特開2020-184642(P2020-184642A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2020-184642ワイドギャップ半導体基板、ワイドギャップ半導体基板の製造装置、およびワイドギャップ半導体基板の製造方法
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  • 特開2020184642-ワイドギャップ半導体基板、ワイドギャップ半導体基板の製造装置、およびワイドギャップ半導体基板の製造方法 図000003
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