特開2020-196934プラズマ処理装置

発明の名称　プラズマ処理装置

出願人　株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス　（識別番号 207551）

　　　　特許公開件数ランキング 59 位（428件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 69 位（332件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2020-196934

公報発行日　2020年12月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2020-196934

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