特開2020-194907昇華性物質含有液の製造方法、基板乾燥方法、および基板処理装置

発明の名称　昇華性物質含有液の製造方法、基板乾燥方法、および基板処理装置

出願人　株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス　（識別番号 207551）

　　　　特許公開件数ランキング 59 位（409件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 70 位（308件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2020-194907

公報発行日　2020年12月3

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2020-194907

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