有機シロキサンを原料として用いた光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】オクタメチルシクロテトラシロキサン（ＯＭＣＴＳ）に代表される有機シロキサン原料について、原料供給停止中に気化器内の原料液ノズルの先端部で重合生成物やゲル状物質が生成されることを防止する。
【解決手段】光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置は、有機シロキサンからなる原料液の流量を制御する液体マスフローコントローラと、原料液とキャリアガスとを混合し原料液を気化させて原料ガスとキャリアガスとが混合した混合ガスにする気化器と、気化器内に原料液を噴出する原料液ノズルと、気化器内にキャリアガスを供給するキャリアガス供給配管と、液体マスフローコントローラから供給される原料液を原料液ノズルに導く原料液配管と、混合ガスを可燃性ガスおよび助燃性ガスとともに燃焼してＳｉＯ_２微粒子を生成するバーナと、混合ガスをバーナに供給する混合ガス配管と、原料液配管の流路上に設けられる開閉弁と、原料液配管に開閉弁と原料液ノズルとの間で合流しパージガスを供給するパージガス供給配管とを備える。
【選択図】図１

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