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特開2020-197698(P2020-197698A)
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アルバック成膜株式会社
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特開
2020-197698
マスクブランクス、ハーフトーンマスク、製造方法、製造装置
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請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
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