特開2020-194867基板洗浄用ブラシ

発明の名称　基板洗浄用ブラシ

出願人　アイオン株式会社　（識別番号 500004069）

　　　　特許公開件数ランキング 30460 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 9069 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2020-194867

公報発行日　2020年12月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2020-194867

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