特開2020-197379IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

ガス検出装置

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】ガス検出装置においては、多種類のガスを検出できることが好ましい。
【解決手段】検出対象ガスとの接触により出力が変化するガス検出層とガス検出層を加熱するヒーター層とを有するガスセンサと、判別部と、を備え、判別部は、ヒーター層の温度が第1温度の場合におけるガスセンサの出力の変化を示す第1波形と、ヒーター層の温度が第1温度と異なる第2温度の場合におけるガスセンサの出力の変化を示す第2波形と、に基づいて検出対象ガスの種類を判別する、ガス検出装置を提供する。
【選択図】図2

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

ガス検出装置においては、多種類のガスを検出できることが好ましい。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の第1の態様においては、ガス検出装置を提供する。ガス検出装置は、ガスセンサと判別部とを備える。ガスセンサは、検出対象ガスとの接触により出力が変化するガス検出層と、ガス検出層を加熱するヒーター層と、を有する。判別部は、ヒーター層の温度が第1温度の場合におけるガスセンサの出力の変化を示す第1波形と、ヒーター層の温度が第1温度と異なる第2温度の場合におけるガスセンサの出力の変化を示す第2波形・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本発明の一つの監視対象300を示す図である。

【図2】本発明の一つのガス検出装置100の一例を示す図である。

【図3】ガスセンサ10の断面の一例を示す図である。

【図4】ガスセンサ10のヒーター層86の温度と時間との関係の一例を示す図である。

【図5A】ガスセンサ10の加熱時間と出力の関係の一例をガスAについて示す図である。

【図5B】ガスセンサ10のガス検出層96の電気抵抗の変化を定電圧により測定する場合の回路の一例を示す図である。

【図6】ガスセンサ10の加熱時間と出力の関係の一例をガスBについて示す図である。

【図7】ガスセンサ10の加熱時間と出力の関係の一例をガスCについて示す図である。

【図8】判別部20による検出対象ガスの判別のフローチャートを示す図である。

【図9A】ガスセンサ10の加熱時間と出力の関係の一例を4つのガス種について示す図である。

【図9B】第1期間ta1、第3期間ta3および第2期間ta2におけるガスA〜Dの波形の傾向をまとめた図である。

【図10】ガスセンサ10のヒーター層86の温度と時間との関係の他の一例を示す図である。

【図11】ガスセンサ10のヒーター層86の温度と時間との関係の他の一例を示す図である。

選択図 図2出願人が指定した本件の代表的な図

10・・・ガスセンサ、20・・・判別部、30・・・電源部、42・・・第1波形、44・・・第2波形、46・・・第3波形、52・・・波形、54・・・波形、56・・・波形、80・・・半導体基板、81・・・薄膜積層部、82・・・熱酸化膜、83・・・窒化膜、84・・・酸化膜、85・・・絶縁層、86・・・ヒーター層、88・・・ダイヤフラム、90・・・ガス感知部、92・・・接合層、94・・・電極、96・・・ガス検出層、98・・・選択燃焼層、100・・・ガス検出装置、110・・・定電圧源、120・・・電圧計、200・・・電気装置、300・・・監視対象

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