴムラテックスに粘着助剤を配合したものが挙げられる。この粘着助剤（粘着付与剤）としては、例えば、タッキファイヤー（テルペン系樹脂、ロジンエステル系樹脂、石油系樹脂等）や、酸化防止剤（フェノール系酸化防止剤等）、トルエン等の有機溶剤、等が挙げられる。また、内側粘着材層３２を構成する粘着材には、ポリオレフィン系エマルジョンが添加されていることが好ましい。ポリオレフィン系エマルジョンは、乳化剤や分散剤を使用して水中にポリオレフィン樹脂粒子を分散させたものである。水性分散体を用いることで、内側粘着材層３２の厚みを薄くすることができ、電磁波シールド材１０のフレキシブル性を高めることができる。なお、ポリオレフィン系エマルジョンは、公知の種々の製造方法で製造したものであってもよいし、市販品を用いてもよい。公知の製造方法としては、例えば水性媒体中の乳化剤存在下で乳化重合したり、溶融樹脂及び水性媒体を剪断力存在下で撹拌混合したりする方法が挙げられる。

【0034】

内側粘着材層３２（内側粘弾性層）には、導電性材料が含まれていてもよいし、磁性材料が含まれていてもよい。これらの構成によれば、電磁波シールド材１０の電磁波シールドの効果を高めることが可能となる。例えば、これらの導電性材料や磁性材料は、粉粒体となっていて、内側粘着材層３２の粘着材に分散されていてもよい。この粉粒体の形状としては、例えば、球状（例えば真球状等）、扁平形状等が挙げられる。

【0035】

上記導電性材料としては、金属材料（例えば、銅、ニッケル、アルミ、銀、金、鉄等）、炭素材料（例えば、導電性カーボンブラック）、導電性高分子、イオン導電材等が挙げられる。

【0036】

上記磁性材料としては、軟磁性材料であってもよいし、硬磁性材料であってもよく、例えば、鉄、フェライト、ケイ素鋼、パーマロイ、センダスト、パーメンジュール等が挙げられる。フェライトとしては、例えば、スピネルフェライト（例えばマンガン系フェライト、ニッケル系フェライト、銅系フェライト、亜鉛系フェライト、コバルト系フェライト等）、六方晶フェライト（例えばバリウム系フェライト、ストロンチウム系フェライト等、ガーネットフェライト（例えばイットリウム鉄ガーネット系フェライト）等が挙げられる。

【0037】

図１（Ａ）に示されるように、内側粘着材層３２には、シート状基材１１と反対側から直に金属溶射層２１が積層されている。金属溶射層２１は、シート状基材１１上の内側粘着材層３２に金属が溶射されることで形成されている。金属溶射層２１の目付量は、電磁波シールド材１０のシールド性能の観点から、９０ｇ／ｍ^２以上であることが好ましく、電磁波シールド材１０のフレキシブル性の観点から、２８０ｇ／ｍ^２以下であることが好ましい。

【0038】

金属溶射では、シート状基材１１上の内側粘着材層３２に多数の金属粒子２２を衝突させる。そして、金属溶射層２１は、扁平につぶれた金属粒子２２が堆積することで形成される（図１（Ｂ）参照）。金属溶射される金属は、例えば、亜鉛、アルミニウム、銅又はこれらの金属の合金（例えば亜鉛とアルミニウムの合金）等である。

【0039】

図１（Ｂ）に示されるように、内側粘着材層３２の一部は、金属溶射層２１の内部に進入し、金属溶射層２１のうちシート状基材１１側の部分において、金属粒子２２同士の隙間に入り込んでいる。従って、投錨効果により、内側粘着材層３２と金属溶射層２１の密着性が高められ、金属粒子２２の剥離が抑制されると共に、電磁波シールド材１０が曲げ変形されたときに、金属粒子２２間でのクラックの発生を抑制可能となる。

【0040】

図１（Ａ）に示されるように、金属溶射層２１には、シート状基材１１と反対側から直に外側粘弾性層が積層されている。外側粘弾性層は、粘着材（例えば自着性粘着材等）、エラストマー（ゴムもしくは熱可塑性エラストマー）、又はゲル体等の粘弾性体からなる。本実施形態では、外側粘弾性層として、外側粘着材層３１が設けられていて、外側粘着材層３１は、電磁波シールド材１０の最外層となっている。また、本実施形態では、外側粘着材層３１は、自着性を有する自着性粘着材で構成されているが、自着性粘着材ではなく通常の粘着材で構成されていてもよい。外側粘着材層３１を構成する粘着材の材料としては、内側粘着材層３２の材料として上記で例示したもの等を用いることができる。本実施形態では、外側粘着材層３１と内側粘着材層３２は、互いに対して粘着する材料からなり、具体的には、同じ自着性粘着材からなる。

【0041】

図１（Ｂ）に示されるように、外側粘着材層３１の一部は、金属溶射層２１の内部に進入し、金属溶射層２１のうちシート状基材１１と反対側の部分において、金属粒子２２同士の隙間に入り込んでいる。従って、外側粘着材層３１と金属溶射層２１の密着性が高められる。電磁波シールド材１０では、外側粘着材層３１により、金属粒子２２の脱落が抑制されると共に、電磁波シールド材１０が曲げ変形されたときに、金属粒子２２間でのクラックの発生を抑制可能となる。

【0042】

外側粘着材層３１（外側粘弾性層）には、導電性材料が含まれていてもよいし、磁性材料が含まれていてもよい。これらの構成によれば、電磁波シールド材１０の電磁波シールドの効果を高めることが可能となる。例えば、これらの導電性材料や磁性材料は、粉粒体となっていて、外側粘着材層３１の粘着材に分散されていてもよい。この粉粒体の形状としては、例えば、球状（例えば真球状等）、扁平形状等が挙げられる。外側粘着材層３１に含まれる導電性材料や磁性材料としては、内側粘着材層３２に含まれる導電性材料や磁性材料として上記で列挙したもの等を用いることができる。

【0043】

外側粘着材層３１又は内側粘着材層３２に導電性材料を含有させる場合、その含有率は、１０〜２０重量％であることが好ましく、１０〜１５重量％であることがさらに好ましい。導電性材料を含有する外側粘着材層３１、内側粘着材層３２の表面抵抗値（表面における１ｃｍ離れた２点間の抵抗値）は、１０の４乗Ω以下が好ましい。また、外側粘着材層３１又は内側粘着材層３２に磁性材料を含有させる場合、その含有率は、１０〜２０重量％であることが好ましく、１０〜１５重量％であることがさらに好ましい。

【0044】

なお、導電性材料は、外側粘着材層３１と内側粘着材層３２のうち、一方のみに含有されていてもよいし、両方に含有されていてもよい。また、磁性材料は、外側粘着材層３１と内側粘着材層３２のうち、一方のみに含有されていてもよいし、両方に含有されていてもよい。また、外側粘着材層３１と内側粘着材層３２のうち、一方のみに導電性材料が含有され、他方のみに磁性材料が含有されていてもよい。

【0045】

本実施形態の電磁波シールド材１０は、例えば、以下のようにして製造される。まず、発泡シートからなるシート状基材１１が用意される。

【0046】

次いで、シート状基材１１の表裏のうち一方の面に、樹脂フィルムを積層することで、シート状基材１１上に保護層４１を形成する。なお、シート状基材１１への樹脂フィルムの積層は、ダイレクトラミネートや、押出ラミネート等によって行うことができる。

【0047】

次に、シート状基材１１に、内側粘着材層３２、金属溶射層２１、外側粘着材層３１が順に積層される。図２には、シート状基材１１を送給しながらこの積層工程が行われる送給ライン６０の一例が示されている。送給ライン６０には、金属溶射装置６３、塗布装置６４、乾燥炉６５が上流側から順に設けられている。送給ライン６０では、長尺状のシート状基材１１が、操出ローラ６１により繰り出されて、積層工程が行われた後に、巻取ローラ６２により巻き取られる。

【0048】

積層工程では、まず、シート状基材１１の他方の面（図２において繰り出されたシート状基材１１の上面）に、図示しない塗布装置（例えば、ロールコータやスプレー等）により、自着性を有する粘着材が塗布される。そして、この粘着材が乾燥すると、シート状基材１１上に内側粘着材層３２が形成される。なお、内側粘着材層３２を構成する粘着材の製造は、例えば、ホモミキサータンク内に粘着助剤等を仕込んだ後、ホモミキサータンクの正回転と逆回転をそれぞれ所定時間行ない、その後、その粘着助剤等に天然ゴムラテックスを配合することにより行われる。なお、内側粘着材層３２の材料の粘着材には、導電性材料や磁性材料を含有させてもよい。

【0049】

次いで、金属溶射装置６３により、シート状基材１１に積層された内側粘着材層３２に、金属を溶射する。これにより、内側粘着材層３２上に金属溶射層２１が形成される。このとき、金属溶射層２１の金属粒子２２のうち内側粘着材層３２側の金属粒子２２が、内側粘着材層３２に埋設される。即ち、金属粒子２２同士の間の隙間に内側粘着材層３２の粘着材が入り込むこととなる。これにより、投錨効果によって、金属溶射層２１と内側粘着材層３２の密着性が高められる。ここで、本実施形態では、溶射される金属の熱で、内側粘着材層３２の粘着材が軟化するので、金属粒子２２が内側粘着材層３２に埋設され易くなる。なお、金属の溶射温度を、内側粘着材層３２の材料の融点以上とすると、溶射される金属の熱により内側粘着材層３２が軟化して、金属粒子を内側粘着材層３２により埋設し易くなる。

【0050】

なお、金属溶射としては、燃焼ガスを熱源とするフレーム式溶射、電気を熱源とするアーク式溶射、高速フレーム式溶射、プラズマ溶射、ＲＦプラズマ溶射、爆発溶射、線爆照射等を用いることができる。これらの中でも、アーク溶射は、金属溶射層２１の形成速度が速い点と、金属溶射層２１の目付量を精度高く制御できる点で、好ましい。

【0051】

次いで、塗布装置６４により、金属溶射層２１に、自着性を有する粘着材３１Ａが塗布される。本実施形態では、粘着材３１Ａが、流動性を有するので、粘着材３１Ａが金属溶射層２１の金属粒子２２同士の間に隙間に染み込む。粘着材３１Ａは、液状であることが好ましい。塗布装置６４は、図２の例では、ロールコータとなっている。詳細には、このロールコータは、コーティングロール６４Ａとドクターロール６４Ｂを併設してなり、金属溶射層２１に対向して設けられている。そして、コーティングロール６４Ａとドクターロール６４Ｂの間には、粘着材３１Ａが供給され、コーティングロール６４Ａが金属溶射層２１に接することで、粘着材３１Ａが金属溶射層２１上に塗布される。なお、塗布装置６４は、スプレーであってもよい。また、粘着材３１Ａには、導電性材料や磁性材料を含有させてもよい。

【0052】

次に、乾燥炉６５により金属溶射層２１上の粘着材３１Ａを乾燥させる。すると、金属溶射層２１上に外側粘着材層３１が形成される。本実施形態では、金属溶射層２１に流動性を有する粘着材３１Ａが塗布されることで外側粘着材層３１が形成されるので、金属溶射層２１を構成する金属粒子２２間の隙間に外側粘着材層３１の粘着材を入り込ませることが容易となる。また、本実施形態では、粘着材３１Ａが金属溶射層２１に浸透するので、外側粘着材層３１によって金属粒子２２同士の結合を強めることが可能となる。

【0053】

その後、シート状基材１１に金属溶射層２１が積層された積層シート３０Ｓが、巻取ローラ６２により巻き取られる。本実施形態では、積層シート３０Ｓの巻き取りを、金属溶射層２１を覆う外側粘着材層３１を形成した後に行うので、積層シート３０Ｓの巻取の際に、金属溶射層２１の金属粒子２２が脱落したり、金属溶射層２１にクラックが生じたりすることを抑制することが可能となる。また、外側粘着材層３１が自着性を有するので、外側粘着材層３１と異なる材料からなるものとは粘着し難くなり、巻取ローラ６２による積層シート３０Ｓの巻き取り等の作業性が良くなる。

【0054】

積層シート３０Ｓは、適宜、所望のサイズにカットされる。以上により、電磁波シールド材１０が完成する。なお、シート状基材１１への保護層４１の積層は、シート状基材１１に内側粘着材層３２、金属溶射層２１、外側粘着材層３１を積層した後に、行ってもよい。

【0055】

本実施形態の電磁波シールド材１０では、シート状基材１１に金属溶射層２１が積層される。そして、金属溶射層２１には、シート状基材１１と反対側から外側粘着材層３１が直に積層される。電磁波シールド材１０では、外側粘着材層３１が、金属溶射層２１を構成する金属粒子同士の間に入り込んでいるので、外側粘着材層３１により金属溶射層２１を構成する金属粒子２２の脱落を抑えることが可能となる。しかも、金属溶射層２１に直に積層される層が、粘着材からなるので、例えば電磁波シールド材１０が変形した場合でも（例えば丸められた場合等でも）、金属溶射層２１との密着性を維持して金属粒子２２の脱落をより抑えることが可能となる。また、外側粘着材層３１が設けられることにより、電磁波シールド材１０が曲げられた場合に、金属溶射層２１にクラックが発生することを抑制可能となる。

【0056】

本実施形態では、外側粘着材層３１を電磁波シールド材１０の最外層に配置するので、外側粘着材層３１により電磁波シールド材１０を、被着体に貼り付けることが可能となる。例えば、電磁波シールド材１０を粘着テープのようにケーブル等に巻き付けてケーブル等を結束することができる。また、電磁波シールド材１０の最外層の外側粘着材層３１が自着性を有することで、電磁波シールド材１０を曲げたり丸めたりする等して外側粘着材層３１同士を貼り合わせることができると共に、外側粘着材層３１が外側粘着材層３１と異なる材料からなるものに貼り付き難くなるので、電磁波シールド材１０が取り扱い易くなる。また、外側粘着材層３１が導電性材料を含有している場合、外側粘着材層３１を電磁波シールド材１０の最外層とすることで、導電性材料を有する外側粘着材層３１のグラウンド（アース）接続が容易となる。この場合、例えば、電磁波シールド材１０をグラウンドとなる導体に直接、外側粘着材層３１を粘着させて貼り付けてもよいし、電磁波シールド材１０をグラウンドに接続された金属電線に外側粘着材層３１を内側にするように丸めて接触させてもよい。

【0057】

また、本実施形態では、金属溶射層２１は、外側粘着材層３１と内側粘着材層３２に表裏の両面から密着されるので、電磁波シールド材１０が表裏のどちら側に曲げられても、金属溶射層２１にクラックが発生することを抑制できる。

【0058】

また、本実施形態では、外側粘着材層３１と内側粘着材層３２が、互いに対して粘着する材料からなる。具体的には、外側粘着材層３１と内側粘着材層３２が、同じ材料で構成され、自着性を有する。従って、金属溶射層２１の金属粒子２２間の隙間が金属溶射層２１の厚み方向全体に繋がっている場合に、その隙間を通して外側粘着材層３１と内側粘着材層３２とを粘着させることが可能となる。これにより、外側粘着材層３１及び内側粘着材層３２と金属溶射層２１との密着性が強くなり、金属溶射層２１の一部が脱落することをより一層抑えることが可能となる。

【0059】

本実施形態では、外側粘着材層３１（外側粘弾性層）、内側粘着材層３２（内側粘弾性層）が、それぞれ特許請求の範囲に記載の「第１粘弾性層」、「第２粘弾性層」に相当する。

【実施例】

【0060】

以下、実施例によって上記実施形態をさらに具体的に説明するが、本開示の電磁波シールド材は、以下の実施例に限定されるものではない。

【0061】

１．電磁波シールド材の構成
＜実施例１＞
シート状基材１１；株式会社イノアックコーポレーション製の商品名「ＦＯＬＥＣ ＬＺ２０００」、厚み０．９ｍｍ
内側粘着材層３２；株式会社イノアックコーポレーション製、商品名「ＩＮＯＴＡＣＫ 低温グレード」、目付量：２０ｇ／ｍ^２
金属溶射層２１；亜鉛、目付量：２５０ｇ／ｍ^２
外側粘着材層３１；株式会社イノアックコーポレーション製、商品名「ＩＮＯＴＡＣＫ シールドグレード」、目付量：１００ｇ／ｍ^２
磁性材料；パウダーテック株式会社製、商品名「Ｍ０３Ｓ」（真球状のＭｎ系フィライト）。磁性材料は、外側粘着材層３１に対して、１５重量％の含有率となるように添加した。

【0062】

＜実施例２＞
実施例２は、実施例１に対して、外側粘着材層３１のみが異なり、外側粘着材層３１に磁性材料が含まれていない点が異なる。

【0063】

２．評価方法
＜伝送減衰率＞
実施例１，２の電磁波シールド材について、ＩＥＣ６２３３３−２に準拠して、伝送減衰率（Ｒｔｐ）を求め、これにより電磁波シールド性を評価した。

【0064】

３．評価結果
図４に示されるように、外側粘着材層３１に磁性粉末が含有された実施例１では、磁性粉末が含有されていない実施例２に比べて、伝送減衰率が非常に高くなっていて、電磁波シールド性を大きく向上可能であることがわかった。また、実施例１，２では、外側粘着材層３１により金属溶射層２１の金属粒子２２の脱落が防止可能であることが確認できた。

【0065】

［他の実施形態］
（１）図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示される電磁波シールド材１０Ｖのように、内側粘着材層３２が設けられていなくてもよく、金属溶射層２１が、シート状基材１１に直に積層されていてもよい。

【0066】

（２）上記実施形態では、外側粘着材層３１が自着性を有し、外側粘着材層３１と異なる材料のものには粘着し難かったが、外側粘着材層３１が外側粘着材層３１と異なる材料のものと粘着し易い性質を有していてもよい。これにより、例えば電磁波シールド材１０を丸めてケーブル等に巻回し、外側粘着材層３１を保護層４１に貼り合わせることができる。

【0067】

（３）外側粘着材層３１と内側粘着材層３２を構成する粘着材が異なっていてもよい。この場合、外側粘着材層３１と内側粘着材層３２が互いに粘着する材料からなることが好ましい。なお、例えば、外側粘着材層３１が自着性粘着材からなると共に、内側粘着材層３２が通常の粘着材からなっていてもよい。

【0068】

（４）図３（Ａ）に示されるように、保護層４１が設けられていなくてもよい。

【0069】

（５）金属溶射層２１及び外側粘着材層３１が、シート状基材１１の表裏の両面に積層されていてもよい。この場合、内側粘着材層３２は、設けられていなくてもよいし、シート状基材１１の表裏の何れか一方側にのみ設けられていてもよいし、シート状基材１１の表裏の両側に設けられていてもよい。

【0070】

（６）上記実施形態では、外側粘着材層３１が、電磁波シールド材１０の最外層を構成していたが、外側粘着材層３１にシート状基材１１と反対側から一又は複数の層（例えば、樹脂フィルムからなる層）が積層されていてもよい。

【0071】

（７）上記実施形態では、シート状基材１１が発泡シートで構成されていたが、非発泡体のシート（例えば、樹脂シートやゴムシート等）であってもよい。また、シート状基材１１は、複数のシートが積層された構成であってもよい。また、シート状基材１１がフレキシブルでなくてもよい。

【0072】

（８）上記実施形態において、外側粘着材層３１又は内側粘着材層３２の代わりに、エラストマー（ゴムもしくは熱可塑性エラストマー）又はゲル体等の粘弾性体で構成された粘弾性層が設けられ、その粘弾性層が、金属溶射層２１の金属粒子２２同士の間に入り込んでいてもよい。このような粘弾性体を用いることで、電磁波シールド材１０を、変形（例えば丸める等）させ易くすることが可能となると共に、電磁波シールド材１０が変形した場合においても、金属溶射層２１との密着性を維持して金属粒子２２の脱落を抑えることが可能となる。なお、この粘弾性層に、導電性材料の粉粒体又は磁性材料の粉粒体が含有されていてもよい。

【符号の説明】

【0073】

１０ 電磁波シールド材
１１ シート状基材
２１ 金属溶射層
２２ 金属粒子
３１ 外側粘着材層（第１粘弾性層）
３２ 内側粘着材層（第２粘弾性層）
４１ 保護層

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】