特開2020-194836基板処理装置、基板処理方法およびプログラム

発明の名称　基板処理装置、基板処理方法およびプログラム

出願人　株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス　（識別番号 207551）

　　　　特許公開件数ランキング 56 位（159件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 59 位（138件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2020-194836

公報発行日　2020年12月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2020-194836

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